异型蒸发舟制造技术

技术编号:40631024 阅读:3 留言:0更新日期:2024-03-13 21:16
本技术公开了一种异型蒸发舟,包括:舟体,其对应电流方向的两端设置第一夹持端和第二夹持端,用于与电极接触并电性导通;蒸发区,设置在舟体的蒸发侧;导流槽,对应送丝位点,沿舟体蒸发区长度方向设置;还包括,蒸发池,对应设置在导流槽导流线路宽度方向的两侧,蒸发池设置为多个,且与导流槽连通,用于将导流槽中的金属液导流后流入至蒸发池内,将金属液铺展。本技术的蒸发舟结构能够将金属液迅速沿导流槽进行铺展,分散至蒸发池中;进一步设置倾斜的坡状通道,在充分铺展金属液的同时,能够保证金属液分散过程中,不易产生金属液飞溅的情况。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空蒸发镀覆,尤其涉及一种异型蒸发舟


技术介绍

1、使用pvd(物理气相沉积)进行所谓的真空带式金属化,是用金属涂布柔性衬底的常见方法。例如,柔性衬底可以是塑料膜、金属箔、膜或纸张。用于涂布衬底的最常用的金属是铝。

2、为了产生金属蒸气,通常使用蒸发舟。现有蒸发舟一般为舟状结构,中部设置凹槽,在真空环境下,使用电流的直接通过将这些蒸发舟加热,将例如铝等金属丝引导到预热的蒸发舟接近中部位置,金属丝熔融后,气化形成金属蒸汽并附着于基底表面。

3、在进行蒸镀过程中,蒸发舟的润湿性能好坏,决定了蒸镀的均匀性及舟体的使用寿命,同时也可一定程度降低溅铝的产生。

4、现有技术中,如cn115418614a中,公开了一种蒸发舟结构,包括第一舟部以及两个第二舟部,所述第一舟部沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置,两个所述第二舟部分别连接于所述第一舟部的两端,所述第二舟部在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一舟部在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧,所述第一舟部上形成有用于容纳金属蒸发液的第一蒸发池,所述第一蒸发池沿所述蒸发舟的长度方向延伸设置。所述第二舟部上形成有第二蒸发池,所述第二蒸发池与所述第一蒸发池连通,所述第二蒸发池在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧分别伸出于所述第一蒸发池在所述蒸发舟的宽度方向上的两侧。

5、上述蒸发舟结构中,选择舟体中部相对两端窄的方式,起到增加电极接触面积,提升电流密度,同时中部较窄的舟体结构,利于金属液延展。但是基于上述结构的蒸发舟,中间部分宽度较小,内阻相对较大,而两端内阻相对更小,使得舟体两端电阻差值较大,导致两蒸发池蒸发量存在差异;同时中部舟体的蒸发池宽度较小,也会造成蒸发面相对较小。


技术实现思路

1、本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本技术的一个目的在于提出一种异型蒸发舟,保证蒸发均匀性的同时,利于金属液进行铺展。

2、本技术的技术方案如下:

3、一种异型蒸发舟,包括:

4、舟体,其对应电流方向的两端设置第一夹持端和第二夹持端,用于与电极接触并电性导通;

5、蒸发区,设置在舟体的蒸发侧;

6、导流槽,对应送丝位点,沿舟体蒸发区长度方向设置;

7、还包括,蒸发池,对应设置在导流槽导流线路宽度方向的两侧,蒸发池设置为多个,且与导流槽连通,用于将导流槽中的金属液导流后流入至蒸发池内,将金属液铺展。

8、导流槽设置为溢流槽,且导流槽设置在舟体中部,也利于金属液朝向舟体长度方向进行铺展、分散。

9、进一步的,导流槽3设置在蒸发区中部位置。

10、进一步的,蒸发区为凹槽状结构或平面结构。

11、进一步的,蒸发池等间距分布在蒸发区内。

12、进一步的,相对侧的蒸发池错位分布或对称设置。

13、进一步的,在蒸发池靠近导流槽的一侧开设有入口,入口与导流槽连通,用于汇入金属液。

14、进一步的,在入口处设置有通道,通道的宽度小于蒸发池的最大宽度。

15、设置尺寸相对较小的通道,可以降低导流槽内的金属液的汇入至蒸发池中的速度,使得熔融的金属液更易充分沿导流槽铺展开。

16、进一步的,蒸发池的深度大于导流槽的深度;或,蒸发池底部与导流槽底部齐平。

17、进一步的,通道设置为斜坡状槽,从导流槽底部向蒸发池底部向下倾斜。

18、设置斜坡状通道,可以使得通道底部延伸至蒸发池液面下,可以减小金属液从导流槽的汇入时,液体滴落造成的飞溅情况。

19、本技术中的有益效果:基于本申请的蒸发舟结构,能够将金属液迅速沿导流槽进行铺展,分散至蒸发池中;进一步设置倾斜的坡状通道,在充分铺展金属液的同时,能够保证金属液分散过程中,不易产生金属液飞溅的情况。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种异型蒸发舟,包括:

2.根据权利要求1所述的异型蒸发舟,其特征在于:导流槽设置在蒸发区中部位置。

3.根据权利要求2所述的异型蒸发舟,其特征在于:蒸发区为凹槽状结构或平面结构。

4.根据权利要求3所述的异型蒸发舟,其特征在于:蒸发池等间距分布在蒸发区内。

5.根据权利要求4所述的异型蒸发舟,其特征在于:相对侧的蒸发池错位分布或对称设置。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的异型蒸发舟,其特征在于:在蒸发池靠近导流槽的一侧开设有入口,入口与导流槽连通,用于汇入金属液。

7.根据权利要求6所述的异型蒸发舟,其特征在于:在入口处设置有通道,通道的宽度小于蒸发池的最大宽度。

8.根据权利要求7所述的异型蒸发舟,其特征在于:蒸发池的深度大于导流槽的深度;或,蒸发池底部与导流槽底部齐平。

9.根据权利要求8所述的异型蒸发舟,其特征在于:通道设置为斜坡状槽,从导流槽底部向蒸发池底部向下倾斜。

【技术特征摘要】

1.一种异型蒸发舟,包括:

2.根据权利要求1所述的异型蒸发舟,其特征在于:导流槽设置在蒸发区中部位置。

3.根据权利要求2所述的异型蒸发舟,其特征在于:蒸发区为凹槽状结构或平面结构。

4.根据权利要求3所述的异型蒸发舟,其特征在于:蒸发池等间距分布在蒸发区内。

5.根据权利要求4所述的异型蒸发舟,其特征在于:相对侧的蒸发池错位分布或对称设置。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的异...

【专利技术属性】
技术研发人员:伽龙刘志康吴明忠满治强
申请(专利权)人:浙江柔震科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1