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微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器制造技术
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文档序号:4059266
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一种基于微机电技术的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器,包括:衬底、激励线圈、感应线圈、非晶磁芯、电极、聚酰亚胺保护膜,非晶磁芯上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈,与激励线圈垂直绕制一组三维螺线管感应线圈,激励线圈和感应线圈均通过...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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