一种氮化铝合成炉用反应舟及氮化铝合成炉制造技术

本申请涉及一种氮化铝合成炉用反应舟及氮化铝合成炉，包括壳体和进气部，壳体底部中心位置处开设有进气口，进气部具有进气通道，进气通道的一端为开口端，另一端为密封封闭端，进气部的侧壁开设有多个进气孔，开口端与进气口连接且连通，且进气部位于壳体内，进气部与壳体之间形成容料空间，容料空间与进气通道通过进气孔连通。上述方案通过改变反应舟的结构，保证碳热还原反应过程中氮气与氮化铝前驱体颗粒的接触面积大、且接触充分，从而能够减少氮气的使用量以及缩短反应时间，以降低氮化铝合成炉的功耗，氮气使用量较现有技术下降40%，设备功耗下降20%，进而使得通过氮化铝合成炉合成氮化铝粉体的经济性好。成炉合成氮化铝粉体的经济性好。成炉合成氮化铝粉体的经济性好。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化铝合成炉用反应舟及氮化铝合成炉


[0001]本申请涉及氮化铝生产设备
，特别是涉及一种氮化铝合成炉用反应舟及氮化铝合成炉。

技术介绍

[0002]氮化铝陶瓷作为新型材料，具有优异的热导率、较低的介电损耗和介电常数以及可靠的电绝缘性能，同时具有与硅相接近的热膨胀系数等一些列优异的特性，被认为是高集成度半导体基片和电子器件封装的理想材料，在国防、航空航天、通讯、微电子等领域内应用前景十分广阔。
[0003]对于氮化铝陶瓷材料而言，原始氮化铝粉末的技术指标，如粒径、纯度以及颗粒形貌等因素直接影响氮化铝陶瓷材料的综合性能，影响氮化铝陶瓷性能的因素主要包括氮化铝粉体的氮含量、氧杂质含量、微量元素铁、硅、钙等杂质含量、粒度分布、比表面积等。当氮化铝粉体杂质的含量偏高时，烧结性能差，很难获得致密的氮化铝陶瓷，且热导率会远低于理论值。
[0004]目前氮化铝粉体的合成方法很多，主要有：铝粉直接氮化法、碳热还原法、化学气相沉积法、自蔓延高温合成法以及等离子化学合成法等。其中直接氮化法、碳热还原法已经在工业领域得到了广泛推广。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化铝合成炉用反应舟，其特征在于，包括壳体（100）和进气部（200），所述壳体（100）底部中心位置处开设有进气口（110），所述进气部（200）具有进气通道（210），所述进气通道（210）的一端为开口端，另一端为密封封闭端，所述进气部（200）的侧壁开设有多个进气孔（220），所述开口端与所述进气口（110）连接且连通，且所述进气部（200）位于所述壳体（100）内，所述进气部（200）与所述壳体（100）之间形成容料空间（300），所述容料空间（300）与所述进气通道（210）通过所述进气孔（220）连通。2.根据权利要求1所述的一种氮化铝合成炉用反应舟，其特征在于，在竖直向下的方向上，所述进气孔（220）自所述进气部（200）的侧壁向着所述容料空间（300）倾斜向下延伸设置。3.根据权利要求2所述的一种氮化铝合成炉用反应舟，其特征在于，所述进气孔（220）的延伸方向与竖直方向之间形成的夹角大小为20
°
至50
°
。4.根据权利要求1所述的一种氮化铝合成炉用反应舟，其特征在于，所述壳体（100）底部倾斜设置有承料板（120），在竖直向上的方向上，所述承料板（120）自所述壳体（100）底部中心...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁振侠，李大海，成罗，宋嘉骏，
申请(专利权)人：宁夏北瓷新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：