【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶片加工，尤其是涉及一种线网切片智能监控系统及方法。
技术介绍
1、多线切片机是单晶硅或多晶硅加工过程中的核心设备，单晶硅或多晶硅是通过多线切片机将硅料分切成多个薄片，多线切割中，金切割线构成的线网经一次切割硅料分切获得多个薄片。但切割过程中运行的线网中，受切片机的振动的影响以及金切割线与硅料的摩擦力等原因，线网绷紧后受硅料下压使得切割线容易出现线弓，一旦出现线弓过大或线弓不一致，若不及时处理，极易产生金切割线并线或跳线，并线和跳线的进一步扩大，会直接导致断线，断线时切片机直接停机，这将造成产品的不良品加大，设备停机导致的稼动率低，生产效率低不适用现有大批量生产的技术问题。
2、目前线网的监控多为人工通过设备的观察窗口，对运行中的线网进行观察，凭借生产经验对金切割线的状态进行监控，目视观察并判断切割线的跳线、并线和断线等异常情况，而且在硅棒切割快要结束时也无法准确判断硅棒是否切透。还有，在切片过程中，切割室内光线暗且切割水雾较大，会给观察者造成严重的视线干扰，无法实现有效的视觉监控；生产过程中，并不是所有线网异常发生时都需要停机处理。
3、现有人工监控的方式，不仅无法识别线弓的一致性以及线网状态的异常问题，而且误判率高、判断效率低且生产成本高，而且每次都需要人工进行干预处理，异常问题处理效率低，不能有效地解决由于线网状态异常而造成的产品不良、设备停机和制造成本过高的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种线网切片智能监控系统及方法，解决
2、为解决至少一个上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
3、一种线网切片智能监控系统，包括：
4、监控单元，其配有监控器，用于采集线网中切割线位置数据；
5、控制单元，其设有控制器，用于接收监控器所采集到的数据，并对所述数据进行处理，基于处理结果通知切片机进行优化调整。
6、进一步的，所述监控器的发射口与线网旋转的方向同向设置；
7、所述监控器沿线网长度方向从第一位置移动到第二位置，连续地朝切割线发射信号并采集返回信号，以识别切割线位置；
8、将采集到的信号转化成数字信号后传输至所述控制器。
9、进一步的，在工件两侧均设有所述监控单元，且与置于工件两侧的所述控制器相对设置；
10、置于工件两侧的所述控制器在线网以第一旋向旋转与以第二旋向旋转相互切换时，分别对旋转时的第一旋向的线网和第二旋向的线网进行交替监控。
11、进一步的，所述监控单元还包括：
12、壳体，用于保护所述监控器：
13、调位杆，与所述壳体连接，用于调整所述壳体旋向以使所述监控器倾斜地朝所述线网与工件接触的面发射信号。
14、进一步的，在所述监控单元的正对面还设有清洗单元，所述清洗单元包括清洗件和环置于所述清洗件的围板组件，所述围板组件设有容置区，以容置所述壳体中监控器发射口所对应的端面；
15、所述清洗件在所述监控器移至第一位置时在所述容置区内对所述壳体进行清洗。
16、进一步的，还包括动力单元，包括沿线网长度方向设置的长道和连块，所述监控单元与所述连块连接，所述连块带动所述监控单元在所述长道移动。
17、进一步的，还包括显示单元，其设有显示屏，所述控制器将处理后的结果在显示屏上以曲线的形式显示出来。
18、基于如上任一项所述的线网切片智能监控系统所实现的一种线网切片智能监控方法，步骤包括：
19、控制监控器采集线网中切割线位置数据；
20、接收监控器所采集到的数据，并对所述数据进行处理，基于处理结果通知切片机进行优化调整。
21、进一步的，所述控制监控器采集线网中切割线位置数据，包括：
22、控制所述监控器的发射口与线网旋转的方向同向设置；
23、控制所述监控器沿线网长度方向从第一位置移动到第二位置，连续地朝切割线发射信号并采集返回信号，以识别切割线位置；
24、将采集到的信号转化成数字信号后传输至所述控制器。
25、进一步的，所述接收监控器所采集到的数据，并对所述数据进行处理，基于处理结果通知切片机进行优化调整，包括：
26、所述控制器将转化后的数字信号采用移位平均法、高斯算法和中值滤波算法进行去噪处理，获得线网中每个区域中每个切割线的位置高度；
