本发明专利技术提供了一种塑料托盘装载基板用吸附式上下料机，包括机架、小车、料仓、料仓承载、平移载台、托盘顶升机构、机械臂、托盘搬运机构以及托盘存放机构；小车用于运输托盘；料仓用于存放托盘；料仓承载用于顶起料仓脱离小车；平移载台与被料仓承载顶起的料仓连接；托盘顶升机构用于升降托盘；机械臂用于吸附并转移托盘上的基板；托盘搬运机构用于转移托盘；托盘存放机构用于存放托盘搬运机构转移的托盘。本发明专利技术通过各个结构之间的配合使用，能够批量进行基板的上下料，解决了人工进行上下料时效率低的问题，从而极大的提高了工作效率，并且降低工人的劳动强度，有效降低了生产成本。有效降低了生产成本。有效降低了生产成本。
【技术实现步骤摘要】
塑料托盘装载基板用吸附式上下料机
[0001]本专利技术涉及半导体加工领域，具体地，涉及一种塑料托盘装载基板用吸附式上下料机。
技术介绍
[0002]随着半导体技术的发展以及生产需求的增加，需要提高基板的生产效率，在基板的生产加工过程中，需要将基板从一个工位运输到另一工位，而传统的托盘装载基板上下料是通过人工的方式进行的，需要操作工人将托盘中的基板一个一个的取出和放回。在人工进行基板上下料的操作时，工人的速度时快时慢，操作耗时耗力且工作效率很低，劳动强度大，安全系数低，而且会对基板产生污染，并且可能发生漏料问题。
[0003]因此，专利技术人认为需要提供一种托盘装载基板上下料机，能够实现基板从托盘中取出和放回中，并且可以批量进行基板的搬运，提高生产效率，从而解决人工进行上下料时效率低的问题，解决人工上下料时可能漏料的问题。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种塑料托盘装载基板用吸附式上下料机。
[0005]根据本专利技术提供的一种塑料托盘装载基板用吸附式上下料机,包括：机架：作为安装基础；小车：用于运输托盘，且能够移动至所述机架内部；料仓：安装在所述小车上，用于存放所述托盘；料仓承载：安装在所述机架上，且位于所述料仓的下方，用于顶起所述料仓脱离所述小车；平移载台：安装在所述机架上，且位于所述料仓的上方，与被所述料仓承载顶起的所述料仓连接；托盘顶升机构：安装在所述机架上，且位于所述料仓的下方，与所述小车紧固连接，用于升降所述托盘；机械臂：安装在托盘顶升机构上，用于吸附并转移所述托盘上的基板；托盘搬运机构：安装在所述机架上，用于转移所述托盘；托盘存放机构：安装在所述机架上，用于存放所述托盘搬运机构转移的所述托盘。
[0006]优选地，所述料仓承载包括：安装座：安装在所述机架上；导向轮：安装在所述安装座上，且与所述小车的外侧壁滑动配合；左右承载：用于放置和移动所述料仓；凸轮机构：所述左右承载安装在所述凸轮机构上，所述凸轮机构与所述左右承载传动连接；电机：与所述凸轮机构连接，作为动力源。
[0007]优选地，所述左右承载的顶部安装有滑轮，所述料仓的底部与所述滑轮滑动配合，所述料仓通过所述滑轮能够左右移动。
[0008]优选地，所述托盘顶升机构包括：安装板：安装在所述机架上：安全锁：安装在所述安装板上，用于锁紧所述小车；制动机构：安装在所述安装板上，用于缓冲制动所述小车的移动；滑轨；竖直安装在所述安装板上；顶升平台：安装在所述滑轨上，其上设置有尼龙板，用于升降所述托盘；顶升驱动机构：安装在所述安装板上，用于驱动所述顶升平台上下移动。
[0009]优选地，所述安装板上还安装有读码器和整列气缸，所述读码器用于读取所述基板上的ID，所述整列气缸用于整列所述托盘。
[0010]优选地，所述平移载台包括：平台驱动机构、平台以及导向柱，所述平台驱动机构紧固安装在所述机架上，所述平台安装在所述平台驱动机构上，所述导向柱安装在所述平台上；所述料仓上开设有圆孔，所述导向柱与所述圆孔插接配合固定所述料仓与所述平移载台。
[0011]优选地，所述机械臂包括：末端真空吸盘和三轴机械臂，所述三轴机械臂的平移机构安装在所述安装板上，所述末端真空吸盘安装在所述三轴机械臂的末端。
[0012]优选地，所述托盘搬运机构包括：移载驱动机构和夹爪机构，所述移载驱动机构安装在所述机架上，所述夹爪机构安装在所述移载驱动机构上，所述移载驱动机构驱动所述夹爪机构做升降运动；所述夹爪机构包括：基座、滑块、滑轨、气缸以及夹爪，所述滑块、所述气缸均安装在所述基座上，所述夹爪安装在所述滑轨上，所述气缸驱动所述夹爪夹紧松开；所述移载驱动机构上设置有第一传感器组件，用于检测所述平移载台的升降位置。
[0013]优选地，所述托盘存放机构包括：定位装置和托盘夹紧机构，所述托盘夹紧机构紧固安装在所述机架上；所述托盘夹紧机构包括滑轨、气缸、安装底座以及夹爪，所述滑轨和所述气缸均安装在所述安装底座上，所述夹爪安装在所述滑轨上，所述夹爪通过所述气缸驱动合拢和松开所述托盘底部，所述定位装置安装在所述安装底座上。
[0014]优选地，所述定位装置上设置有第二传感器组件，用于感应所述托盘的高度，所述托盘夹紧机构上设置有第三传感器组件，用于感应所述托盘位置。
[0015]与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
[0016]1、本专利技术通过各个结构之间的配合使用，能够批量进行基板的上下料；通过机械臂和托盘顶升机构配合，实现基板从托盘中取出和放回，通过托盘搬运机构和托盘存放机构配合，实现存放和转移批量托盘；通过机械操作搬运和转移的过程，解决了人工进行上下料时效率低的问题，解决了人工上下料时可能漏料的问题，同时使基板的上下料平均化，从而极大的提高了工作效率，并且降低工人的劳动强度，有效降低了生产成本。
