【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及太阳电池片制造,尤其涉及一种防止炉管污染的方法。
技术介绍
1、目前,全球的太阳能电池生产线得到了爆发式的发展,太阳能电池发电是太阳能发电的主流。扩散炉是太阳能电池生产线前道工序的重要工艺设备,主要用途是对硅片进行掺杂,改变和控制硅片内的杂质类型、浓度和分布,建立起不同的电场区域,以便于在有光照条件下,产生的自由电子可以通过场域,顺利的被输出。
2、扩散炉在使用过程当中,会使用到加热炉体,石英管等器件,现有的扩散炉机架炉体安装完成后,石英管安装进炉体,炉体端部设置有炉口法兰,分别起到固定支撑石英管、以及配合密封圈对石英管进行密封的作用,而长期高温与酸气环境条件下,炉口法兰会有不同程度的腐蚀,生长出金属铁屑。此外,高温环境下,炉口密封圈使用寿命有限,一旦密封圈老化损坏后,漏率则不能达到工艺要求,导致管内产品方阻异常等不良。
3、为解决以上问题,一般采用更换密封圈的方式。在作业过程中,操作人员需要对炉口法兰和密封圈进行拆卸,拆卸过程中,炉口法兰锈蚀颗粒不可避免地会进入石英管,造成炉管污染,一旦出现石英
...【技术保护点】
1.一种防止炉管污染的方法,用于防止所述扩散炉的石英管发生污染,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述固定组件包括管体法兰,所述管体法兰与所述石英管的一端相连,所述利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口,包括:
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述石英管包括管体、进气管和出气管,所述进气管和所述出气管分别与所述管体连通,所述向所述石英管内通入气体,使得所述石英管内的压力大于外部压力包括:通过开启所述进气管,且关闭所述出气管,通过所述进气管向所述石英管内通入气体,使得所述石英管内的压力大于外部压力。
【技术特征摘要】
1.一种防止炉管污染的方法,用于防止所述扩散炉的石英管发生污染,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述固定组件包括管体法兰,所述管体法兰与所述石英管的一端相连,所述利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口,包括:
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述石英管包括管体、进气管和出气管,所述进气管和所述出气管分别与所述管体连通,所述向所述石英管内通入气体,使得所述石英管内的压力大于外部压力包括:通过开启所述进气管,且关闭所述出气管,通过所述进气管向所述石英管内通入气体,使得所述石英管内的压力大于外部压力。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述固定组件还包括第一炉口法兰、第二炉口法兰和密封部,所述第一炉口法兰和所述第二炉口法兰套设在所述管体法兰上,所述密封部设置在所述第一炉口法兰和所述第二炉口法兰之间,所述清洁或更换安装在所述石英管的端部位置的固定组件包括:从所述管体法兰上拆除所述第一炉口法兰、所述第二炉口法兰和所述密封部;对所述管体法兰、所述第一炉口法兰、所述第二炉口法兰和所述密封部进行清洁或...
【专利技术属性】
技术研发人员:雷小龙,
申请(专利权)人:通威太阳能成都有限公司,
类型:发明
国别省市:
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