【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶片制造，尤其是涉及一种晶棒切片是否切透的处理方法及处理系统。
技术介绍
1、刚线在未切割晶棒时，两个槽轮间的刚线是平直的，槽轮间的刚线组成非常平整的线网，整个线网与槽轮相切，且整个线网与槽轮的切点共线。线弓在晶棒切片过程中是非常常见的现象，一旦其超过其范围，会直接影响晶棒的切割质量。尤其是在晶棒切割结束时，线网的线弓过大，则会导致其两侧的位置已被切透而中间位置未被切透，进而出现晶棒未切透的现象，从而导致切割后的硅片均是连体硅片，不符合加工要求。
2、现有切片机无法自动监控晶棒是否切透，完全是靠人工进行分析判断。每次晶棒切割结束停机后，人工打开切片室仓门，用手电筒照射，再拨开线网位置再观察晶棒切割情况，以判断是否切透。若未切透，再关闭仓门，人工操作重新增加加切程序，边加切边人工检查切割情况，直至晶棒完全切透为止。现有人工识别判定的方式，不仅晶棒切片质量无法保证，而且增加了停机观察时间，工作效率极低，生产成本高，严重影响切片生产过程中的生产进度。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种工件切透的处理方法及处理系统，主要解决了如何在生产线中自动判断晶棒切片是否切透、以及若出现未切透时如何完成晶棒切透的技术问题。
2、为解决至少一个上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
3、一种工件切透的处理方法，步骤包括：
4、当工件切割的进给量达到预设阈值结束时，获取线网中所有区域的测量线弓值；
5、将获取的线网中所有区域的
6、当线网中所有区域的测量线弓值都小于或等于标准线弓值时，确定该工件已切透；
7、当线网中有任一区域的测量线弓值大于标准线弓值时，确定该工件未切透。
8、进一步的，所述获取线网中所有区域的测量线弓值，步骤包括：
9、控制置于切片室内的检测件连续地沿工件长度方向依次对线网中所有区域中的线网位置高度进行检测，并获取所有区域中的线网的最低点的位置值；
10、基于探测的线网中每个区域中的最低点位置与线网和槽轮的切点位置的高度差，获得线网中所有区域中的线弓值。
11、进一步的，所述检测件置于线网宽度方向两侧，且其发射口与线网旋转方向同向设置；
12、置于线网宽度两侧的所述检测件分别是在线网以第一旋向旋转与以第二旋向旋转相互切换时对线网进行交替检测；
13、其中，所述第一旋向为线网进线时的旋转方向；所述第二旋向为线网收线时的旋转方向。
14、进一步的，工件未切透时，执行加切程序，包括：
15、控制工件向上提高一定距离，再对工件进行加切切割；
16、当加切总进给量达到预定阈值时，获取加切线网中所有区域的测量线弓值；
17、并将获取的加切线网中所有区域的测量线弓值与标准线弓值再次进行对比，得到对比结果；
18、基于对比结果，确定工件加切的切透情况；
19、重复上述步骤，直至工件切透为止。
20、进一步的，在工件向上提高的过程中，线网还以一定速度缓慢地旋转，直至工件提高到设定距离后停止旋转。
21、进一步的，线网在工件向上提高的过程中以小于或等于0.1m/s的速度沿第一旋向进行旋转。
22、进一步的，工件以预设的进刀速度向上提高2-5mm，且工件向上提高的距离为非间断操作。
23、进一步的，当加切切割时，还包括：
24、对线轴中剩余线量中的有效切割线的长度进行确认；
25、基于有效切割线的长度，判断加切切割时线网的旋转方向。
26、进一步的，所述对线轴中剩余线量中的有效切割线的长度进行确认，包括：
27、确定线轴中的剩余线量中有无衔接线；
28、基于衔接线的长度，确定有效切割线的长度。
29、进一步的，所述基于衔接线的长度，确定有效切割线的长度，包括：
30、当衔接线的长度为零时，有效切割线的长度即为剩余线量的长度；
31、当衔接线的长度大于零时，有效切割线的长度即为剩余线量的长度减去衔接线的长度。
32、进一步的，所述基于有效切割线的长度，判断加切切割时线网的旋转方向，包括：
33、判断有效切割线的长度是否大于预设的最小切割用线量的长度；
34、当有效切割线的长度大于最小切割用线量的长度时，则，
35、线网先按照第二旋向旋转一定长度切割后再按照第一旋向旋转一定长度继续切割；
36、按照第二旋向旋转后再以第一旋向旋转的交替切割的方式直至切割结束；
37、其中，线网以第二旋向旋转的长度大于以第一旋向旋转的长度；
38、当有效切割线的长度小于最小切割用线量的长度时，则，
39、线网先按照第一旋向旋转一定长度切割后再按照第二旋向旋转一定长度继续切割；
40、按照第一旋向旋转后再以第二旋向旋转的交替切割的方式直至切割结束；
41、其中，线网以第一旋向旋转的长度大于以第二旋向旋转的长度；
42、其中，所述最小切割用线量不小于7000m。
43、进一步的，线网以第一旋向旋转的长度和以第二旋向旋转的长度不变。
44、进一步的，加切切割时，线网按照第一旋向旋转和按照第二旋向旋转时的线网线速、进刀速度以及冷却液流量均相同。
45、一种工件切透的处理系统，包括：
46、测量模块，用于在工件切割的总进给量达到预设阈值时，获取线网中所有区域的测量线弓值；
