磁存储装置及其制造方法制造方法及图纸

技术编号:40555401 阅读:21 留言:0更新日期:2024-03-05 19:16
实施方式提供降低磁阻效应元件的加工难易度的磁存储装置及其制造方法。实施方式的磁存储装置包括:第1布线;与第1布线排列配置的第2布线;设置在第1布线上的第1开关元件;设置在第2布线上的第2开关元件;与第1开关元件设置在同一层、且包围第1开关元件的第1绝缘层;与第2开关元件设置在同一层、且包围第2开关元件,并且不与第1绝缘层接触的第2绝缘层;设置在第1开关元件及第1绝缘层上的第1导电体;设置在第2开关元件及第2绝缘层上的第2导电体;设置在第1导电体上的第1磁阻效应元件;以及设置在第2导电体上的第2磁阻效应元件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式涉及磁存储装置及其制造方法


技术介绍

1、已知有使用了磁阻效应元件来作为存储元件的磁存储装置(mram:magnetoresistive random access memory,磁阻随机访问存储器)。


技术实现思路

1、本专利技术要解决的问题在于,提供降低磁阻效应元件的加工难易度的磁存储装置及其制造方法。

2、实施方式涉及的磁存储装置包括:第1布线,其在第1方向上延伸;第2布线,其在第1方向上延伸,在与第1方向交叉的第2方向上与第1布线排列配置;第1开关元件,其设置在第1布线上;第2开关元件,其设置在第2布线上;第1绝缘层,其与第1开关元件设置在同一层,包围第1开关元件;第2绝缘层,其与第2开关元件设置在同一层,包围第2开关元件,没有与第1绝缘层接触;第1导电体,其设置在第1开关元件及第1绝缘层上;第2导电体,其设置在第2开关元件及第2绝缘层上;第1磁阻效应元件,其设置在第1导电体上;以及第2磁阻效应元件,其设置在第2导电体上。

【技术保护点】

1.一种磁存储装置,具备:

2.根据权利要求1所述的磁存储装置,

3.根据权利要求2所述的磁存储装置,

4.根据权利要求1所述的磁存储装置,

5.根据权利要求1所述的磁存储装置,

6.根据权利要求1所述的磁存储装置,

7.根据权利要求1所述的磁存储装置,

8.根据权利要求1所述的磁存储装置,还具备:

9.根据权利要求1所述的磁存储装置,

10.一种磁存储装置,具备:

11.根据权利要求10所述的磁存储装置,

12.根据权利要求10所述的磁存储装置,

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【技术特征摘要】

1.一种磁存储装置,具备:

2.根据权利要求1所述的磁存储装置,

3.根据权利要求2所述的磁存储装置,

4.根据权利要求1所述的磁存储装置,

5.根据权利要求1所述的磁存储装置,

6.根据权利要求1所述的磁存储装置,

7.根据权利要求1所述的磁存储装置,

8.根据权利要求1所述的磁存储装置,还具备:

9.根据权利要求1所述的磁存储装置,

10.一种磁存储装置,具备:

11.根据权利要求10所述的磁存储装置,

【专利技术属性】
技术研发人员:五十岚太一伊藤雄一北川英二岩山昌由
申请(专利权)人:铠侠股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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