【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学测量，具体而言，涉及一种横向位移测量系统、方法、设备及存储介质。
技术介绍
1、长程、高精度、结构紧凑的横向位移测量方法对许多研究领域来说至关重要，由于光可以实现快速、无创和准确的感知，因此利用光学方法精确测量细微位移是许多研究领域的推动力，例如机械工程、超分辨率显微镜和半导体工业等众多研究领域。
2、目前，高精度横向位移测量方法是使用具有偏振调制能力的超表面，当线偏振光相对于该超表面进行横向位移时，由于不同的圆偏振分量获得的pb相位不同，其偏振方向发生旋转。作为横向位移的函数，偏振旋转的量在很大范围内呈线性变化，通过在输出端使用功率计，利用马吕斯定律即可测得横向位移信息。但是，该方法只可测得位移量而无法获知位移方向。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例的目的在于提供一种横向位移测量系统、方法、设备及存储介质，通过调制径向矢量光的偏振态，测量被调制后的矢量光的正交矢量的光斑旋向和大小，进而获得两个偏振光栅发生位移的大小和方向，即提出一种测量精度高、工作范围较...
【技术保护点】
1.一种横向位移测量系统，其特征在于，所述系统包括：矢量光生成模块、偏振态调制模块和位移检测模块；
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述位移检测模块包括：偏振分束晶体和正交检测子模块；
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述正交检测子模块包括：光屏和光功率计；所述正交矢量光包括：第一正交矢量光分量和第二正交矢量光分量；
4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述矢量光生成模块包括：激光器、扩束模块、偏振片和涡旋波片；
5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述偏振态调制模块包括：固定偏振光栅、双...
【技术特征摘要】
1.一种横向位移测量系统，其特征在于，所述系统包括：矢量光生成模块、偏振态调制模块和位移检测模块；
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述位移检测模块包括：偏振分束晶体和正交检测子模块；
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述正交检测子模块包括：光屏和光功率计；所述正交矢量光包括：第一正交矢量光分量和第二正交矢量光分量；
4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述矢量光生成模块包括：激光器、扩束模块、偏振片和涡旋波片；
5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述偏振态调制模块包括：固定偏振光栅、双胶合透镜和移动偏振光栅；
6.根据权利要求5所述的系统，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗先刚，郭迎辉，张其，蒲明博，商英杰，乔思源，张飞，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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