【技术实现步骤摘要】
本技术涉及aln划线片维护，特别是涉及一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备。
技术介绍
1、氮化铝具有优良的导热性（为氧化铝陶瓷的 5-10倍），较低的介电常数和清洗介质损耗，可靠的绝缘性能，优良的力学性能，无毒，耐高温，耐化学腐蚀，且与硅的热膨胀系数相近，广泛应用于通讯器件、高亮度led、电力电子器件等行业，是理想的大规模集成电路散热基板和封装材料。
2、氮化铝陶瓷基板采用流延法进行加工时，通常先在陶瓷粉料中加入溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂等成分，球磨得到稳定、均一的陶瓷浆料，陶瓷浆料经过脱泡处理后在流延机上进行流延，干燥后形成一层生瓷片，生瓷片按照需要的尺寸进行划线、清洗、排胶、烧结、切割等工序，得到陶瓷薄片。
3、相关技术中，在氮化铝陶瓷基板的划线工艺过程中，先将氮化铝陶瓷基板固定于激光设备的工作台上，再通过激光设备形成激光束对氮化铝陶瓷基板进行划线，具体地，氮化铝陶瓷基板表面会被激光烧蚀形成凹槽，在激光烧蚀过程中氮化铝陶瓷基板会出现大量的浮粉，浮粉会到处散落，不仅散落在氮化铝陶瓷基板上，还会散落至激光设备的激光镜头上，从而导致激光镜头发出的激光束会被阻挡，从而影响划线效果。
技术实现思路
1、基于此，提供一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，以解决相关技术中在激光烧蚀过程中氮化铝陶瓷基板会出现大量的浮粉，浮粉会到处散落，不仅散落在氮化铝陶瓷基板上，还会散落至激光设备的激光镜头上，从而导致激光镜头发出的激光束会被阻挡，从而影响划线效果的问题。
2、一种
3、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，所述工作台包括基座、第一支撑架、第一安装板、第一连接板和第一伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述工装夹具设于所述第一连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第一连接板上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合。
4、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，所述工作台包括基座、第一支撑架、第二支撑架、第一安装板、第二安装板、第一连接板、第二连接板、第一伺服电机和第二伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合，所述第一伺服电机可驱动所述第一安装板沿第二方向移动；所述第二支架设于所述第一连接板上，所述第二连接板设于所述第二安装板上，所述工装夹具设于所述第二连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第二连接板上，所述第二支撑架邻近所述基座的一侧设置有第二导轨和第二齿条，所述第二安装板设置有第二滑块，所述第二安装板与所述第二支撑架通过所述第二滑块与所述第二导轨滑动配合，所述第二伺服电机设于所述第二安装板上，所述第二伺服电机的驱动端与所述第二齿条啮合配合，所述第二伺服电机可驱动所述第二安装板沿所述第一方向移动，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。
5、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，还包括储料机构和上料机构，所述上料机构和所述工作台沿所述第一方向依次间隔设于所述内腔中，所述上料机构和所述储料机构沿第二方向依次间隔设于所述内腔中。
6、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，所述储料机构包括第一支架、抬升板、圆柱齿条和第一驱动电机，所述第一驱动电机设于所述第一支架上，所述第一支架沿重力方向开设有通孔，所述通孔中设置有线性轴承，所述圆柱齿条与所述线性轴承滑动配合，所述圆柱齿条的一端与所述第一驱动电机的驱动端啮合配合，所述圆柱齿条的另一端与所述抬升板相连，所述第一支架的周缘均布设置有四个限位柱，所述四个限位柱形成承载空间，所述承载空间中可放置氮化铝陶瓷基板。
7、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，所述上料机构包括第二支架、第二驱动电机、第二驱动气缸、第三驱动气缸和抓取气爪，所述第二驱动电机设于第二支架上，所述第二驱动电机的驱动端与所述第二驱动气缸相连，所述第二驱动电机可驱动所述第二驱动气缸转动，所述第三驱动气缸与所述第二驱动气缸的伸缩端相连，所述抓取气爪与所述第三驱动气缸的伸缩端相连。
8、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，所述储料机构为两个，所述两个储料机构一者、所述上料机构和所述两个储料机构另一者沿第二方向依次间隔设于所述内腔中。
9、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，还包括储尘仓，所述储尘仓的开口伸入所述内腔与所述集尘筒相连、且连通。
10、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，所述储尘仓中设置有吸尘器。
11、优选地，上述一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，激光组件包括连接轴、补光灯、激光发射器和第二吹风机，所述连接轴设于所述内腔中，所述连接轴上设置有连接板，所述补光灯、所述激光发射器和所述第二吹风机均设于所述连接板上。
12、本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：
13、在本申请公开的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备中，壳体开设有内腔，工作台和激光组件设于内腔中，工装夹具设于工作台上，激光组件与工装夹具沿重力方向相对，第一驱动气缸设于工作台上，第一吹风机与第一驱动气缸的驱动端相连，集尘筒设于内腔中，在第一驱动气缸处于第一状态（缩回状态）的情况下，第一吹风机、工装夹具和集尘筒沿第一方向依次间隔设置，第一吹风机开启。
14、在氮化铝陶瓷基片划线除尘设备的使用过程中，氮化铝陶瓷基片放置于工装夹具上，激光组件对氮化铝陶瓷基片进行激光划线，第一驱动气缸驱动第一吹风机移动至第一位置（即第一驱动气缸处于缩回状态），第一吹风机、工装夹具和集尘筒沿第一方向依次间隔设置，第一吹风机开启，第一吹风机对工装夹具及氮化铝陶瓷基片进行吹扫，激光组件射出激光对氮化铝陶瓷基板烧蚀出现的浮粉会被吹扫至集尘筒中，从而避免浮粉散落至各处和附着至激光组件上，从而保证划线效果，同时，第一吹风机吹扫的风能够对氮化铝陶瓷基板进行降本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，包括壳体、工装夹具、工作台、激光组件、第一吹风机、第一驱动气缸和集尘筒，所述壳体开设有内腔，所述工作台和所述激光组件设于所述内腔中，所述工装夹具设于所述工作台上，所述激光组件与所述工装夹具沿重力方向相对，所述第一驱动气缸设于所述工作台上，所述第一吹风机与第一驱动气缸的驱动端相连，所述集尘筒设于所述内腔中，在所述第一驱动气缸处于第一状态的情况下，所述第一吹风机、所述工装夹具和所述集尘筒沿第一方向依次间隔设置，所述第一吹风机开启。
