【技术实现步骤摘要】
本申请涉及籽晶检验，特别是涉及一种籽晶检验机。
技术介绍
1、作为第三代半导体材料，籽晶具有高热导率、高击穿场强、高饱和电子漂移速率和高键合能等优点，其优异的性能可以满足现代电子技术对高温、高频、高功率、高压以及抗辐射的新要求，成为半导体材料领域最有前景的材料之一；然而，籽晶内部通常会存在许多肉眼看不到的隐裂，影响籽晶的后续需要效果。
2、公开号为cn211503937u，名称为“一种籽晶检测装置及籽晶检测系统”的中国专利，其通过设置两个本技术上述实施例提供的籽晶检测装置，可以直接通过籽晶是否可以插入上述两个籽晶检测装置中，来判断籽晶是否是合格品，提高了检测的精度。
3、上述专利的现有技术中在对籽晶进行检验中，通常存在以下缺陷：第一，首先，上述现有技术只能检查籽晶外部尺寸是否合格，而且检测存在误差，不能够精准的对籽晶的长度、锥度以及直径等信息进行检测；第二方面，上述现有技术在对籽晶进行检测时，只能够对外部尺寸进行检查，不能够准确的对籽晶内部存在的隐裂进行识别；基于此，在现有的籽晶检验设备的基础之上，还存在可改进的
【技术保护点】
1.一种籽晶检验机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述旋转治具(3)包括连接架(31)、支架(32)、连杆(33)、辊轮(34)、电机(35)和皮带(36)，所述连接架(31)安装在安装台架(2)上端中部，连接架(31)上端均匀安装有支架(32)，支架(32)内侧之间安装有连杆(33)，相对设置的两个连杆(33)之间通过轴承安装有辊轮(34)，辊轮(34)之间设置有为旋转检测工位，支架(32)上安装通过电机座安装有电机(35)，电机(35)的输出轴上以及辊轮(34)端部安装有导向轮，导向轮之间安装有皮带(36)。<...
【技术特征摘要】
1.一种籽晶检验机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述旋转治具(3)包括连接架(31)、支架(32)、连杆(33)、辊轮(34)、电机(35)和皮带(36)，所述连接架(31)安装在安装台架(2)上端中部，连接架(31)上端均匀安装有支架(32)，支架(32)内侧之间安装有连杆(33)，相对设置的两个连杆(33)之间通过轴承安装有辊轮(34)，辊轮(34)之间设置有为旋转检测工位，支架(32)上安装通过电机座安装有电机(35)，电机(35)的输出轴上以及辊轮(34)端部安装有导向轮，导向轮之间安装有皮带(36)。
3.根据权利要求2所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述检测组件(4)包括挡板架(41)、z轴机构(42)、连接板(43)、红外相机(44)、旋转电机(45)、尺寸检测相机(46)、红外光源(47)和下平面光源(48)，安装台架(2)上端后侧安装有挡板架(41)，挡板架(41)前端上侧安装有z轴机构(42)，z轴机构(42)前端安装有连接板(43)，z轴机构(42)用于带动连接板(43)上下调节，连接板(43)前端左侧安装有红外相机(44)，连接板(43)上安装有用于带动红外相机(44)角度调节的旋转电机(45)，连接板(43)前端右侧安装有尺寸检测相机(46)，连接架(31)上分别安装有沿y轴水平移动的红外光源(47)和沿x轴水平移动的下平面光源(48)。
4.根据权利要求3所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述识别组件(5)包括固定架(51)和端面识别相机(52)，所述安装台架(2)左侧中部安装有固定架(51)，固定架(51)呈u型结构，固定架(51)上安装有与位于检测工位的籽晶中心同轴线布置的端面识别相机(52)。
5.根据权利要求4所述的一种籽晶检验机，其特征在于：所述上下料组件(6)包括安装座(61)、上料机构(62)、安装架(63)、取放料机构(64)、顶料机构(65)和导向板(66)，所述安装台架(2)前端安装有安装座(61)，安装座(61)前端设置有开口槽，开口槽内安装有上料机构(62)，安装座(61)上端对称安装有安装架(63)，安装架(63)之间安装有取放料机构(64)，取放料机构(64)下方设置有导向板(66)，导向板(66)...
【专利技术属性】
技术研发人员：汤泉，郭庆川，侯玉强，胡伦珍，黄启衡，李万，蒋宇，刘梦宇，
申请(专利权)人：安徽柏逸激光科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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