【技术实现步骤摘要】
本申请涉及溅射靶材，尤其涉及一种靶材背板及其制备方法。
技术介绍
1、溅射靶材的背板是配合溅射靶材进行安装的一种支撑设备。为了防止溅射过程温度过高导致变形开裂脱靶等不良现象，背板还需要具备良好的导热性能，通常会在背板内部设置水冷通道进行散热。传统具有冷却水道的背板主要包括两个盖板，在其中一个盖板一侧加工形成冷却水道的槽并以另一个盖板覆盖，接着对两个盖板的接触面缝隙进行密封焊接，从而在两个盖板之间——背板的内部形成密封性的水冷通道。
2、随着新一代超精密半导体靶材技术的发展，对于背板散热效果的要求也越来越高。然而传统背板的密封焊接采取钎焊方式，在使用中发现钎料堵塞水道等问题，这不利于高压冷却水流的快速通过以高效带走热量，背板的散热效果大打折扣，导致溅射靶材在工作条件下发生变形和开裂等问题，从而影响成膜质量，甚至对溅射基台造成损伤。
3、因此，如何制备散热效果更好的靶材背板，成为本领域技术人员系带解决的问题。
技术实现思路
1、为了制备散热效果更好的靶材背板，本申请提供...
【技术保护点】
1.一种靶材背板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的靶材背板的制备方法，其特征在于，在将坯料加工为所述第一盖板和所述第二盖板的步骤后，将所述第一盖板和所述第二盖板安装至焊接工装的步骤之前，还包括对所述第一盖板和所述第二盖板进行酸洗的步骤。
3.根据权利要求1所述的靶材背板的制备方法，其特征在于，在对所述第一盖板和所述第二盖板进行扩散焊处理的步骤之前，还包括对所述第一盖板和所述第二盖板的预压紧步骤。
4.根据权利要求1所述的靶材背板的制备方法，其特征在于，在所述扩散焊处理的过程中逐渐加压，每十分钟加压0.4...
【技术特征摘要】
1.一种靶材背板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的靶材背板的制备方法，其特征在于，在将坯料加工为所述第一盖板和所述第二盖板的步骤后，将所述第一盖板和所述第二盖板安装至焊接工装的步骤之前，还包括对所述第一盖板和所述第二盖板进行酸洗的步骤。
3.根据权利要求1所述的靶材背板的制备方法，其特征在于，在对所述第一盖板和所述第二盖板进行扩散焊处理的步骤之前，还包括对所述第一盖板和所述第二盖板的预压紧步骤。
4.根据权利要求1所述的靶材背板的制备方法，其特征在于，在所述扩散焊处理的过程中逐渐加压，每十分钟加压0.4mpa以下直至到达预设的工作压力。
5.根据权利要求1所述的靶材背板的制备方法，其特征在于，所述扩散焊处理...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡建国，李峰，樊宇昌，
申请(专利权)人：河北方斯精密机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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