半导体存储装置制造方法及图纸

技术编号:40655929 阅读:21 留言:0更新日期:2024-03-13 21:32
本公开提供良好地工作的半导体存储装置。具备:多个存储层,在第1方向上排列;以及第1过孔布线和第2过孔布线,在第1方向上延伸且在第2方向上的位置不同。存储层具备:与第1过孔布线电连接的第1晶体管;与第1晶体管电连接的存储部;与第1晶体管电连接且在第2方向上延伸的布线;与第2过孔布线电连接的第2晶体管;以及与第2晶体管电连接且设置于第2晶体管与第1布线之间的电流路径的电极。第2晶体管具备:与电极和第2过孔布线电连接的第1半导体层和与第1半导体层相对的第1栅电极。第1半导体层与第1栅电极的第1方向上的一侧的面和另一侧的面中的至少任一者相对。电极包含在第3方向上与第2过孔布线排列的部分。

【技术实现步骤摘要】

本实施方式涉及半导体存储装置


技术介绍

1、伴随着半导体存储装置的高集成化,关于半导体存储装置的三维化的研究正在进行。

2、现有技术文献

3、专利文献1:美国专利第9514792号说明书


技术实现思路

1、专利技术要解决的课题

2、提供良好地工作的半导体存储装置。

3、用于解决课题的技术方案

4、一个实施方式涉及的半导体存储装置具备:基板;多个存储层,在与基板的表面交叉的第1方向上排列;以及第1过孔布线和第2过孔布线,在第1方向上延伸且在与第1方向交叉的第2方向上的位置不同。多个存储层各自具备:与第1过孔布线电连接的第1晶体管;与第1晶体管电连接的存储部;与第1晶体管电连接且在第2方向上延伸的第1布线;与第2过孔布线电连接且与第1布线电连接的第2晶体管;与第2晶体管电连接且设置于第2晶体管与第1布线之间的电流路径的电极;以及与第2晶体管电连接且在与第1方向和第2方向交叉的第3方向上延伸的第2布线。第2晶体管具备:与电极和第2过孔布线电连接的第1半导本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体存储装置,具备:

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,

3.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

4.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

5.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

6.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

7.根据权利要求6所述的半导体存储装置,

8.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

9.根据权利要求1所述的半导体存储装置,

10.根据权利要求1所述的半导体存储装置,

11.根据权利要求1所述的半导体存储装置,

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【技术特征摘要】

1.一种半导体存储装置,具备:

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,

3.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

4.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

5.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

6.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

7.根据权利要求6所述的半导体存储装置,

8.根据权利要求2所述的半导体存储装置,

9.根据权利要求1所述的半导体存储装置,

10.根据权利要求1所述的半导体存储装...

【专利技术属性】
技术研发人员:增田贵史齐藤信美冈岛睦池田圭司
申请(专利权)人:铠侠股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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