【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及划片设备，具体的说是一种晶圆片湿式切割用划片机。
技术介绍
1、砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备，晶圆片在加工过程中，为了分离晶圆上的每个芯片，通常会通过划片机对晶圆进行切割加工。
2、然而，传统的划片机在切割过程中，通常会使用存储框对多个晶圆片进行搬运，在对晶圆片进行上下料，由于存储框内未设置固定组件，导致在搬运过程中，晶圆片可能会从存储框中滑落，同时划片机放置晶圆片滑台进入到划片机内部时，观察窗下方与划片机外侧通槽较大，切割时产生的大量水雾会从通槽处飘出至划片机靠外侧，还可能对外侧电器组件造成损坏，同时切割完成的晶圆片通常通过吸盘进行吸附搬运，由于切割完成的晶圆片上粘附有水，会对吸盘吸附力造成影响。
技术实现思路
1、针对现有技术中的问题，本专利技术提供了一种晶圆片湿式切割用划片机。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机本体、安装在所述划片机本体上的存储框、安装于所述划片机本体上的防护结构、设于所述划片机本体上的吸水结构以及设于所述存储框上的固定结构；
3、固定结构，所述存储框上设有固定结构，所述固定结构包括第一固定杆，所述存储框上滑动连接有多个第一固定杆，多个所述第一固定杆上均固定连接有橡胶垫，多个所述第一固定杆分别与两个连接板之间固定连接，所述连接板与存储框之间滑动连接，两个所述连接板与第一拉板之间固定连接，所述
4、具体的，所述存储框上设有限位结构，所述限位结构包括第二固定杆，所述存储框上滑动连接有第二固定杆，所述第二固定杆与第一拉板上的固定槽之间卡合。
5、具体的，所述第二固定杆上固定连接有固定环，所述固定环与存储框之间固定连接有第二复位弹簧，所述第二固定杆上连接有拉环。
6、具体的，所述防护结构包括防护板，所述划片机本体上滑动连接有防护板，所述防护板呈“u”字形结构，所述防护板上固定连接有两个滑板，所述滑板与划片机本体之间滑动连接，所述划片机本体上转动连接有丝杆，所述丝杆与左边的滑板之间螺纹连接。
7、具体的，所述划片机本体上固定连接有导向柱，所述导向柱与右边的滑板之间滑动连接，所述划片机本体上安装有电机，所述电机的输出轴与丝杆之间固定连接。
8、具体的，所述吸水结构包括气缸，所述划片机本体上安装有气缸，所述气缸的伸缩端固定连接有安装板，所述安装板上可拆卸连接有固定板，所述固定板上固定连接有吸水棉。
9、具体的，所述安装板上安装有加热片，所述加热片与固定板之间滑动连接，所述加热片与吸水棉之间抵触，所述安装板上固定连接有导向杆，所述导向杆与划片机本体之间滑动连接。
10、具体的，所述安装板上设有安装结构，所述安装结构包括安装杆，所述安装板上连接有安装杆，所述安装杆与固定板上的安装槽之间卡合，所述安装板上固定连接有定位柱，所述定位柱与固定板上的定位槽之间卡合。
11、具体的，所述安装杆上转动连接有连接块，所述连接块与安装板之间滑动连接。
12、具体的，所述安装杆上固定连接有第二拉板，所述连接块与安装板之间固定连接有第三复位弹簧。
13、本专利技术的有益效果是：
14、（1）本专利技术所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，存储框上设有固定结构，存储框上设有限位结构，固定结构的设置便于对存储框内多个晶圆片进行固定，避免了搬运过程中晶圆片从存储框上滑落，限位结构的设置便于对第一拉板进行固定，在划片机本体内部组件配合对存储框内部晶圆片上料时，不会对晶圆片进行固定，提高了实用性。
15、（2）本专利技术的一种晶圆片湿式切割用划片机，划片机本体上设有防护结构，防护结构的设置便于减少切割时产生的水雾从观察窗下方通槽处飘出。
16、（3）本专利技术的一种晶圆片湿式切割用划片机，划片机本体上设有吸水结构，吸水结构的设置便于对晶圆片上的水进行吸附，避免了残留的水对吸盘的吸附造成影响。
17、（4）本专利技术的一种晶圆片湿式切割用划片机，安装板上设有安装结构，安装结构的设置便于快速将固定板与安装板之间进行拆装，从而提高了吸水棉的安装效率。
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1.一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于，包括划片机本体（1）、安装在所述划片机本体（1）上的存储框（2）、安装于所述划片机本体（1）上的防护结构（4）、设于所述划片机本体（1）上的吸水结构（3）以及设于所述存储框（2）上的固定结构（5）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述存储框（2）上设有限位结构（6），所述限位结构（6）包括第二固定杆（601），所述存储框（2）上滑动连接有第二固定杆（601），所述第二固定杆（601）与第一拉板（504）上的固定槽（602）之间卡合。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述限位结构（6）还包括固定环（603）和第二复位弹簧（604）；所述第二固定杆（601）上固定连接有固定环（603），所述固定环（603）与存储框（2）之间固定连接有第二复位弹簧（604），所述第二固定杆（601）上连接有拉环（605）。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述防护结构（4）包括防护板（401）和滑板（402），所述划片机本体（
