集成微加热器单元供电电路、控制方法及晶体管并联结构技术

本发明专利技术公开了一种集成微加热器单元供电电路、控制方法及晶体管并联结构，设置第一源极输入端口Vs和第一栅极输入端口Vg，所述第一源极输入端口Vs外部连接源极驱动电路；所述第一栅极输入端口Vg外部连接栅极驱动电路；本发明专利技术提供了一种简单实用的适用于集成微加热器供电的供电电路，通过并联多个薄膜晶体管的设计，可以使得在提供较低电压时，能够加大对加热器的电流，并且能够通过并联的多个晶体管的共栅栅压控制，实际可以对微加热器实现不同梯度的加热，增加每一个加热器单元的适用性，实现加热器阵列中不同区域的不同加热温度需求，也能够实现同一加热温度范围内的不同温度需求，能够使得加热器适用性大大增加。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及加热器件领域，尤其涉及一种集成微加热器单元供电电路、结构以及供电晶体管并联结构。

技术介绍

1、许多电子器件和设备都有微型化的趋势，而传统的加热方式体积较大、结构复杂，已经不满足微型化应用场景的要求，因此，越来越多的应用场合需要集成应用微加热器。微加热器尤其可以在多种场景下如气体传感，智能可穿戴设备等实现加热，现有场景中，开发微型化、高能效、可集成的微加热器(mems微加热器，以下简称微加热器)是有效的解决方案。然而对于某些需要使用大面积的加热器阵列的应用领域，多个微加热器集成的场景可以实现更多需求，如混合气体检测的气体传感器和粉末烧结等，在这种情况下，需要对每一个加热单元实现独立寻址，最好的方法是结合有源矩阵，使得阵列上的每个微加热器上都具有相应的电路来实现开关控制和供电，微加热器的阻值通常在几十到两百欧姆之间，应用场景所需的温度很广泛，通常分布在室温到两百摄氏度，有时需要高达600℃。微加热器通过的加热电流大小会影响加热速度和上限温度。为了实现一定的加热速度和上限温度，加热电流通常在10ma以上，而有源矩阵的开关元件——薄膜晶体管能承受的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种集成微加热器单元供电电路，其特征是：设置第一源极输入端口Vs和第一栅极输入端口Vg，所述第一源极输入端口Vs外部连接源极驱动电路；所述第一栅极输入端口Vg外部连接栅极驱动电路；

2.一种集成微加热器供电控制方法，其特征是：包括以下步骤：

3.一种集成微加热器供电晶体管并联结构，其特征是：适用于如所述权利要求1所述的集成加热器单元供电电路的所述第二薄膜晶体管T1至第N+1薄膜晶体管Tn并联连接结构，所述并联连接结构包括源/漏电极层，所述源/漏电极层包括源极主体和漏极主体，所述源极主体上有至少两个源极分支，所述漏极主体上设置有至少一个漏极分支，所述源极分支与所...

【技术特征摘要】

1.一种集成微加热器单元供电电路，其特征是：设置第一源极输入端口vs和第一栅极输入端口vg，所述第一源极输入端口vs外部连接源极驱动电路；所述第一栅极输入端口vg外部连接栅极驱动电路；

2.一种集成微加热器供电控制方法，其特征是：包括以下步骤：

3.一种集成微加热器供电晶体管并联结构，其特征是：适用于如所述权利要求1所述的集成加热器单元供电电路的所述第二薄膜晶体管t1至第n+1薄膜晶体管tn并联连接结构，所述并联连接结构包括源/漏电极层，所述源/漏电极层包括源极主体和漏极主...

【专利技术属性】
技术研发人员：程鑫，刘荣跃，詹绍虎，罗芹，李云飞，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：