【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英半导体领域，尤其涉及一种用于笼舟环片自动抛边的装置。
技术介绍
1、石英笼舟在半导体制造过程中起着重要作用。在半导体芯片制造中，石英笼舟可用于承载和保护半导体晶圆，以防止污染和损伤。石英环片是组成石英笼舟的重要部件。
2、现有技术中通常是直接将笼舟环片竖直放置在工作台上，由作业员手持抛光枪对笼舟环片内外径边缘进行抛边，烧完一半后进行翻面再烧。该方式不仅存在作业效率低，而且由于没有合适的支撑件对笼舟环片进行支撑容易发生卷边，产品有抛边不均匀，导致产品一致性差的质量问题。
3、因此，亟需一种用于笼舟环片自动抛边的装置以改善上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种用于笼舟环片自动抛边的装置，能够对水平放置的笼舟环片进行自动抛边，效率高且抛边均匀。
2、本专利技术提供一种用于笼舟环片自动抛边的装置，包括：转台、抛光枪以及通过支撑柱固定在转台上的石墨模具；
3、所述石墨模具包括环形底座和设置在环形底座上的至少三组夹持
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【技术保护点】
1.一种用于笼舟环片自动抛边的装置，其特征在于，包括：转台、抛光枪以及通过支撑柱固定在转台上的石墨模具；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，至少三个所述支撑柱分布在所述转台上，每个支撑柱均可沿所述转台的直径方向进行移动，对不同直径大小的环形底座进行支撑。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述环形底座为一体成型或由若干个弧形单元拼接而成，当环形底座由若干个弧形单元拼接而成时，每个支撑柱上均固定连接有一所述弧形单元，且每个弧形单元上设有至少一组夹持件。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括设置在每个支撑柱和...
【技术特征摘要】
1.一种用于笼舟环片自动抛边的装置，其特征在于，包括：转台、抛光枪以及通过支撑柱固定在转台上的石墨模具；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，至少三个所述支撑柱分布在所述转台上，每个支撑柱均可沿所述转台的直径方向进行移动，对不同直径大小的环形底座进行支撑。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述环形底座为一体成型或由若干个弧形单元拼接而成，当环形底座由若干个弧形单元拼接而成时，每个支撑柱上均固定连接有一所述弧形单元，且每个弧形单元上设有至少一组夹持件。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括设置在每个支撑柱和转台之间的锁紧件，用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，金盛杰，邱增云，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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