[0017]2、本专利技术通过机器内部的紧凑的机构，结构简单且安装维护方便，总体体积较小，在降低生产成本的同时，能够扩大生产量，有助于扩大适用范围。
附图说明
[0018]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0019]图1为本专利技术主要体现塑料托盘装载基板用吸附式上下料机的结构示意图；
[0020]图2为本专利技术主要体现塑料托盘装载基板用吸附式上下料机的内部结构示意图；
[0021]图3为本专利技术主要体现料仓承载的结构示意图；
[0022]图4为本专利技术主要体现料仓承载上的凸轮机构的局部示意图；
[0023]图5为本专利技术主要体现托盘顶升机构的结构示意图；
[0024]图6为本专利技术主要体现平移载台的结构示意图；
[0025]图7为本专利技术主要体现机械臂的结构示意图；
[0026]图8为本专利技术主要体现托盘搬运机构的结构示意图；
[0027]图9为本专利技术主要体现托盘存放机构的结构示意图。
[0028]图中所示：
[0029]机架1
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小车2
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料仓3
[0030]料仓承载4
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平移载台5
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机械臂6
[0031]托盘搬运机构7
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托盘存放机构8
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托盘顶升机构9
[0032]读码器10
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安装座41
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导向轮42
[0033]左右承载43
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凸轮机构44
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电机45
[0034]平台驱动机构51
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种塑料托盘装载基板用吸附式上下料机，其特征在于，包括：机架(1)：作为安装基础；小车(2)：用于运输托盘，且能够移动至所述机架(1)内部；料仓(3)：安装在所述小车(2)上，用于存放所述托盘；料仓承载(4)：安装在所述机架(1)上，且位于所述料仓(3)的下方，用于顶起所述料仓(3)脱离所述小车(2)；平移载台(5)：安装在所述机架(1)上，且位于所述料仓(3)的上方，与被所述料仓承载(4)顶起的所述料仓(3)连接；托盘顶升机构(9)：安装在所述机架(1)上，且位于所述料仓(3)的下方，与所述小车(2)紧固连接，用于升降所述托盘；机械臂(6)：安装在托盘顶升机构(9)上，用于吸附并转移所述托盘上的基板；托盘搬运机构(7)：安装在所述机架(1)上，用于转移所述托盘；托盘存放机构(8)：安装在所述机架(1)上，用于存放所述托盘搬运机构(7)转移的所述托盘。2.如权利要求1所述的塑料托盘装载基板用吸附式上下料机，其特征在于，所述料仓承载(4)包括：安装座(41)：安装在所述机架(1)上；导向轮(42)：安装在所述安装座(41)上，且与所述小车(2)的外侧壁滑动配合；左右承载(43)：用于放置和移动所述料仓(3)；凸轮机构(44)：所述左右承载(43)安装在所述凸轮机构(44)上，所述凸轮机构(44)与所述左右承载(43)传动连接；电机(45)：与所述凸轮机构(44)连接，作为动力源。3.如权利要求2所述的塑料托盘装载基板用吸附式上下料机，其特征在于，所述左右承载(43)的顶部安装有滑轮，所述料仓(3)的底部与所述滑轮滑动配合，所述料仓(3)通过所述滑轮能够左右移动。4.如权利要求1所述的塑料托盘装载基板用吸附式上下料机，其特征在于，所述托盘顶升机构(9)包括：安装板(91)：安装在所述机架(1)上：安全锁(92)：安装在所述安装板(91)上，用于锁紧所述小车(2)；制动机构(94)：安装在所述安装板(91)上，用于缓冲制动所述小车(2)的移动；滑轨(95)；竖直安装在所述安装板(91)上；顶升平台(93)：安装在所述滑轨(95)上，其上设置有尼龙板，用于升降所述托盘；顶升驱动机构(96)：安装在所述安装板(91)上，用于驱动所述顶升平台(93)上下移动。5.如权利要求5所述的塑料托盘装载基板用吸附式上下料机，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵凯，梁猛，林海涛，卢升，朱先峰，朱星宇，
申请(专利权)人：技感半导体设备南通有限公司，
类型：发明
国别省市：
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