【技术实现步骤摘要】
本申请涉及籽晶检验，特别是涉及一种籽晶检验机。
技术介绍
1、作为第三代半导体材料，籽晶具有高热导率、高击穿场强、高饱和电子漂移速率和高键合能等优点，其优异的性能可以满足现代电子技术对高温、高频、高功率、高压以及抗辐射的新要求，成为半导体材料领域最有前景的材料之一；然而，籽晶内部通常会存在许多肉眼看不到的隐裂，影响籽晶的后续需要效果。
2、公开号为cn211503937u，名称为“一种籽晶检测装置及籽晶检测系统”的中国专利，其通过设置两个本技术上述实施例提供的籽晶检测装置，可以直接通过籽晶是否可以插入上述两个籽晶检测装置中，来判断籽晶是否是合格品，提高了检测的精度。
3、上述专利的现有技术中在对籽晶进行检验中，通常存在以下缺陷：第一，首先，上述现有技术只能检查籽晶外部尺寸是否合格，而且检测存在误差，不能够精准的对籽晶的长度、锥度以及直径等信息进行检测；第二方面，上述现有技术在对籽晶进行检测时，只能够对外部尺寸进行检查，不能够准确的对籽晶内部存在的隐裂进行识别；基于此，在现有的籽晶检验设备的基础之上，还存在可改进的空间。
技术实现思路
1、为了能够准确实现对籽晶内部的隐裂以及长度、锥度和直径的尺寸进行自动化检测识别的功能，本申请提供一种籽晶检验机。
2、本申请提供的一种籽晶检验机采用如下的技术方案：
3、一种籽晶检验机，包括机架，其呈框架型结构，机架内部上端安装有散热风扇，机架上端前侧安装有触摸一体机，机架下端前侧从左往右依次安装有指示
4、进一步地，所述旋转治具包括连接架、支架、连杆、辊轮、电机和皮带，所述连接架安装在安装台架上端中部，连接架上端均匀安装有支架，支架内侧之间安装有连杆，相对设置的两个连杆之间通过轴承安装有辊轮，辊轮之间设置有为旋转检测工位，支架上安装通过电机座安装有电机，电机的输出轴上以及辊轮端部安装有导向轮，导向轮之间安装有皮带。
5、进一步地，所述检测组件包括挡板架、z轴机构、连接板、红外相机、旋转电机、尺寸检测相机、红外光源和下平面光源，安装台架上端后侧安装有挡板架，挡板架前端上侧安装有z轴机构，z轴机构前端安装有连接板，z轴机构用于带动连接板上下调节，连接板前端左侧安装有红外相机，连接板上安装有用于带动红外相机角度调节的旋转电机，连接板前端右侧安装有尺寸检测相机，连接架上分别安装有沿y轴水平移动的红外光源和沿x轴水平移动的下平面光源。
6、进一步地，所述识别组件包括固定架和端面识别相机，所述安装台架左侧中部安装有固定架，固定架呈u型结构，固定架上安装有与位于检测工位的籽晶中心同轴线布置的端面识别相机。
7、进一步地，所述上下料组件包括安装座、上料机构、安装架、取放料机构、顶料机构和导向板，所述安装台架前端安装有安装座，安装座前端设置有开口槽，开口槽内安装有上料机构，安装座上端对称安装有安装架，安装架之间安装有取放料机构，取放料机构下方设置有导向板，导向板安装在安装座上端中部，安装座后侧对称安装有顶料机构，安装台架上对称设置有卡槽，顶料机构与卡槽相配合。
8、进一步地，所述上料机构包括矩形架、上料气缸和顶升架，所述开口槽内安装有矩形架，矩形架上均匀设置有通孔，通孔内安装有上料气缸，上料气缸上端安装有顶升架，顶升架上端设置有向后倾斜的弧形槽。
9、进一步地，所述取放料机构包括连接支架、驱动气缸、u型架、复位弹簧、取放架、滑动架和导向槽，所述安装架支架安装有连接支架，连接支架前端对称安装有驱动气缸，连接支架后侧设置有u型架，安装架上设置有与u型架配合的滑槽，u型架与连接支架之间安装有复位弹簧，u型架内部对称安装有取放架，取放架通过锁紧架与u型架侧壁相连接，取放架之间设置有滑动架，滑动架上下两侧均设置有弧形槽，取放架侧壁上均匀设置有导向槽，滑动架通过导杆与导向槽相连接。
10、进一步地，所述导向槽呈平行四边形结构，导向槽内对称安装有限位件，限位件分别设置在平行四边形的锐角处。
11、进一步地，所述限位件为翻转板，翻转板用于限定滑动架通过导杆在导向槽内部进行逆时针运动。
12、进一步地，所述顶料机构包括横板、顶料气缸和顶出架，所述卡槽内设置有横板，横板安装在安装座上，横板上设置有安装孔，安装孔内安装有顶料气缸，顶料气缸的顶端安装有顶出架，顶出架上端呈弧形结构。
