微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器制造技术

一种基于微机电技术的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，包括：衬底、激励线圈、感应线圈、非晶磁芯、电极、聚酰亚胺保护膜，非晶磁芯上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈，与激励线圈垂直绕制一组三维螺线管感应线圈，激励线圈和感应线圈均通过聚酰亚胺保护膜与非晶磁芯绝缘隔离，激励线圈和感应线圈均位于衬底上，激励线圈和感应线圈两端都连接电极。本发明专利技术解决了传统磁通门传感器制造稳定性、重复性差的问题，采用高性能非晶磁芯提高了微型磁通门传感器性能，全尺寸小于１ｃｍ×１ｃｍ，制造工艺兼容大规模集成电路工艺，可以和接口电路集成制造，在许多新的领域具有广泛的应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种微机电(MEM)
的传感器，具体是一种微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器。技术背景磁通门传感器作为一种传统的弱磁场检测器件，一直有着其独特的优势而无法为其他磁场传感器所取代，近年来更是不断在新的领域发现其应用潜力，例如小型移动设备GPS定位、导弹惯性制导、小卫星方位姿态控制、虚拟现实空间内的动作检测、对高清电视(HDTV)的地磁补偿和点噪声补偿等。近年来，由于各种场的应用逐渐地扩展，对于器件的要求趋向于更薄、更轻、更便宜。相应地，磁通门传感器也试图变得更薄、更轻、更便宜。传统磁通门传感器使用一个坚固的骨架作为基座，将软磁带状磁芯固定于骨架上，然后在其上缠绕一个通过电流产生磁场的激励线圈，和一个在激励线圈诱发磁场基础上检测外部磁场效应的磁场感应线圈。这使得传统磁通门传感器的尺寸大、重量高、灵敏度低以及长期稳定性差。随着微机电系统(MEMS)技术的发展，为微型化磁通门传感器的研制提供了一条有效可靠的途径。与传统磁通门传感器探头相比较，MEMS磁通门传感器探头结构紧凑，体积、质量小，安装调试简单，不怕震动撞击，受环境温度变化影响小。采用MEMS技术研本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征在于，包括：衬底、激励线圈、感应线圈、非晶磁芯、电极、聚酰亚胺保护膜，非晶磁芯上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈，与激励线圈垂直绕制一组三维螺线管感应线圈，激励线圈和感应线圈均通过聚酰亚胺保护膜与非晶磁芯绝缘隔离，激励线圈和感应线圈均位于衬底上，激励线圈和感应线圈两端都连接电极。

【技术特征摘要】
1.一种微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征在于，包括：衬底、激励线圈、感应线圈、非晶磁芯、电极、聚酰亚胺保护膜，非晶磁芯上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈，与激励线圈垂直绕制一组三维螺线管感应线圈，激励线圈和感应线圈均通过聚酰亚胺保护膜与非晶磁芯绝缘隔离，激励线圈和感应线圈均位于衬底上，激励线圈和感应线圈两端都连接电极。2.根据权利要求1所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，所述的衬底为硅片。3.根据权利要求1所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，所述的激励线圈和感应线圈结构一致，均由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成。4.根据权利要求1或者3所述的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征是，...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷冲，周勇，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]