氮化铝陶瓷基片辊刷清洗装置制造方法及图纸

技术编号:41137487 阅读:29 留言:0更新日期:2024-04-30 18:08
本申请涉及氮化铝陶瓷基片辊刷清洗装置,辊刷件与滑槽滑动配合,第四驱动气缸设于设备主体上,第四驱动气缸与辊刷件相连,清洗组件设于设备主体上,第一驱动气缸和第二驱动气缸设于设备主体上,第一限位门和烘干器设于第一驱动气缸相背的两侧,第二限位门与第二驱动气缸相连;在氮化铝陶瓷基片移动至第一位置时,第一驱动气缸驱动第一限位门移动至与氮化铝陶瓷基片限位配合,第四驱动气缸驱动辊刷件往复移动;在氮化铝陶瓷基片移动至第二位置时,烘干器随第一限位门移动而邻近氮化铝陶瓷基片,烘干器开启。上述方案能够解决陶瓷基板在清洗后会附有杂质,杂质会影响激光对氮化铝陶瓷基板划线的槽深精度的把控,从而导致划线效果不佳。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及氮化铝陶瓷基片清洗,特别是涉及一种氮化铝陶瓷基片辊刷清洗装置


技术介绍

1、氮化铝具有优良的导热性(为氧化铝陶瓷的 5-10倍),较低的介电常数和清洗介质损耗,可靠的绝缘性能,优良的力学性能,无毒,耐高温,耐化学腐蚀,且与硅的热膨胀系数相近,广泛应用于通讯器件、高亮度led、电力电子器件等行业,是理想的大规模集成电路散热基板和封装材料。

2、氮化铝陶瓷基板采用流延法进行加工时,通常先在陶瓷粉料中加入溶剂、分散剂、粘结剂、增塑剂等成分,球磨得到稳定、均一的陶瓷浆料,陶瓷浆料经过脱泡处理后在流延机上进行流延,干燥后形成一层生瓷片,生瓷片按照需要的尺寸进行烧结、清洗、划线等工序,得到陶瓷薄片。

3、相关技术中,在氮化铝陶瓷基板的清洗工艺过程中,通过湿法清洗工艺对氮化铝陶瓷基板进行清洗,具体地,将氮化铝陶瓷基板依次经过酸洗和水洗工序,氮化铝陶瓷基板在经过激光划线后,划线位置存留有黑边(即氧化铝等杂质),通过酸洗工序能够将黑边进行溶解,再经过水洗来稀释氮化铝陶瓷基板附着的酸液和杂质,然而陶瓷基板在清洗后表面会附着有氮化硼粉、酸碱残本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氮化铝陶瓷基片辊刷清洗装置,其特征在于,包括设备主体、辊刷件、第一驱动气缸、第二驱动气缸、第四驱动气缸、第一限位门、第二限位门、烘干器和清洗组件,所述设备主体开设有滑槽,所述辊刷件与所述滑槽滑动配合,所述第四驱动气缸设于所述设备主体上,所述第四驱动气缸的驱动端与所述辊刷件相连,所述清洗组件设于所述设备主体上,所述清洗组件和所述辊刷件沿重力方向依次设置,所述第一驱动气缸和所述第二驱动气缸在沿第一方向上依次间隔设于所述设备主体上,所述第一限位门和所述烘干器设于所述第一驱动气缸的驱动端沿所述第一方向相背的两侧,所述第二限位门与所述第二驱动气缸的驱动端相连,所述设备主体承载有氮化铝陶瓷基...

【技术特征摘要】

1.一种氮化铝陶瓷基片辊刷清洗装置,其特征在于,包括设备主体、辊刷件、第一驱动气缸、第二驱动气缸、第四驱动气缸、第一限位门、第二限位门、烘干器和清洗组件,所述设备主体开设有滑槽,所述辊刷件与所述滑槽滑动配合,所述第四驱动气缸设于所述设备主体上,所述第四驱动气缸的驱动端与所述辊刷件相连,所述清洗组件设于所述设备主体上,所述清洗组件和所述辊刷件沿重力方向依次设置,所述第一驱动气缸和所述第二驱动气缸在沿第一方向上依次间隔设于所述设备主体上,所述第一限位门和所述烘干器设于所述第一驱动气缸的驱动端沿所述第一方向相背的两侧,所述第二限位门与所述第二驱动气缸的驱动端相连,所述设备主体承载有氮化铝陶瓷基片;

2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片辊刷清洗装置,其特征在于,所述设备主体包括壳体、滚筒输送组件和驱动电机,所述壳体开设有滑槽,所述滚筒输送组件与所述壳体滚动相连,所述清洗组件和所述滚筒输送组件沿所述重力方向依次设置,所述驱动电机设于所述壳体上,所述驱动电机的驱动端与所述滚筒输送组件通过传动链条传动配合,所述滚筒输送组件承载有所述氮化铝陶瓷基片;

3.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷基片辊刷清洗装置,其特征在于,所述辊刷件包括电动滚筒和金刚石辊刷层,所述金刚石辊刷层套设在所述电动滚筒上,所述电动滚筒与所述滑槽滑动配合,在氮化铝陶瓷基片辊刷清...

【专利技术属性】
技术研发人员:关玉龙袁振侠马平何雪冰付民善
申请(专利权)人:宁夏北瓷新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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