【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶片处理，具体涉及一种碲锌镉外延片去除外延层的方法。
技术介绍
1、液相外延技术是一种能生长大面积、组分均匀性好、缺陷少的单晶薄膜的重要方法，但是基于部分产品对于平滑度、稳定性和纯度的要求，外延层的生长往往达不到要求，因此会出现很多不合格的材料，对于这类次品，常规使用机械打磨的方式来去除衬底表面的外延层，以实现衬底的回收利用，减少损耗。
2、专利cn116252188a公开了一种锑化镓外延片去除外延层的方法，锑化镓外延片有异质外延层和同质外延层以及保护层，锑化镓的莫氏硬度为4.5，该方法首先使用砂轮打磨，然后使用腐蚀液浸泡、最后抛光，去除锑化镓外延片的外延层。但该方法并不适用于碲锌镉衬底。
3、碲锌镉材料是属于软脆材料，莫氏硬度为2.3。碲锌镉衬底是一种较为常见的衬底，其成本较高，强度较低。碲锌镉外延片上面只有一层异质外延层，如果直接使用砂轮进行打磨，容易在表面造成比较厚的损伤层，导致外延片的破损和破片，后续再通过化学抛光的方式也无法完全去除掉损伤层，在此上面生长外延层，会产生较多表面缺陷。同时，在...
【技术保护点】
1.一种碲锌镉外延片去除外延层的方法，碲锌镉外延片包括依次排列的碲锌镉衬底、异质外延层，其特征在于，包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的碲锌镉外延片去除外延层的方法，其特征在于，步骤（1）具体为：在所述碲锌镉外延片表面间隔设置多个检测点，分别测量每个检测点处的碲锌镉外延片的厚度，计算平均值后得到碲锌镉外延片的实际厚度。
3.如权利要求1所述的碲锌镉外延片去除外延层的方法，其特征在于，步骤（2）化学机械抛光中，抛光液选用次氯酸钠，磨料选用0.1~0.3μm的氧化铝。
4.如权利要求1或3所述的碲锌镉外延片去除外延层的方法，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种碲锌镉外延片去除外延层的方法，碲锌镉外延片包括依次排列的碲锌镉衬底、异质外延层，其特征在于，包括如下步骤：
2.如权利要求1所述的碲锌镉外延片去除外延层的方法，其特征在于，步骤（1）具体为：在所述碲锌镉外延片表面间隔设置多个检测点，分别测量每个检测点处的碲锌镉外延片的厚度，计算平均值后得到碲锌镉外延片的实际厚度。
3.如权利要求1所述的碲锌镉外延片去除外延层的方法，其特征在于，步骤（2）化学机械抛光中，抛光液选用次氯酸钠，磨料选用0.1~0.3μm的氧化铝。
4.如权利要求1或3所述的碲锌镉外延片去除外延层的方法，其特征在于，步骤（2）化学机械抛光中，化学机械抛光的压力为50~70g/cm2，化学机械抛光的转速为30~50rpm，化学机械抛光的抛光液流速6~10ml/min。
5.如权利要求1或3所述的碲锌镉外延片去除外延层的方法，其特征在于，所述化学机械抛光的处理时间为10~20min。
6.如权利要求1所述的碲锌镉外延片去除外延层的方法，其特征在于，步骤（3）化学抛光中，化学...
【专利技术属性】
技术研发人员：王波，王从学，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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