13、在上述技术方案中，本专利技术提供的一种籽晶检验机，通过旋转治具和检测组件相互配合，可以实现籽晶在任意角度下存在的隐裂进行检测，识别组件可以对籽晶的端部字符信息进行识别，进而可以对存在缺陷的籽晶进行标记；上料机构将籽晶向上顶起到取放料机构内部，取放料机构带动籽晶逐渐向右输送，导向板可以对籽晶进行导向，同时导向板为柔性可伸缩结构，防止籽晶移动上料过程中受损坏，当籽晶向右输送到旋转检测工位时，顶料机构首先将检测完毕后的籽晶向上顶出，同时取放料机构可以对检测完的籽晶进行收取，并将未检测的籽晶推送到旋转检测工位上，保证籽晶能够进行连续性检测。
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1.一种籽晶检验机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述旋转治具(3)包括连接架(31)、支架(32)、连杆(33)、辊轮(34)、电机(35)和皮带(36)，所述连接架(31)安装在安装台架(2)上端中部，连接架(31)上端均匀安装有支架(32)，支架(32)内侧之间安装有连杆(33)，相对设置的两个连杆(33)之间通过轴承安装有辊轮(34)，辊轮(34)之间设置有为旋转检测工位，支架(32)上安装通过电机座安装有电机(35)，电机(35)的输出轴上以及辊轮(34)端部安装有导向轮，导向轮之间安装有皮带(36)。
3.根据权利要求2所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述检测组件(4)包括挡板架(41)、Z轴机构(42)、连接板(43)、红外相机(44)、旋转电机(45)、尺寸检测相机(46)、红外光源(47)和下平面光源(48)，安装台架(2)上端后侧安装有挡板架(41)，挡板架(41)前端上侧安装有Z轴机构(42)，Z轴机构(42)前端安装有连接板(43)，Z轴机构(42)用于带动连接板(43)上下调节，连接板(
4.根据权利要求3所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述识别组件(5)包括固定架(51)和端面识别相机(52)，所述安装台架(2)左侧中部安装有固定架(51)，固定架(51)呈U型结构，固定架(51)上安装有与位于检测工位的籽晶中心同轴线布置的端面识别相机(52)。
5.根据权利要求4所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述上下料组件(6)包括安装座(61)、上料机构(62)、安装架(63)、取放料机构(64)、顶料机构(65)和导向板(66)，所述安装台架(2)前端安装有安装座(61)，安装座(61)前端设置有开口槽，开口槽内安装有上料机构(62)，安装座(61)上端对称安装有安装架(63)，安装架(63)之间安装有取放料机构(64)，取放料机构(64)下方设置有导向板(66)，导向板(66)安装在安装座(61)上端中部，安装座(61)后侧对称安装有顶料机构(65)，安装台架(2)上对称设置有卡槽，顶料机构(65)与卡槽相配合。
6.根据权利要求5所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述上料机构(62)包括矩形架(621)、上料气缸(622)和顶升架(623)，所述开口槽内安装有矩形架(621)，矩形架(621)上均匀设置有通孔，通孔内安装有上料气缸(622)，上料气缸(622)上端安装有顶升架(623)，顶升架(623)上端设置有向后倾斜的弧形槽。
7.根据权利要求6所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述取放料机构(64)包括连接支架(641)、驱动气缸(642)、U型架(643)、复位弹簧(644)、取放架(645)、滑动架(646)和导向槽(647)，所述安装架(63)支架安装有连接支架(641)，连接支架(641)前端对称安装有驱动气缸(642)，连接支架(641)后侧设置有U型架(643)，安装架(63)上设置有与U型架(643)配合的滑槽，U型架(643)与连接支架(641)之间安装有复位弹簧(644)，U型架(643)内部对称安装有取放架(645)，取放架(645)通过锁紧架与U型架(643)侧壁相连接，取放架(645)之间设置有滑动架(646)，滑动架(646)上下两侧均设置有弧形槽，取放架(645)侧壁上均匀设置有导向槽(647)，滑动架(646)通过导杆与导向槽(647)相连接。
