【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英加工，尤其涉及一种石英圆弧板的成型方法。
技术介绍
1、随着科技的发展，石英产品的应用领域越来越广，产品的种类也越来越多，在半导体领域中，半导体产品的生产过程中通常需要使用不同类型的石英产品，但是随着半导体产业的发展，半导体生产过程中对所使用的石英产品的质量要求高越来越高，导致石英板的加工难度也越来越高。
2、目前，传统的石英圆弧板的成型方式，主要是通过将石英板焊接在石英管上，用石英堵头堵住开口，堵头中心有气孔，往内部打气(一般是人工吹气)后吹至所需弧度，不仅容易出现弧度处的厚度不均匀，弧度不一致，还容易出现弧度中间凹凸不平，而且操作强度大，人工成本高，效率底等问题。
3、因此，亟需一种石英圆弧板的成型方法以改善上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种石英圆弧板的成型方法，能够使成型弧板厚度均匀，弧度一致，且弧度中间平整，并提高作业效率，降低人工成本。
2、本专利技术提供一种石英圆弧板的成型方法，包括：
3、将待加工的石英板放置在冶具上，所述冶具的上表面为弧形凹槽，所述石英板和弧形凹槽构成抽真空腔；
4、通过所述冶具上的抽气通道对所述抽真空腔进行抽真空，使得所述石英板在设定温度和大气压力的作用下软化并贴合弧形凹槽形成石英圆弧板。
5、本专利技术的方法有益效果为：通过将待加工的石英板放置在冶具上，所述冶具的上表面为弧形凹槽，所述石英板和弧形凹槽构成抽真空腔；通过所述冶具上的抽气
6、可选的，所述的通过所述冶具上的抽气通道对所述抽真空腔进行抽真空包括：
7、利用抽真空装置以设定抽气速率对所述抽真空腔进行抽真空，抽真空的持续时间为10秒至5分钟。其有益效果在于，通过利用抽真空装置以设定抽气速率对所述抽真空腔进行抽真空，抽真空的持续时间为10秒至5分钟，能够确保石英板的形变速度趋于稳定，从而使得成型后的石英圆弧板的弧度更加一致，且弧度过渡更加平滑，弧度中间更加平整。
8、可选的，抽真空后所述抽真空腔中的气压值为-0.08至-0.09mpa。其有益效果在于，能够使得成型后的石英圆弧板的弧度更加一致，且弧度过渡更加平滑，弧度中间更加平整。
9、可选的，在抽真空之前还包括：
10、利用钟罩对放置有石英板的冶具进行密封，并放置在高温炉内的承载台上，所述钟罩和承载台形成容纳空间。其有益效果在于，利用钟罩对放置有石英板的冶具进行密封，并放置在高温炉内的承载台上，所述钟罩和承载台形成容纳空间，能够保证加工过程石英板所处环境的稳定性，有利于提高成型过程的稳定性，厚度更加均匀。
11、可选的，在放入高温炉之后还包括：
12、通过承载台上的进气通道以15至50升每分钟的抽气速率向所述容纳空间中通入惰性气体，并持续1至5分钟。其有益效果在于，利用承载台上的进气通道以15至50升每分钟的抽气速率向所述容纳空间中通入惰性气体，并持续1至5分钟，排出容纳空间中的空气，能够防止石英板被氧化，保证成型石英圆弧板的质量。
13、可选的，所述惰性气体的纯度大于99.5％。其有益效果在于，能够提高石英圆弧板的质量。
14、可选的，所述设定温度为1400至1600℃。其有益效果在于，能够提高石英圆弧板的质量，使得弧度更加一致，且弧度过渡更加平滑，弧度中间更加平整。
15、可选的，在石英板软化并贴合弧形凹槽形成石英圆弧板之后还包括：
16、等待高温炉自然冷却，当高温炉内的温度小于200℃时，打开高温炉和钟罩，取出成型后的石英圆弧板。其有益效果在于，石英圆弧板温度逐渐下降，能够防止成型后的石英圆弧板因为温度骤降而出现破裂，并确保石英圆弧板的质量。
17、可选的，所述冶具的材质为石墨，和/或所述钟罩的材质为石英。其有益效果在于，通过采用石墨材质的冶具，利用石墨导热性和热稳定性能够成型的弧板厚度更加均匀，弧度保持一致，而且弧度中间平整，通过采用石英材质的钟罩，密闭性好，稳定性高。
18、可选的，所述冶具和承载台之间还设有石英底板，且所述冶具上的抽气通道依次穿过所述石英底板和承载台。其有益效果在于，利用石英底板对冶具进行支撑，并配合石英材质的钟罩，能够提高石英板成型过程的稳定性，使得成型的弧板厚度更加均匀，弧度保持一致，而且弧度中间平整。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种石英圆弧板的成型方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的通过所述冶具上的抽气通道对所述抽真空腔进行抽真空包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，抽真空后所述抽真空腔中的气压值为-0.08至-0.09Mpa。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在抽真空之前还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在放入高温炉之后还包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述惰性气体的纯度大于99.5％。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述设定温度为1400至1600℃。
8.根据权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，在石英板软化并贴合弧形凹槽形成石英圆弧板之后还包括：
9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述冶具的材质为石墨，和/或所述钟罩的材质为石英。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述冶具和承载台之间还设有石英底板，且所述冶具上的抽气通道依次穿过所述石英底板和承载台。p>...
【技术特征摘要】
1.一种石英圆弧板的成型方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的通过所述冶具上的抽气通道对所述抽真空腔进行抽真空包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，抽真空后所述抽真空腔中的气压值为-0.08至-0.09mpa。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在抽真空之前还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在放入高温炉之后还包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，姚家鹏，段晓飞，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。