2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，所述工作台包括基座、第一支撑架、第一安装板、第一连接板和第一伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述工装夹具设于所述第一连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第一连接板上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺
3.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，所述工作台包括基座、第一支撑架、第二支撑架、第一安装板、第二安装板、第一连接板、第二连接板、第一伺服电机和第二伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合，所述第一伺服电机可驱动所述第一安装板沿第二方向移动；所述第二支撑架设于所述第一连接板上，所述第二连接板设于所述第二安装板上，所述工装夹具设于所述第二连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第二连接板上，所述第二支撑架邻近所述基座的一侧设置有第二导轨和第二齿条，所述第二安装板设置有第二滑块，所述第二安装板与所述第二支撑架通过所述第二滑块与所述第二导轨滑动配合，所述第二伺服电机设于所述第二安装板上，所述第二伺服电机的驱动端与所述第二齿条啮合配合，所述第二伺服电机可驱动所述第二安装板沿所述第一方向移动，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。
4.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，还包括储料机构和上料机构，所述上料机构和所述工作台沿所述第一方向依次间隔设于所述内腔中，所述上料机构和所述储料机构沿第二方向依次间隔设于所述内腔中。
5.根据权利要求4所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，所述储料机构包括第一支架、抬升板、圆柱齿条和第一驱动电机，所述第一驱动电机设于所述第一支架上，所述第一支架沿重力方向开设有通孔，所述通孔中设置有线性轴承，所述圆柱齿条与所述线性轴承滑动配合，所述圆柱齿条的一端与所述第一驱动电机的驱动端啮合配合，所述圆柱齿条的另一端与所述抬升板相连，所述第一支架的周缘均布设置有四个限位柱，所述四个限位柱形成承载空间，所述承载空间中可放置氮化铝陶瓷基板。
6.根据权利要求4所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，所述上料机构包括第二支撑架、第二驱动电机、第二驱动气缸、第三驱动气缸和抓取气爪，所述第二驱动电机设于第二支撑架上，所述第二驱动电机的驱动端与所述第二驱动气缸相连，所述第二驱动电机可驱动所述第二驱动气缸转动，所述第三驱动气缸与所述第二驱动气缸的伸缩端相连，抓取气爪与所述第三驱动气缸的伸缩端相连。
7.根据权利要求4所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，所述储料机构为两个，所述两个储料机构一者、所述上料机构和所述两个储料机构另一者沿第二方向依次间隔设于所述内腔中。
8.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，还包括储尘仓，所述储尘仓的开口伸入所述内腔与所述集尘筒相连、且连通。
9.根据权利要求8所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，所述储尘仓中设置有吸尘器。
10.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，激光组件包括连接轴、补光灯、激光发射器和第二吹风机，所述连接轴设于所述内腔中，所述连接轴上设置有连接板，所述补光灯、所述激光发射器和所述第二吹风机均设于所述连接板上。
...【技术特征摘要】
1.一种氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，包括壳体、工装夹具、工作台、激光组件、第一吹风机、第一驱动气缸和集尘筒，所述壳体开设有内腔，所述工作台和所述激光组件设于所述内腔中，所述工装夹具设于所述工作台上，所述激光组件与所述工装夹具沿重力方向相对，所述第一驱动气缸设于所述工作台上，所述第一吹风机与第一驱动气缸的驱动端相连，所述集尘筒设于所述内腔中，在所述第一驱动气缸处于第一状态的情况下，所述第一吹风机、所述工装夹具和所述集尘筒沿第一方向依次间隔设置，所述第一吹风机开启。
2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，所述工作台包括基座、第一支撑架、第一安装板、第一连接板和第一伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述工装夹具设于所述第一连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第一连接板上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合。
3.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片划线除尘设备，其特征在于，所述工作台包括基座、第一支撑架、第二支撑架、第一安装板、第二安装板、第一连接板、第二连接板、第一伺服电机和第二伺服电机，所述基座设于所述内腔中，所述第一支撑架设于所述基座上，所述第一连接板设于所述第一安装板上，所述第一支撑架邻近所述基座的一侧设置有第一导轨和第一齿条，所述第一安装板设置有第一滑块，所述第一安装板与所述第一支撑架通过所述第一滑块与所述第一导轨滑动配合，所述第一伺服电机设于所述第一安装板上，所述第一伺服电机的驱动端与所述第一齿条啮合配合，所述第一伺服电机可驱动所述第一安装板沿第二方向移动；所述第二支撑架设于所述第一连接板上，所述第二连接板设于所述第二安装板上，所述工装夹具设于所述第二连接板上，所述第一驱动气缸设于所述第二连接板上，所述第二支撑架邻近所述基座的一侧设置有第二导轨和第二齿条，所述第二安装板设置有第二滑块，所述第二安装板与所述第二支撑架通过所述第二滑块与所述第二导轨滑动配合，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁振侠，关玉龙，付民善，李大海，田印国，
申请(专利权)人：宁夏北瓷新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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