8.根据权利要求7所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述导向槽(647)呈平行四边形结构，导向槽(647)内对称安装有限位件(648)，限位件(648)分别设置在平行四边形的锐角处。
9.根据权利要求8所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述限位件(648)为翻转板，翻转板用于限定滑动架(646)通过导杆在导向槽(647)内部进行逆时针运动。
10.根据权利要求9所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述顶料机构(65)包括横板(651)、顶料气缸(652)和顶出架(653)，所述卡槽内设置有横板(651)，横板(651)安装在安装座(61)上，横板(651)上设置有安装孔，安装孔内安装有顶料气缸(652)，顶料气缸(652)的顶端安装有顶出架(653)，顶出架(653)上端呈弧形结构。
...【技术特征摘要】
1.一种籽晶检验机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述旋转治具(3)包括连接架(31)、支架(32)、连杆(33)、辊轮(34)、电机(35)和皮带(36)，所述连接架(31)安装在安装台架(2)上端中部，连接架(31)上端均匀安装有支架(32)，支架(32)内侧之间安装有连杆(33)，相对设置的两个连杆(33)之间通过轴承安装有辊轮(34)，辊轮(34)之间设置有为旋转检测工位，支架(32)上安装通过电机座安装有电机(35)，电机(35)的输出轴上以及辊轮(34)端部安装有导向轮，导向轮之间安装有皮带(36)。
3.根据权利要求2所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述检测组件(4)包括挡板架(41)、z轴机构(42)、连接板(43)、红外相机(44)、旋转电机(45)、尺寸检测相机(46)、红外光源(47)和下平面光源(48)，安装台架(2)上端后侧安装有挡板架(41)，挡板架(41)前端上侧安装有z轴机构(42)，z轴机构(42)前端安装有连接板(43)，z轴机构(42)用于带动连接板(43)上下调节，连接板(43)前端左侧安装有红外相机(44)，连接板(43)上安装有用于带动红外相机(44)角度调节的旋转电机(45)，连接板(43)前端右侧安装有尺寸检测相机(46)，连接架(31)上分别安装有沿y轴水平移动的红外光源(47)和沿x轴水平移动的下平面光源(48)。
4.根据权利要求3所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述识别组件(5)包括固定架(51)和端面识别相机(52)，所述安装台架(2)左侧中部安装有固定架(51)，固定架(51)呈u型结构，固定架(51)上安装有与位于检测工位的籽晶中心同轴线布置的端面识别相机(52)。
5.根据权利要求4所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述上下料组件(6)包括安装座(61)、上料机构(62)、安装架(63)、取放料机构(64)、顶料机构(65)和导向板(66)，所述安装台架(2)前端安装有安装座(61)，安装座(61)前端设置有开口槽，开口槽内安装有上料机构(62)，安装座(61)上端对称安装有安装架(63)，安装架(63)之间安装有取放料机构(64)，取放料机构(64)下方设置有导向板(66)，导向板(66)...
【专利技术属性】
技术研发人员：汤泉，郭庆川，侯玉强，胡伦珍，黄启衡，李万，蒋宇，刘梦宇，
申请(专利权)人：安徽柏逸激光科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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