【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高精度位移测量和高精度惯性传感，更具体的涉及一种具备激光自动对准的准单片紧凑型干涉仪探头设计及其使用方法。
技术介绍
1、激光干涉仪广泛用于各个领域的高精度位移测量，如重力波探测器，惯性传感器，测振仪，机床，坐标测量机cmm，光刻等领域。现阶段已经研发出多种具有紧凑、稳定和宽动态范围等特征的激光干涉仪，在这些干涉仪中，由激光源、光学工作台和目标反射器组成的零差干涉仪因其简单性和紧凑性而被受青睐。
2、为了进一步提高零差干涉仪的紧凑性和稳定性，在实际应用和商用干涉仪中通常采用光学传感器头的设计，例如德国smaract公司生产的c01干涉仪探头，体积十分小巧，占用面积仅为4*13mm，重量仅为十几克，其位移测量精度可达到皮米级。
3、然而该类产品角度工作范围小，一般的角度调节范围在几mrad级，不能使用在大动态范围测量，增加了目标物调装的难度。
技术实现思路
1、针对上述领域中存在的问题，本专利技术提出了一种激光干涉仪及其使用方法，能够解决不能使用在大动态...
【技术保护点】
1.一种激光干涉仪，其特征在于，包括基底(1)、光纤环形器(2)、安装座(4)和角锥棱镜(8)；
2.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，所述光纤环形器(2)的出射的激光波长为1064nm，光束类型为基模高斯光，光纤类型为单模保偏。
3.根据权利要求2所述的激光干涉仪，其特征在于，所述光纤准直器(3)的尾纤为保偏光纤，所述光纤准直器(3)的直径为3mm的圆柱型，长度为9mm，尾纤长度为1m，光纤类型为单模保偏光纤，设计波长为1064nm。
4.根据权利要求3所述的激光干涉仪，其特征在于，所述安装座(4)的尺寸为10*10*1...
【技术特征摘要】
1.一种激光干涉仪，其特征在于，包括基底(1)、光纤环形器(2)、安装座(4)和角锥棱镜(8)；
2.根据权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，所述光纤环形器(2)的出射的激光波长为1064nm，光束类型为基模高斯光，光纤类型为单模保偏。
3.根据权利要求2所述的激光干涉仪，其特征在于，所述光纤准直器(3)的尾纤为保偏光纤，所述光纤准直器(3)的直径为3mm的圆柱型，长度为9mm，尾纤长度为1m，光纤类型为单模保偏光纤，设计波长为1064nm。
4.根据权利要求3所述的激光干涉仪，其特征在于，所述安装座(4)的尺寸为10*10*10mm，材质为k9玻璃，所述安装座(4)的中心位置设置的圆孔的孔直径为3mm。
5.根据权利要求4所述的激光干涉仪，其特征在于，所述介质膜反射镜(6)与中心穿孔的介质膜反射镜(7)的尺寸同为10*10*2mm、设计波长同为1064nm、反射率同为99.99％和入射角同为0度；所述中心穿孔的介质膜反射镜(7)的中心为直径为2mm的圆形通...
【专利技术属性】
技术研发人员：林响，颜浩，邱鹏，梁浴榕，周泽兵，任小芳，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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