【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体加工，尤其涉及一种基板载具。
技术介绍
1、在半导体行业中，基板载具用于在进行芯片贴装、回流、清洁、检测、封装等工序中对基板进行支撑、保护和定位，使半导体芯片或其他半导体器件在基板上进行封装作业，在半导体制造过程中确保基板在加工、测试和封装过程中的稳定性和精度。
2、现有的基板载具由下载板和上盖构成，其工作原理为：将一个或多个基板放置在下载板上进行定位后，上盖通过下载板背面嵌入的磁铁磁力将基板压紧，从而将基板定位紧固在载具上。
3、然而在实际应用中，当受到载具的精度或是基板本身精度影响时，会出现部分基板与上盖之间产生缝隙从而发生压不紧的状况，最终导致不良品的出现。
技术实现思路
1、基于此，针对上述技术问题，提供一种基板载具。
2、本专利技术采用的技术方案如下：
3、一种基板载具，包括下载板以及上盖，所述下载板的上表面具有用于放置基板的多个定位槽，下表面设有磁铁，所述下载板具有用于安装所述上盖的第一定位结构，所述上盖具有与所述第一定位结构适配的第二定位结构，其特征在于，还包括在所述磁铁的磁力作用下分别压住对应定位槽中的基板的多个压板以及在所述压板的上方进行限位的限位件，所述压板的数量与所述定位槽的数量相同，所述上盖具有供所述多个压板接触对应的基板的多个通孔，所述多个通孔与所述多个定位槽上下一一对应，所述多个压板嵌于对应的通孔中，所述限位件固定于所述上盖上。
4、本专利技术基板载具，并非如现有技术中通过磁
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种基板载具，包括下载板以及上盖，所述下载板的上表面具有用于放置基板的多个定位槽，下表面设有磁铁，所述下载板具有用于安装所述上盖的第一定位结构，所述上盖具有与所述第一定位结构适配的第二定位结构，其特征在于，还包括在所述磁铁的磁力作用下分别压住对应定位槽中的基板的多个压板以及在所述压板的上方进行限位的限位件，所述压板的数量与所述定位槽的数量相同，所述上盖具有供所述多个压板接触对应的基板的多个通孔，所述多个通孔与所述多个定位槽上下一一对应，所述多个压板嵌于对应的通孔中，所述限位件固定于所述上盖上。
2.根据权利要求1所述的一种基板载具，其特征在于，所述多个定位槽矩阵布置。
3.根据权利要求1所述的一种基板载具，其特征在于，所述第一定位结构为定位销，所述第二定位结构为定位孔。
4.根据权利要求1所述的一种基板载具，其特征在于，所述通孔的内壁形成一圈限位台阶，所述压板的四周形成与所述限位台阶适配的边缘。
5.根据权利要求1所述的一种基板载具，其特征在于，所述通孔与对应的定位槽的中心线重合，所述压板呈回字形，其内圈尺寸小于所述定位槽的尺寸
6.根据权利要求1所述的一种基板载具，其特征在于，所述限位件包括多个限位条，所述多个限位条位于所述多个压板的边缘上方，且通过螺栓与所述上盖固定。
...【技术特征摘要】
1.一种基板载具，包括下载板以及上盖，所述下载板的上表面具有用于放置基板的多个定位槽，下表面设有磁铁，所述下载板具有用于安装所述上盖的第一定位结构，所述上盖具有与所述第一定位结构适配的第二定位结构，其特征在于，还包括在所述磁铁的磁力作用下分别压住对应定位槽中的基板的多个压板以及在所述压板的上方进行限位的限位件，所述压板的数量与所述定位槽的数量相同，所述上盖具有供所述多个压板接触对应的基板的多个通孔，所述多个通孔与所述多个定位槽上下一一对应，所述多个压板嵌于对应的通孔中，所述限位件固定于所述上盖上。
2.根据权利要求1所述的一种基板载具，其特征在于，所述多个定位槽矩阵布置。
3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵凯，梁猛，林海涛，刘越，张伟，姜菲菲，
申请(专利权)人：技感半导体设备南通有限公司，
类型：发明
国别省市：
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