液体喷出装置及其控制方法、基板处理装置及物品制造方法制造方法及图纸

技术编号：40703951 阅读：4 留言：0更新日期：2024-03-22 11:03

本发明专利技术提供有利于减少液体喷出装置中的液体的喷出异常的恢复处理所需的时间以及液体使用量的液体喷出装置及其控制方法、基板处理装置及物品制造方法。液体喷出装置具备：多个喷出元件，根据驱动信号而喷出液体；以及控制部，控制所述驱动信号向所述多个喷出元件的每一个的供给，所述控制部在从所述多个喷出元件之中确定了第一喷出元件和喷出异常的程度比所述第一喷出元件低的第二喷出元件作为具有喷出异常的喷出元件的情况下，在使所述多个喷出元件的喷出异常降低的恢复处理中，将第一频率的第一驱动信号不供给到所述第二喷出元件而供给到所述第一喷出元件，将比所述第一频率低的第二频率的第二驱动信号供给到所述第二喷出元件。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液体喷出装置、液体喷出装置的控制方法、基板处理装置及物品制造方法。

技术介绍

1、近年来，在制造各种功能元件时，尝试了使用喷墨装置将功能元件的材料施加到基板上而形成图案(图案化)。使用喷墨装置的图案化具有以下优点：由于能够进行按需图案化，因此材料的使用效率高，由于是非真空工艺，因此制造装置变得比较小型，能够高速地涂敷大面积等。

2、在上述的喷墨装置中，在点图案的形成中或待命中，由于附着在流路内、喷嘴开口部附近的异物、墨的增粘、墨成分的沉降、电泳现象等，有时会产生喷出不良、品质紊乱这样的问题(喷出异常)。在专利文献1中公开了从少量的预备喷出开始，到能够确认恢复为止，进行中量的预备喷出、大量的预备喷出的技术。在专利文献2中公开了为了去除记录头内的气泡而一边增减记录头的驱动频率一边进行墨排出的技术。在专利文献3中公开了如下内容：确定液滴喷出头的喷出异常的原因，根据确定的喷出异常的原因，选择冲洗处理、擦拭处理、泵吸引处理中的任一个作为液滴喷出头的恢复处理。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2012-201076号公报

6、专利文献2：日本专利第2659954号公报

7、专利文献3：日本专利第4269731号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的课题

2、但是，在专利文献1所记载的恢复方法中，仅通过一边改变预备喷出量一边进行恢复，有时会产生无法恢复的喷嘴。另外，在专利文

3、因此，本专利技术的目的在于提供一种有利于减少液体喷出装置中的液体的喷出异常的恢复处理所需的时间以及液体使用量的技术。

4、用于解决课题的方案

5、为了达成上述目的，作为本专利技术的一方式的液体喷出装置，其特征在于，所述液体喷出装置具备：多个喷出元件，根据驱动信号而喷出液体；以及控制部，控制所述驱动信号向所述多个喷出元件的每一个的供给，所述控制部在从所述多个喷出元件之中确定了第一喷出元件和喷出异常的程度比所述第一喷出元件低的第二喷出元件作为具有喷出异常的喷出元件的情况下，在使所述多个喷出元件的喷出异常降低的恢复处理中，将第一频率的第一驱动信号不供给到所述第二喷出元件而供给到所述第一喷出元件，将比所述第一频率低的第二频率的第二驱动信号供给到所述第二喷出元件。

6、为了达成上述目的，作为本专利技术的一方式的控制方法，是具备根据驱动信号而喷出液体的多个喷出元件的液体喷出装置的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：确定工序，从所述多个喷出元件之中确定具有喷出异常的喷出元件；以及恢复处理工序，使所述多个喷出元件的喷出异常降低，在所述确定工序中，在确定了第一喷出元件和喷出异常的程度比所述第一喷出元件低的第二喷出元件作为具有喷出异常的喷出元件的情况下，在所述恢复处理工序中，进行第一工序和第二工序，在所述第一工序中，将第一频率的第一驱动信号不供给到所述第二喷出元件而供给到所述第一喷出元件，在所述第二工序中，将比所述第一频率低的第二频率的第二驱动信号至少供给到所述第二喷出元件。

7、专利技术的效果

8、根据本专利技术，能够提供例如有利于减少液体喷出装置中的液体的喷出异常的恢复处理所需的时间以及液体使用量的技术。

9、本专利技术的进一步的目的或其它方式，通过以下参照附图说明的优选实施方式而变得明确。

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【技术保护点】

1.一种液体喷出装置，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的液体喷出装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的液体喷出装置，其特征在于，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的液体喷出装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的液体喷出装置，其特征在于，

6.根据权利要求4所述的液体喷出装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的液体喷出装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于，

9.根据权利要求1至3中任一项所述的液体喷出装置，其特征在于，

10.根据权利要求1至3中任一项所述的液体喷出装置，其特征在于，

11.根据权利要求10所述的液体喷出装置，其特征在于，

12.根据权利要求11所述的液体喷出装置，其特征在于，

13.根据权利要求11所述的液体喷出装置，其特征在于，

14.一种基板处理装置，对基板进行处理，其特征在于，

15.一种物品制造方法，其特征在于，

16.一种控

...

【技术特征摘要】