47、判断模块，用于将获取的线网中所有区域的测量线弓值分别与工件切透时的标准线弓值进行对比；
48、当线网中所有区域的测量线弓值都小于标准线弓值时，确定该工件已切透；
49、当线网中有任一区域的测量线弓值大于标准线弓值时，确定该工件未切透。
50、采用本专利技术设计的一种工件切透的处理方法及处理系统，通过检测件对线网的线弓状态进行测量，并自动计算出线弓值，自动判断晶棒是否切透，还可自动调整切片加切方案，避免停机浪费工时，提高切片成品率和工作效率。
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1.一种工件切透的处理方法，其特征在于，步骤包括：
2.根据权利要求1所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，所述获取线网中所有区域的测量线弓值，步骤包括：
3.根据权利要求2所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，所述检测件置于线网宽度方向两侧，且其发射口与线网旋转方向同向设置；
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，工件未切透时，执行加切程序，包括：
5.根据权利要求4所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，在工件向上提高的过程中，线网还以一定速度缓慢地旋转，直至工件提高到设定距离后停止旋转。
6.根据权利要求5所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，线网在工件向上提高的过程中以小于或等于0.1m/s的速度沿第一旋向进行旋转。
7.根据权利要求5或6所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，工件以预设的进刀速度向上提高2-5mm，且工件向上提高的距离为非间断操作。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，当加切切割时，还包括
9.根据权利要求8所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，所述对线轴中剩余线量中的有效切割线的长度进行确认，包括：
10.根据权利要求9所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，所述基于衔接线的长度，确定有效切割线的长度，包括：
11.根据权利要求9或10所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，所述基于有效切割线的长度，判断加切切割时线网的旋转方向，包括：
12.根据权利要求11所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，线网以第一旋向旋转的长度和以第二旋向旋转的长度不变。
13.根据权利要求1-12任一项所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，加切切割时，线网按照第一旋向旋转和按照第二旋向旋转时的线网线速、进刀速度以及冷却液流量均相同。
14.一种工件切透的处理系统，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种工件切透的处理方法，其特征在于，步骤包括：
2.根据权利要求1所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，所述获取线网中所有区域的测量线弓值，步骤包括：
3.根据权利要求2所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，所述检测件置于线网宽度方向两侧，且其发射口与线网旋转方向同向设置；
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，工件未切透时，执行加切程序，包括：
5.根据权利要求4所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，在工件向上提高的过程中，线网还以一定速度缓慢地旋转，直至工件提高到设定距离后停止旋转。
6.根据权利要求5所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，线网在工件向上提高的过程中以小于或等于0.1m/s的速度沿第一旋向进行旋转。
7.根据权利要求5或6所述的一种工件切透的处理方法，其特征在于，工件以预设的进刀速度向上提高2-5mm，且工件向上提高的距离为非间断操...
【专利技术属性】
技术研发人员：张昊铭，杨旭洲，武瑞，危晨，赵朋占，
申请(专利权)人：天津市环智新能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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