一种晶片脱胶机制造技术

技术编号:40631339 阅读:9 留言:0更新日期:2024-03-13 21:16
本技术公开了一种晶片脱胶机,涉及硅片生产技术领域,包括机台,机台的前端开设有清洗槽,机台的顶部设置有升降装置,且升降装置的移动端连接有两组吊臂,清洗槽的上方设置有支撑工装,且支撑工装的顶部夹持连接有待脱胶件,两组吊臂的前端共同连接有定位组件,且定位组件底部和支撑工装的后端相连,机台的顶部前侧安装有限位组件,通过移动滑杆使得两组连接架实现翻转,从而根据待脱胶件的位置,使得两组定位板位于待脱胶件的两端外部,通过转柄驱动双向螺杆转动,则两组连接架和两组定位板同步向中间移动,进而对待脱胶件进行夹持,限制待脱胶件的位置,该结构对两组连接架和两组定位板的位置调节较为简便,便于进行操作。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片生产,具体为一种晶片脱胶机


技术介绍

1、经检索,现公开了脱胶清洗机(公开号:cn218191390u),该专利中通过在连接杆外部移动两组挡板机构,使得两组挡板部移动至待脱胶件两端,并采用定位螺栓将两组挡板机构固定在连接杆外部,实现对待脱胶件的可靠定位,可以防止待脱胶件在脱胶后偏移,有利于减少安全隐患;

2、然而两组挡板机构在待脱胶件进行脱胶作业前后均需对其进行移动,在每次移动前,均需松动两组定位螺栓,使用时较为不便,且反复操作较为繁琐,为此,我们提出了一种晶片脱胶机。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种晶片脱胶机,解决了上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种晶片脱胶机,包括机台,所述机台的前端开设有清洗槽,所述机台的顶部设置有升降装置,且升降装置的移动端连接有两组吊臂,所述清洗槽的上方设置有支撑工装,且支撑工装的顶部夹持连接有待脱胶件,两组所述吊臂的前端共同连接有定位组件,且定位组件底部和支撑工装的后端相连,所述机台的顶部前侧安装有限位组件,且限位组件的自由端和限位组件卡合连接;

3、所述定位组件包括对称设置的两组竖板,两组所述竖板的顶部之间共同转动连接有双向螺杆,所述双向螺杆的外部对称螺纹连接有两组连接架,且每组连接架的自由端均连接有定位板,所述双向螺杆的一端且位于两组竖板的外部连接有转柄。

4、作为本技术进一步的技术方案,所述双向螺杆的外表面两端均开设有结构相同且旋向相反的外螺纹。

5、作为本技术进一步的技术方案,每组所述竖板的侧面且位于每组双向螺杆的外部均连接有环座,每组所述环座的侧面均连接有环形导轨,且每组环形导轨的外部均滑动连接有滑座,两组所述连接架的内部共同贯穿滑动连接有滑杆,且滑杆的两端和两组滑座的侧面相连。

6、作为本技术进一步的技术方案,两组所述竖板的顶部均连接有多组紧固螺栓,两组所述竖板的顶部和两组吊臂的前端通过多组紧固螺栓形成固定连接,两组所述竖板的底部和支撑工装的后端相连。

7、作为本技术进一步的技术方案,所述限位组件包括转动座,所述转动座的前端转动连接有转动块,所述转动块的自由端侧面连接有单向螺杆,所述单向螺杆的外部螺纹连接有螺筒,所述螺筒的自由端连接有弹性件,所述弹性件的表面开设有卡槽。

8、作为本技术进一步的技术方案,所述转动座的后侧面和机台的顶部前侧面相连,所述卡槽的内部尺寸和滑杆的直径尺寸相适配。

9、有益效果

10、本技术提供了一种晶片脱胶机。与现有技术相比具备以下有益效果:

