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本发明涉及电子特气提纯领域,尤其涉及电子级乙炔气体提纯方法,所述方法包括将乙炔原料气通入到装载有吸附组合物的吸附罐中的一级吸附除杂步骤以及与分子筛吸附剂接触的二级吸附除杂步骤,经过二级吸附除杂后的乙炔气通过压缩机压入已经充装吸附溶剂的钢瓶内...该专利属于大连科利德光电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连科利德光电子材料有限公司授权不得商用。
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本发明涉及电子特气提纯领域,尤其涉及电子级乙炔气体提纯方法,所述方法包括将乙炔原料气通入到装载有吸附组合物的吸附罐中的一级吸附除杂步骤以及与分子筛吸附剂接触的二级吸附除杂步骤,经过二级吸附除杂后的乙炔气通过压缩机压入已经充装吸附溶剂的钢瓶内...