一种线网检测装置、多线切割机及线网检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及材料加工技术领域，特别涉及一种线网检测装置、多线切割机及线网检测方法。线网检测装置包括检测机构组，检测机构组包括往复移动机构和至少两个传感器，至少两个传感器和往复移动机构连接，且至少两个传感器在线网的宽度方向相间隔布置，传感器用于检测线网的切割线；往复移动机构用于使至少两个传感器平行于线网的宽度方向往复移动。至少两个传感器完成一次全单程移动，即可完成线网的一次检测。而用单个传感器检测，单个传感器的移动距离至少需要达到线网的宽度距离，因此，本申请的线网检测装置完成线网的一侧检测用时更短，减少切割液对采集精度的影响，具有时效性高，以及精度高的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及材料加工，特别涉及一种线网检测装置、多线切割机及线网检测方法。

技术介绍

1、多线切割机是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为很多薄片的一种新型切割加工设备。多线切割机可应用于硅棒切片。

2、在硅棒切片过程中，硅棒与多线切割机的线网之间存在压力，从而形成线弓，线弓过大会影响硅片的质量，严重时会发生断线。另外，线网在高速运转中，受切割环境、主辊等多方面因素影响，可能会发生跳线，发生跳线会影响硅片的质量；而且，发生跳线后若人工未及时干预，也会导致断线。断线会使硅棒切片过程中断，影响切割效率，使硅片品质降低，严重时会造成硅损。

3、现有技术中，线弓及跳线可以通过人工检查发现，通过人工检查具有效率较低、不及时、精度低的问题，还存在漏检情况。线弓及跳线还可以通过检测设备检查发现，但是同样具有时效性差，以及精度低的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术旨在提出一种线网检测装置、多线切割机及线网检测方法，以解决现有的检本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种线网检测装置，用于多线切割机中，其特征在于，所述线网检测装置包括检测机构组，所述检测机构组包括往复移动机构和至少两个传感器，所述至少两个传感器和所述往复移动机构连接，且所述至少两个传感器在所述线网的宽度方向相间隔布置，所述传感器用于检测所述线网的切割线；

2.根据权利要求1所述的线网检测装置，其特征在于，所述往复移动机构包括导轨、滑块和驱动组件；所述导轨平行于所述线网的宽度方向设置；所述滑块与所述传感器连接，且所述滑块可滑动的设于所述导轨上；

3.根据权利要求2所述的线网检测装置，其特征在于，所述往复移动机构还包括连接件；所述导轨位于所述线网的一侧；所述连...

【技术特征摘要】

1.一种线网检测装置，用于多线切割机中，其特征在于，所述线网检测装置包括检测机构组，所述检测机构组包括往复移动机构和至少两个传感器，所述至少两个传感器和所述往复移动机构连接，且所述至少两个传感器在所述线网的宽度方向相间隔布置，所述传感器用于检测所述线网的切割线；

2.根据权利要求1所述的线网检测装置，其特征在于，所述往复移动机构包括导轨、滑块和驱动组件；所述导轨平行于所述线网的宽度方向设置；所述滑块与所述传感器连接，且所述滑块可滑动的设于所述导轨上；

3.根据权利要求2所述的线网检测装置，其特征在于，所述往复移动机构还包括连接件；所述导轨位于所述线网的一侧；所述连接件与所述滑块连接，并靠近所述线网的相对另一侧，所述滑块与一个所述传感器连接，所述连接杆与其余的所述传感器连接。

4.根据权利要求1所述的线网检测装置，其特征在于，相邻两个传感器之间的距离为所述线网的宽度与所述传感器数量的比值；所述至少两个传感器沿同一方向的移动距离为所述线网的宽度与所述传感器数量的比值时，所述至少两个传感器的移动范围覆盖所述线网的宽度。

5.一种多线切割机，其特征在于，包括设备主体和如权利要求1－4任一项所述的线网检测装置，所述设备主体内设有所述线网检测装置。

6.一种线网检测方法，其特征在于，应用于多线切割机，至少两个传感器在线网宽度方向上间隔设置，所述线网检测方法包括：

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【专利技术属性】
技术研发人员：李东锋，李侨，刘永生，冯亚波，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：