11、1、一种晶片脱胶机,通过移动滑杆使得两组连接架实现翻转,从而根据待脱胶件的位置,使得两组定位板位于待脱胶件的两端外部,通过转柄驱动双向螺杆转动,则两组连接架和两组定位板同步向中间移动,进而对待脱胶件进行夹持,限制待脱胶件的位置,该结构对两组连接架和两组定位板的位置调节较为简便,便于进行操作。

12、2、一种晶片脱胶机,通过转动块可在转动座的内部实现上下转动,螺筒在单向螺杆的外部转动可调节弹性件的位置,从而使得滑杆卡合在卡槽的内部,从而对两组定位板使用前后,对两组连接架的位置进行限位。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶片脱胶机,包括机台(1),所述机台(1)的前端开设有清洗槽(2),所述机台(1)的顶部设置有升降装置,且升降装置的移动端连接有两组吊臂(3),所述清洗槽(2)的上方设置有支撑工装(6),且支撑工装(6)的顶部夹持连接有待脱胶件(7),其特征在于,两组所述吊臂(3)的前端共同连接有定位组件(4),且定位组件(4)底部和支撑工装(6)的后端相连,所述机台(1)的顶部前侧安装有限位组件(5),且限位组件(5)的自由端和限位组件(5)卡合连接;

2.根据权利要求1所述的一种晶片脱胶机,其特征在于,所述双向螺杆(42)的外表面两端均开设有结构相同且旋向相反的外螺纹。

3.根据权利要求1所述的一种晶片脱胶机,其特征在于,每组所述竖板(41)的侧面且位于每组双向螺杆(42)的外部均连接有环座(46),每组所述环座(46)的侧面均连接有环形导轨(47),且每组环形导轨(47)的外部均滑动连接有滑座(48),两组所述连接架(43)的内部共同贯穿滑动连接有滑杆(49),且滑杆(49)的两端和两组滑座(48)的侧面相连。

4.根据权利要求1所述的一种晶片脱胶机,其特征在于,两组所述竖板(41)的顶部均连接有多组紧固螺栓(410),两组所述竖板(41)的顶部和两组吊臂(3)的前端通过多组紧固螺栓(410)形成固定连接,两组所述竖板(41)的底部和支撑工装(6)的后端相连。

5.根据权利要求1所述的一种晶片脱胶机,其特征在于,所述限位组件(5)包括转动座(51),所述转动座(51)的前端转动连接有转动块(52),所述转动块(52)的自由端侧面连接有单向螺杆(53),所述单向螺杆(53)的外部螺纹连接有螺筒(54),所述螺筒(54)的自由端连接有弹性件(55),所述弹性件(55)的表面开设有卡槽(56)。

6.根据权利要求5所述的一种晶片脱胶机,其特征在于,所述转动座(51)的后侧面和机台(1)的顶部前侧面相连,所述卡槽(56)的内部尺寸和滑杆(49)的直径尺寸相适配。

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【技术特征摘要】

1.一种晶片脱胶机,包括机台(1),所述机台(1)的前端开设有清洗槽(2),所述机台(1)的顶部设置有升降装置,且升降装置的移动端连接有两组吊臂(3),所述清洗槽(2)的上方设置有支撑工装(6),且支撑工装(6)的顶部夹持连接有待脱胶件(7),其特征在于,两组所述吊臂(3)的前端共同连接有定位组件(4),且定位组件(4)底部和支撑工装(6)的后端相连,所述机台(1)的顶部前侧安装有限位组件(5),且限位组件(5)的自由端和限位组件(5)卡合连接;

2.根据权利要求1所述的一种晶片脱胶机,其特征在于,所述双向螺杆(42)的外表面两端均开设有结构相同且旋向相反的外螺纹。

3.根据权利要求1所述的一种晶片脱胶机,其特征在于,每组所述竖板(41)的侧面且位于每组双向螺杆(42)的外部均连接有环座(46),每组所述环座(46)的侧面均连接有环形导轨(47),且每组环形导轨(47)的外部均滑动连接有滑座(48),两组所述连接架(43)的内部共同贯...

【专利技术属性】
技术研发人员:何世苗常振兴
申请(专利权)人:合肥晶祺电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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