【技术实现步骤摘要】
本技术涉及抽气管路，具体为一种单向流通抽气管路。
技术介绍
1、溅射镀膜是将稀有气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向射向基体表面，在基体表面形成镀层，如果气体太多，气体离子在运行到靶材的过程中，很容易跟路程中的其他气体离子或分子碰撞，这样就不能加速，也溅射不出靶材原子来。所以需要真空状态。
2、例如公告号cn209456566u的中国授权专利《一种真空镀膜机的抽真空系统》，包括通过管道与真空室连接的抽空机构、真空检测机构和plc控制系统；抽空机构包括机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵和扩散泵，其中，机械泵、第一罗茨泵和第二罗茨泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条预抽空气路，机械泵、第一罗茨泵和扩散泵通过管道顺序连接与真空室之间形成一条抽真空气路；扩散泵上装配有调功器，调功器连接并受控于plc控制系统。
3、上述现有技术调试或者生产每组玻璃时，入口端、出口端的机械泵和罗茨泵组都要频繁的完成一次抽真空的动作。机械泵的旋片、油封、轴封等在长时间的高速运转，会渗漏出油气反串至罗茨泵和真空腔室内。对长时间高速运转的罗茨泵造成损伤和影响抽气速率。也会通过罗茨泵和真空管道反串到真空腔室内，污染真空腔室和玻璃，影响镀膜玻璃与膜层的结合度，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种单向流通抽气管路。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种单向流通抽气管
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单向流通抽气管路，包括气管，所述气管的一侧安装有机械泵，所述气管的另一侧安装有罗茨泵，所述罗茨泵一端的管路连接有真空腔室；还包括：
3、单向气管，其设置在所述气管的中间位置，所述单向气管的内部设置有若干个直流通道，且直流通道之间构成整个气流通道，所述直流通道的两端均设置有减速通道，减速通道的两端与直流通道相连通，且减速通道呈环形结构；
4、过滤机构，其设置在所述气管内部的一侧，所述过滤机构的内部安装有滤网；
5、单向截流机构，其设置在所述气管内部的另一侧，所述单向截流机构的内部设置有堵口，且堵口与气管相固定，所述堵口的一侧安装有与其相适配的密封塞。
6、优选的，所述单向气管中空气由罗茨泵朝机械泵的方向为正向运动，由机械泵朝罗茨泵的方向为截流反向运动。
7、优选的，所述气管的横截面为圆心，所述单向气管的横截面为矩形，且单向气管内部两端的直流通道与气管相连通。
8、优选的，所述过滤机构内部的另一侧固定设置有第一安装座，所述第一安装座的一侧安装有叶片，所述叶片中心轴的一侧固定设置有连接杆，所述连接杆的一端安装有毛刷，且毛刷的另一侧与滤网相贴合。
9、优选的，所述单向截流机构内部的另一侧固定设置有第二安装座，所述第二安装座一侧的中心位置固定设置有固定筒，所述固定筒的内部滑动安装有活动杆，且活动杆与密封塞相固定，所述活动杆与固定筒之间安装有弹簧。
10、优选的，所述罗茨泵与真空腔室之间的管路上安装有双向真空蝶阀。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
12、1、本技术通过设有单向气管，对真空腔室进行抽真空时，空气正向通过单向气管，由于直流通道构成的通路没有阻碍，因此空气能够快速的排出，当机械泵的旋片、油封、轴封产生油气反串至单向气管内部时，气体会在直流通道和减速通道交汇处分成两路，而进入减速通道的气体经过转向后在下一个交汇处与直流通道的空气再次汇聚，两路气体的流动方向是相悖的，因此形成了极大的阻力，会减少气体流通时能量逐渐消耗而阻断油气反串，该结构可以有效的阻断机械泵的旋片、油封、轴封等，在长时间的高速运转中渗漏出的油气反串至罗茨泵，而造成长时间高速运转的罗茨泵损伤，影响抽气速率，也可以有效的阻断油气通过罗茨泵和真空管道反串到真空室内，污染到真空腔室和玻璃，对镀膜品质的影响。
13、2、本技术通过设有过滤机构，机械泵的旋片、油封、轴封等渗漏出的油气在反串时，能够优先被滤网所拦截，避免油气进入直流通道和减速通道造成内部的污染，为避免滤网因长时间工作发生堵塞，在其一侧设置了自清洁机构，每当罗茨泵开启时，将真空腔室内部的空气吸附至单向气管中，高速流动的空气经过叶片时，会带动叶片进行旋转，从而通过连接杆带动毛刷进行转动，毛刷的一端与滤网相接触，那么在毛刷的旋转下，能够将堵塞滤网孔的杂质进行清理，从而确保气路流通的顺畅。
14、3、本技术通过设有单向截流机构，常规情况下密封塞在弹簧的作用下贴合在堵口上，形成对气管的密封，此时能够避免残留的油气通过气管进入至罗茨泵，当罗茨泵对真空腔室进行吸真空时，进入气管的空气会对密封塞形成挤压，从而令活动杆朝固定筒内部收缩，空气得以从堵口和密封塞之间的缝隙通过，确保真空吸附的顺畅。
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1.一种单向流通抽气管路，包括气管(1)，所述气管(1)的一侧安装有机械泵(2)，所述气管(1)的另一侧安装有罗茨泵(3)，所述罗茨泵(3)一端的管路连接有真空腔室(5)；
2.根据权利要求1所述的一种单向流通抽气管路，其特征在于：所述单向气管(6)中空气由罗茨泵(3)朝机械泵(2)的方向为正向运动，由机械泵(2)朝罗茨泵(3)的方向为截流反向运动。
3.根据权利要求1所述的一种单向流通抽气管路，其特征在于：所述气管(1)的横截面为圆心，所述单向气管(6)的横截面为矩形，且单向气管(6)内部两端的直流通道(7)与气管(1)相连通。
4.根据权利要求1所述的一种单向流通抽气管路，其特征在于：所述过滤机构(9)内部的另一侧固定设置有第一安装座(12)，所述第一安装座(12)的一侧安装有叶片(13)，所述叶片(13)中心轴的一侧固定设置有连接杆(15)，所述连接杆(15)的一端安装有毛刷(14)，且毛刷(14)的另一侧与滤网(11)相贴合。
5.根据权利要求1所述的一种单向流通抽气管路，其特征在于：所述单向截流机构(10)内部的另一侧固定
6.根据权利要求1所述的一种单向流通抽气管路，其特征在于：所述罗茨泵(3)与真空腔室(5)之间的管路上安装有双向真空蝶阀(4)。
...【技术特征摘要】
1.一种单向流通抽气管路，包括气管(1)，所述气管(1)的一侧安装有机械泵(2)，所述气管(1)的另一侧安装有罗茨泵(3)，所述罗茨泵(3)一端的管路连接有真空腔室(5)；
2.根据权利要求1所述的一种单向流通抽气管路，其特征在于：所述单向气管(6)中空气由罗茨泵(3)朝机械泵(2)的方向为正向运动，由机械泵(2)朝罗茨泵(3)的方向为截流反向运动。
3.根据权利要求1所述的一种单向流通抽气管路，其特征在于：所述气管(1)的横截面为圆心，所述单向气管(6)的横截面为矩形，且单向气管(6)内部两端的直流通道(7)与气管(1)相连通。
4.根据权利要求1所述的一种单向流通抽气管路，其特征在于：所述过滤机构(9)内部的另一侧固定设置有第一安装座(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：林嘉佑，
申请(专利权)人：台玻长江玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：
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