下载横向位移测量系统、方法、设备及存储介质的技术资料

文档序号:40520579

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本申请提供横向位移测量系统、方法、设备及存储介质,涉及光学测量技术领域,该系统包括矢量光生成模块、偏振态调制模块和位移检测模块;矢量光生成模块用于调整入射光的偏振方向和相位奇点,以生成径向矢量光;偏振态调制模块用于移动相对平行设置的两个偏振...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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