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本发明提供了一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法，属于超精密修调加工技术领域。为了解决传统的离子束定位方法无法实现离子束精确去除半球谐振子既定位置处纳克级别的质量，对离子束相对于半球谐振子的定位精度较低的问题。在...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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