一种可拉伸可印刷氧化物晶体管制造技术

技术编号:40517497 阅读:14 留言:0更新日期:2024-03-01 13:34
一种可拉伸可印刷氧化物晶体管,设置有褶皱衬底、氧化物半导体层、栅极、源极、漏极和离子胶层;所述褶皱衬底的褶皱方向随机分布并能在各方向上拉伸,且在各方向上的最大拉伸量相同;所述栅极、所述源极和所述漏极由同一层导电薄膜同时制备得到。与现有技术的预拉伸式制备方式造成了只有某些方向可拉伸不同,本发明专利技术的褶皱衬底通过非预拉伸制备方法制备得到,可以在各方向在进行拉伸,并在不同方向拉伸下依然保持较好的性能,其控制电压可以达到20mv‑30mv,实现非常低的控制电压,因此本发明专利技术的可拉伸可印刷氧化物晶体管的应用前景更广。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体材料,特别涉及一种可拉伸可印刷氧化物晶体管


技术介绍

1、在可预见的未来,电子设备与人类的联系将愈发紧密,电子设备将与人类更多的接触,实现更加先进便捷的健康检测、信息获取以及成为人与机器之间的桥梁等功能。以电子皮肤为代表的可穿戴设备可以直接与人身体接触,可直接贴合在皮肤上,目前电子皮肤成为电子领域的新兴研究热点。

2、近年来,氧化物晶体管因其在电子领域中的平板显示、电子标签、传感器、突触神经元、类脑计算等方面的潜在应用而受到广泛关注与研究。由于氧化物晶体管的电极、绝缘层、氧化物半导体层均为不可拉伸薄膜,所以其构筑的器件不能实现可拉伸,严重地限制了其应用。现有技术中出现了通过预拉伸式制备方式制备的氧化物晶体管,该预拉伸式制备方式具体是通过在经预先拉伸的衬底上制备薄膜,然后衬底的拉伸作用力撤去衬底恢复自然状态,这样可以在预先拉伸方向上实现可拉伸效果,但在这种方式制备的氧化物晶体管在其它方向上依然不可拉伸,限制了其应用。而且现有技术氧化物晶体管中的栅极与源极/漏极分别在栅绝缘层两端,结构较复杂,需要分两次制备。另外,由于栅极和源本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:设置有褶皱衬底、氧化物半导体层、栅极、源极、漏极和离子胶层;

2.根据权利要求1所述的可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:所述褶皱衬底通过非预拉伸制备方法得到;

3.根据权利要求2所述的可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:在所述非预拉伸制备方法中,将聚二甲基硅氧烷PDMS预聚物溶液灌注在金薄膜的上表面后,加热至聚合物衬底的玻璃化温度以上,再冷却至室温。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:所述栅极、所述源极和所述漏极在同一层导电薄膜并经过印刷、掩模或光刻图形化制备得...

【技术特征摘要】

1.一种可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:设置有褶皱衬底、氧化物半导体层、栅极、源极、漏极和离子胶层;

2.根据权利要求1所述的可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:所述褶皱衬底通过非预拉伸制备方法得到;

3.根据权利要求2所述的可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:在所述非预拉伸制备方法中,将聚二甲基硅氧烷pdms预聚物溶液灌注在金薄膜的上表面后,加热至聚合物衬底的玻璃化温度以上,再冷却至室温。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:所述栅极、所述源极和所述漏极在同一层导电薄膜并经过印刷、掩模或光刻图形化制备得到。

5.根据权利要求2所述的可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:在所述非预拉伸制备方法中,通过溅射方式制备金薄膜。

6.根据权利要求2所述的可拉伸可印刷氧化物晶体管,其特征在于:所述金薄膜的厚度为20nm~500nm。

7.根据权利要求1至3...

【专利技术属性】
技术研发人员:兰林锋杨帅黄博彭俊彪
申请(专利权)人:华南理工大学
类型:发明
国别省市:

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