下载一种激光干涉仪及其使用方法的技术资料

文档序号:40636657

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本发明公开了一种激光干涉仪及其使用方法,属于高精度位移测量和高精度惯性传感技术领域。设置的激光干涉仪将测量激光依次通过设置的光纤环形器、光纤准直器和消偏振分光棱镜后,使得光纤准直器出射的测量激光与中心穿孔的介质膜反射镜垂直,分出的两束激光相...
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