电子级乙炔气体提纯方法技术

本发明专利技术涉及电子特气提纯领域，尤其涉及电子级乙炔气体提纯方法，所述方法包括将乙炔原料气通入到装载有吸附组合物的吸附罐中的一级吸附除杂步骤以及与分子筛吸附剂接触的二级吸附除杂步骤，经过二级吸附除杂后的乙炔气通过压缩机压入已经充装吸附溶剂的钢瓶内。本发明专利技术通过对乙炔气体的选择性溶解以及解吸，从而实现乙炔气体以及杂质气体之间的选择性分离。并且通过一级吸附除杂以及二级吸附除杂两个步骤的联用，有效实现高效的乙炔气体提纯和充装，从而有效提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子特气提纯领域，尤其涉及电子级乙炔气体提纯方法。

技术介绍

1、半导体碳掩膜是半导体器件制备过程中的关键材料之一，能够作为掩蔽层用于控制半导体器件的特定区域的反应，从而实现器件的精确制备。高纯度的电子级乙炔在碳掩膜的制备过程中，通过化学气相沉积（cvd）能够提供高质量的碳薄膜，从而提高半导体器件的性能和稳定性，因此其应用前景广阔。

2、目前乙炔工业生产方法主要有电石法和天然气裂解法两种。其中，电石法的原理是将碳化钙与水反应，从而制备得到乙炔气体。然而由于工业生产过程中电石的纯度较低，导致电石与水在反应过程中还会产生大量的杂质气体，从而造成乙炔品质下降的问题。

3、这些杂质气体通常包括氢气、氮气、氧气、一氧化碳、二氧化碳、酮、烃类和水分。为了去除这些杂质现有技术中通常使用吸附分离、蒸馏分离等方法进行乙炔气体的提纯。其中，吸附分离通过选择性吸附不同气体分子实现分离，而蒸馏分离则利用不同气体成分的沸点差异进行分离。

4、例如申请号为cn202211040863.2的专利公开了一种电子级乙炔的纯化方法，包括以下步本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

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【技术特征摘要】

1.电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的电子级乙炔气体提纯方法，其特征在于，

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【专利技术属性】
技术研发人员：刘颖，孙良礼，刘冬，张蓉，李晓婷，冯凯，于洪涛，
申请(专利权)人：大连科利德光电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：