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本发明提供了一种碲锌镉外延片去除外延层的方法。包括如下步骤：对所述碲锌镉外延片进行厚度分选；对分选后厚度一致的碲锌镉外延片进行化学机械抛光，至去除异质外延层后停止抛光；对化学机械抛光后的碲锌镉外延片进行化学抛光，至去除碲锌镉衬底表面损伤层及...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

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