5.根据权利要求4所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述划片机本体（1）上固定连接有导向柱（405），所述导向柱（405）与右边的滑板（402）之间滑动连接，所述划片机本体（1）上安装有电机（404），所述电机（404）的输出轴与丝杆（403）之间固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述吸水结构（3）包括气缸（301），所述划片机本体（1）上安装有气缸（301），所述气缸（301）的伸缩端固定连接有安装板（302），所述安装板（302）上可拆卸连接有固定板（303），所述固定板（303）上固定连接有吸水棉（304）。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述吸水结构（3）还包括导向杆（306），所述安装板（302）上安装有加热片（305），所述加热片（305）与固定板（303）之间滑动连接，所述加热片（305）与吸水棉（304）之间抵触，所述安装板（302）上固定连接有导向杆（306），所述导向杆（306）与划片机本体（1）之间滑动连接。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述安装板（302）上设有安装结构（7），所述安装结构（7）包括安装杆（701）和安装槽（702），所述安装板（302）上连接有安装杆（701），所述安装杆（701）与固定板（303）上的安装槽（702）之间卡合，所述安装板（302）上固定连接有定位柱（706），所述定位柱（706）与固定板（303）上的定位槽（707）之间卡合。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述安装杆（701）上转动连接有连接块（704），所述连接块（704）与安装板（302）之间滑动连接。
10.根据权利要求9所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述安装杆（701）上固定连接有第二拉板（703），所述连接块（704）与安装板（302）之间固定连接有第三复位弹簧（705）。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于，包括划片机本体（1）、安装在所述划片机本体（1）上的存储框（2）、安装于所述划片机本体（1）上的防护结构（4）、设于所述划片机本体（1）上的吸水结构（3）以及设于所述存储框（2）上的固定结构（5）；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述存储框（2）上设有限位结构（6），所述限位结构（6）包括第二固定杆（601），所述存储框（2）上滑动连接有第二固定杆（601），所述第二固定杆（601）与第一拉板（504）上的固定槽（602）之间卡合。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述限位结构（6）还包括固定环（603）和第二复位弹簧（604）；所述第二固定杆（601）上固定连接有固定环（603），所述固定环（603）与存储框（2）之间固定连接有第二复位弹簧（604），所述第二固定杆（601）上连接有拉环（605）。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述防护结构（4）包括防护板（401）和滑板（402），所述划片机本体（1）上滑动连接有防护板（401），所述防护板（401）呈“u”字形结构，所述防护板（401）上固定连接有两个滑板（402），所述滑板（402）与划片机本体（1）之间滑动连接，所述划片机本体（1）上转动连接有丝杆（403），所述丝杆（403）与左边的滑板（402）之间螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述划片机本体（1）上固定连接有导向柱（405），所述导向柱（405）与右边的滑板（402）之间滑动连接，所述划片机本体（1）上安装有电机（404），所述电机（404）的...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹祥林，
申请(专利权)人：泰州芯格电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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