【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英半导体领域，尤其涉及一种用于笼舟环片自动抛边的装置。
技术介绍
1、石英笼舟在半导体制造过程中起着重要作用。在半导体芯片制造中，石英笼舟可用于承载和保护半导体晶圆，以防止污染和损伤。石英环片是组成石英笼舟的重要部件。
2、现有技术中通常是直接将笼舟环片竖直放置在工作台上，由作业员手持抛光枪对笼舟环片内外径边缘进行抛边，烧完一半后进行翻面再烧。该方式不仅存在作业效率低，而且由于没有合适的支撑件对笼舟环片进行支撑容易发生卷边，产品有抛边不均匀，导致产品一致性差的质量问题。
3、因此，亟需一种用于笼舟环片自动抛边的装置以改善上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种用于笼舟环片自动抛边的装置，能够对水平放置的笼舟环片进行自动抛边，效率高且抛边均匀。
2、本专利技术提供一种用于笼舟环片自动抛边的装置，包括：转台、抛光枪以及通过支撑柱固定在转台上的石墨模具；
3、所述石墨模具包括环形底座和设置在环形底座上的至少三组夹持件；
4、每组夹持件包括支撑件和限位件，所述支撑件的底部固定在所述环形底座的上端面，所述限位件转动连接在所述环形底座的外圈；
5、所述限位件相对于所述环形底座转动，用于旋转至设定角度，对水平放置在支撑件上待抛边的笼舟环片进行限位。
6、本专利技术的有益效果为：通过设置转台、抛光枪以及通过支撑柱固定在转台上的石墨模具；所述石墨模具包括环形底座和设置在环形底座上的至
7、可选的，至少三个所述支撑柱分布在所述转台上，每个支撑柱均可沿所述转台的直径方向进行移动，对不同直径大小的环形底座进行支撑。其有益效果在于，通过设置支撑柱可移动，能够根据实际需要在支撑柱上安装不同尺寸的环形底座，从而适应不同大小的笼舟环片，提高适用范围。
8、可选的，所述环形底座为一体成型或由若干个弧形单元拼接而成，当环形底座由若干个弧形单元拼接而成时，每个支撑柱上均固定连接有一所述弧形单元，且每个弧形单元上设有至少一组夹持件。其有益效果在于，设置环形底座为一体成型，易于加工，设置环形底座由若干个弧形单元拼接而成，使用时可以直接通过支撑柱调节相邻弧形单元的位置，从而调整整个环形底座的尺寸大小，即可适应不同大小的笼舟环片，无需使用不同尺寸的多个一体成型的环形底座，进一步提高加工效率以及适用范围。
9、可选的，还包括设置在每个支撑柱和转台之间的锁紧件，用于对移动后的支撑柱进行固定。其有益效果在于，通过在每个支撑柱和转台之间的锁紧件，能够提高石墨模具对笼舟环片支撑的稳定性。
10、可选的，所述限位件通过螺栓固定在所述环形底座的外圈，并通过所述螺栓调节限位件和环形底座之间的距离。其有益效果在于，利用螺栓来控制所述限位件和环形底座之间的距离，来对水平放置在夹持件上的笼舟环片的位置进行微调，从而进一步保证抛边过程中笼舟环片的稳定性，使得整个石墨模具的兼容性更高。
11、可选的，所述支撑件的顶部截面大小小于所述支撑件的底部截面大小。其有益效果在于，能够进一步减少支撑件和笼舟环片之间的接触面积，从而提高自动抛边的均匀性。
12、可选的，所述支撑件的顶部为弧形面，且弧度与待抛边的笼舟环片的弧度相适配。其有益效果在于，设置支撑件弧形面的弧度与待抛边的笼舟环片的弧度相适配，能够提高支撑的稳定性。
13、可选的，还包括设置在所述石墨模具周围一圈的框架、气缸、滑轨和滑块；
14、所述滑轨设置在所述框架上，所述滑块设置在所述滑轨上，所述抛光枪设置在所述滑块上；
15、所述气缸、滑块和滑轨相互配合控制所述抛光枪的移动。其有益效果在于，通过设置框架、气缸、滑轨和滑块，能够进一步提高抛边效率。
16、可选的，还包括伺服电机和丝杆；
17、所述丝杆固定在所述滑块上，所述抛光枪滑动设置在所述丝杆上；
18、所述伺服电机和丝杆相互配合调节所述抛光枪在丝杆上的位置。其有益效果在于，通过设置伺服电机和丝杆；所述丝杆固定在所述滑块上，所述抛光枪滑动设置在所述丝杆上；所述伺服电机和丝杆相互配合调节所述抛光枪在丝杆上的位置，便于对笼舟环片进行抛边。
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1.一种用于笼舟环片自动抛边的装置，其特征在于，包括：转台、抛光枪以及通过支撑柱固定在转台上的石墨模具；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，至少三个所述支撑柱分布在所述转台上，每个支撑柱均可沿所述转台的直径方向进行移动，对不同直径大小的环形底座进行支撑。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述环形底座为一体成型或由若干个弧形单元拼接而成，当环形底座由若干个弧形单元拼接而成时，每个支撑柱上均固定连接有一所述弧形单元，且每个弧形单元上设有至少一组夹持件。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括设置在每个支撑柱和转台之间的锁紧件，用于对移动后的支撑柱进行固定。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述限位件通过螺栓固定在所述环形底座的外圈，并通过所述螺栓调节限位件和环形底座之间的距离。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑件的顶部截面大小小于所述支撑件的底部截面大小。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑件的顶部为弧形面，且弧度与待抛边的笼舟环片的弧度相适
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括设置在所述石墨模具周围一圈的框架、气缸、滑轨和滑块；
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括伺服电机和丝杆；
...【技术特征摘要】
1.一种用于笼舟环片自动抛边的装置，其特征在于，包括：转台、抛光枪以及通过支撑柱固定在转台上的石墨模具；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，至少三个所述支撑柱分布在所述转台上，每个支撑柱均可沿所述转台的直径方向进行移动，对不同直径大小的环形底座进行支撑。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述环形底座为一体成型或由若干个弧形单元拼接而成，当环形底座由若干个弧形单元拼接而成时，每个支撑柱上均固定连接有一所述弧形单元，且每个弧形单元上设有至少一组夹持件。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括设置在每个支撑柱和转台之间的锁紧件，用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，金盛杰，邱增云，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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