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本申请实施例提供一种防止炉管污染的方法，用于防止所述扩散炉的石英管发生污染，包括：利用塞体堵塞所述扩散炉的石英管一端的开口；向所述石英管内通入气体，使得所述石英管内的压力大于外部压力；和清洁或者更换安装在所述石英管的端部位置的固定组件。本申...
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