27、基于获得的每个区域中每个切割线的位置高度与该区域中的线网与工件接触面的位置高度，获得该区域中每个切割线相对于该区域中的线网与工件接触面的竖向位置距离，即该区域中每个切割线所对应的线弓值和跳动值；
28、基于切割过程中每个区域中的所有切割线的线弓值和跳动值，可形成每个区域对应的独立的线弓曲线和跳动曲线；
29、基于切割进给量达到预设进给量阈值时获取的每个区域中的每个切割线的线弓值，可形成所有区域的整体的线弓曲线；
30、基于每个区域对应的独立的线弓曲线和跳动曲线、以及所有区域的整体的线弓曲线，以判断识别哪个区域出现异常问题，直接进行人工干预或自动调整参数。
31、采用本专利技术设计的一种线网切片智能监控系统及方法，可自动监控线网线弓状态，并能自动判断线网异常状态结果，最大限度地降低人工干预，并基于判断结果进行自动处理，可在发生问题时及时有效地通知切片机进行参数调整或者进行人工干预。
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1.一种线网切片智能监控系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，所述监控器的发射口与线网旋转的方向同向设置；
3.根据权利要求1或2所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，在工件两侧均设有所述监控单元，且与置于工件两侧的所述控制器相对设置；置于工件两侧的所述控制器在线网以第一旋向旋转与以第二旋向旋转相互切换时，分别对旋转时的第一旋向的线网和第二旋向的线网进行交替监控。
4.根据权利要求3所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，所述监控单元还包括：
5.根据权利要求4所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，在所述监控单元的正对面还设有清洗单元，所述清洗单元包括清洗件和环置于所述清洗件的围板组件，所述围板组件设有容置区，以容置所述壳体中监控器发射口所对应的端面；
6.根据权利要求1所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，还包括动力单元，包括沿线网长度方向设置的长道和连块，所述监控单元与所述连块连接，所述连块带动所述监控单元在所述长道移动。
7.根据权
8.基于权利要求1至7任一项所述的线网切片智能监控系统所实现的一种线网切片智能监控方法，其特征在于，步骤包括：
9.根据权利要求8所述的一种线网切片智能监控方法，其特征在于，所述控制监控器采集线网中切割线位置数据，包括：
10.根据权利要求8或9所述的一种线网切片智能监控方法，其特征在于，所述接收监控器所采集到的数据，并对所述数据进行处理，基于处理结果通知切片机进行优化调整，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种线网切片智能监控系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，所述监控器的发射口与线网旋转的方向同向设置；
3.根据权利要求1或2所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，在工件两侧均设有所述监控单元，且与置于工件两侧的所述控制器相对设置；置于工件两侧的所述控制器在线网以第一旋向旋转与以第二旋向旋转相互切换时，分别对旋转时的第一旋向的线网和第二旋向的线网进行交替监控。
4.根据权利要求3所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，所述监控单元还包括：
5.根据权利要求4所述的一种线网切片智能监控系统，其特征在于，在所述监控单元的正对面还设有清洗单元，所述清洗单元包括清洗件和环置于所述清洗件的围板组件，所述围板组件设有容置区，以容置所述壳体中监控器发射口所对应的端面；
【专利技术属性】
技术研发人员：张海明，张昊铭，杨旭洲，武瑞，危晨，赵朋占，
申请(专利权)人：天津市环智新能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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