【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超精密修调加工，具体而言，涉及一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法。
技术介绍
1、半球谐振陀螺(hemispherical resonator gyroscope，简称hrg)具有精度高、体积小、质量低，结构简单、工作稳定，可靠性高等特点，是一种极具潜力的哥氏振动陀螺。hrg主要由激励罩、半球谐振子和读出基座构成。其中的半球谐振子是一种半球形薄壳零件、硬度高、脆性大，在加工过程中难以保证良好的质量均匀性，造成频率裂解，其品质因数也受到各种因素制约，因此可对超精密抛光后的半球谐振子采用离子束修调技术对不平衡质量进行修调。离子束修调技术具有很高的体积去除精度，加工精度可达亚纳米级别，相比于其他修调技术，离子束加工无污染，非接触，因此加工过程不会带来机械损伤和环境污染。因为半球谐振子为半球形薄壳零件，故无法通过传统的离子束定位方法进行定位，这是因为传统的离子束定位方法仅可进行平面的对刀，对于半球形谐振子这种半球形结构还没有对刀结构和方法，半球谐振子亚毫赫兹级别频率裂解的修调量需保证离子束能够精确去除...
【技术保护点】
1.一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置，其特征在于：包括X轴直线运动平台(1)、Y轴直线运动平台(2)、Z轴直线运动平台(3)、离子源(4)、精密转台(6)、俯仰台(7)和三维调整台(8)，
2.根据权利要求1所述的一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置，其特征在于：所述光阑片(13)为同心圆环状薄片结构，所述离子源(4)通过安装头与光阑片(13)连接，光阑片(13)的中心孔与离子源(4)的离子束中心重合。
3.根据权利要求2所述的一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置，其特征在于：包括x轴直线运动平台(1)、y轴直线运动平台(2)、z轴直线运动平台(3)、离子源(4)、精密转台(6)、俯仰台(7)和三维调整台(8)，
2.根据权利要求1所述的一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置，其特征在于：所述光阑片(13)为同心圆环状薄片结构，所述离子源(4)通过安装头与光阑片(13)连接，光阑片(13)的中心孔与离子源(4)的离子束中心重合。
3.根据权利要求2所述的一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置，其特征在于：所述光阑片(13)可为石墨光阑片或钼光阑片。
4.根据权利要求2所述的一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置，其特征在于：所述离子源(4)的安装头与白光干涉仪对心片(9)连接，所述白光干涉仪对心片(9)的中心孔位置通过孔轴精密夹紧与白光干涉仪(10)连接，所述白光干涉仪(10)的测头的测量光线与离子源(4)的离子束中心重合。
5.根据权利要求4所述的一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置，其特征在于：所述白光干涉仪(10)的分辨率＜30pm，线性度<±10nm，最大倾斜角度±2°。
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈明君，郭景阳，刘赫男，程健，吴春亚，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。