一种高效率的晶元检测设备制造技术

技术编号:40482552 阅读:8 留言:0更新日期:2024-02-26 19:16
本技术公开了一种高效率的晶元检测设备,涉及晶元检测技术领域,包括检测箱,还包括,隔离板,所述隔离板通过螺栓安装在检测箱内腔中部,所述隔离板顶端中部开设有方形活动孔,驱动机构,所述驱动机构通过螺栓安装在检测箱内腔中上部,所述驱动机构包括第一伺服电机,所述第一伺服电机通过螺栓安装在隔离板顶端右侧中部,检测机构,所述检测机构底端通过螺栓安装在方形活动孔内部,所述检测机构包括检测元件,所述检测元件底端通过螺栓安装在方形活动孔内部;该高效率的晶元检测设备,通过驱动机构带动检测元件上下移动,从而可以适应不同尺寸和形状的晶元,这样能够确保在不同的检测任务中都能够准确地对晶元进行检测。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶元检测,具体涉及一种高效率的晶元检测设备


技术介绍

1、晶元是半导体芯片的基本组成单元,也称为芯片或集成电路,它由硅等半导体材料制成,具有微小的尺寸和复杂的电路结构,晶元是电子设备中存储、处理和传输信息的核心部件之一,广泛应用于计算机、手机、电视、汽车等各种电子产品中,在申请号为202122083502.3的中国专利,公开了“一种具有晶元限位结构的晶元检测设备,包括机体、放置板和x光检测器,所述机体右端侧壁上开设有穿槽,所述穿槽内穿过有放置板,所述放置板设置在机体内,所述放置板右端固定连接有防护板,所述防护板设置在机体右端侧壁内,本技术通过设置电机,可以通过螺纹杆带动放置板进行自动滑出与收入,方便在检测完成后,使放置板自动滑出,并且配合限位架与限位滑条,可以增加放置板移动时的稳定性,通过设置推块与弹簧,可以对挤压块进行控制,同时配合限位板与限位槽,可以对不同大小形状的晶元进行限位固定,有效的避免在检测时,晶元出现晃动,影响检测效果。”

2、该对比文件仅仅能解决以对不同大小形状的晶元进行限位固定,有效的避免在检测时,晶元出现晃动,影响检测效果的问题,但是该装置仍然存在问题,该装置没有设置照明元件,在晶元检测过程中,如果没有适当的照明元件,操作人员可能需要使用额外的工具或手动调整位置来获得更好的视野,将增加了与晶元接触的风险,导致潜在的损坏或污染,并且该装置的检测元件是固定的,不易移动,如果检测元件是固定的且无法调整位置或形状,它可能无法适应各种尺寸和形状的晶元,将导致在检测过程中出现错误或缺陷被忽视。p>

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种高效率的晶元检测设备,以解决现有技术中的上述不足之处。

2、为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种高效率的晶元检测设备,包括检测箱,还包括;

3、隔离板,所述隔离板通过螺栓安装在检测箱内腔中部,所述隔离板顶端中部开设有方形活动孔;

4、驱动机构,所述驱动机构通过螺栓安装在检测箱内腔中上部,所述驱动机构包括第一伺服电机,所述第一伺服电机通过螺栓安装在隔离板顶端右侧中部;

5、检测机构,所述检测机构底端通过螺栓安装在方形活动孔内部,所述检测机构包括检测元件,所述检测元件底端通过螺栓安装在方形活动孔内部;

6、照明机构,所述照明机构通过螺栓安装在检测箱内腔右侧中下部,所述照明机构包括固定框,所述固定框通过螺栓安装在检测箱内腔右侧中下部。

7、进一步地,所述驱动机构还包括转动杆、第一锥齿轮、固定块、第二锥齿轮和第一螺纹杆,两个所述固定块通过螺栓安装在检测箱内腔两端中上部,所述第一螺纹杆通过轴承安装在两个固定块之间,所述第一螺纹杆外部两侧设置有相反的螺纹,所述转动杆通过螺栓安装在第一伺服电机的输出轴顶端,所述第一锥齿轮通过螺栓安装在转动杆顶端,所述第二锥齿轮通过螺栓安装在第一螺纹杆右端,所述第一锥齿轮顶端左侧与第二锥齿轮底端右侧相啮合。

8、进一步地,所述驱动机构还包括滑动块和安装块,所述检测箱内腔顶端通过螺栓安装有承接板,所述承接板底端中部开设有滑动槽,两个所述滑动块通过嵌合滑动安装在滑动槽内部两端,所述安装块通过螺栓安装在滑动块底端,所述安装块远离固定块的一端开设有与第一螺纹杆相配合的第一螺纹孔,所述第一螺纹杆右端穿过第一螺纹孔。

9、进一步地,所述检测机构还包括活动板、安装板和限位板,两个所述活动板顶端通过转轴转动安装在两个安装块前端,所述安装板通过螺栓安装在检测元件前端中部,两个所述活动板底端通过转轴转动安装在安装板前端,所述限位板通过螺栓安装在隔离板顶端与检测元件相对应的位置。

10、进一步地,所述照明机构还包括第二伺服电机、照明灯、活动块、移动块、第二螺纹杆和活动通孔,所述第二伺服电机通过螺栓安装在固定框前端中部,所述固定框前端中部开设有圆形活动孔,且第二伺服电机的输出轴穿过圆形活动孔,所述第二螺纹杆通过轴承安装在固定框内腔中部,所述第二伺服电机的输出轴通过螺栓与第二螺纹杆连接,所述移动块前端开设有与第二螺纹杆相配合的螺纹孔,且第二螺纹杆后端穿过螺纹孔,所述移动块螺动安装在第二螺纹杆外侧前端,所述固定框左侧中部开设有活动通孔,所述移动块左端通过螺栓安装有连接块,且连接块位于活动通孔内部,所述活动块通过螺栓安装在连接块左端,所述照明灯通过螺栓安装在活动块左端。

11、进一步地,所述检测箱内腔底端通过螺栓安装有放置板,所述放置板顶端中部通过螺栓安装有圆形板,所述放置板顶端中部开设有若干个透气孔,所述检测箱前端通过铰链转动安装有活动门,所述检测箱底端四周通过螺栓安装有万向轮。

12、与现有技术相比,本技术提供的一种高效率的晶元检测设备,

13、本技术通过驱动机构带动检测元件上下移动,通过检测机构对晶元板进行检测,从而可以适应不同尺寸和形状的晶元,这样能够确保在不同的检测任务中都能够准确地对晶元进行检测,提高了系统的适用性和灵活性,通过照明机构对晶元板进行照明,从而可以提供充足的光源,使晶元板在检测过程中得到充分照明,能够有效地提高可视性,使操作人员或检测设备能够清晰地观察和分析晶元板的表面情况。

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【技术保护点】

1.一种高效率的晶元检测设备,包括检测箱(1),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种高效率的晶元检测设备,其特征在于:所述驱动机构(4)还包括转动杆(402)、第一锥齿轮(403)、固定块(404)、第二锥齿轮(405)和第一螺纹杆(406),两个所述固定块(404)通过螺栓安装在检测箱(1)内腔两端中上部,所述第一螺纹杆(406)通过轴承安装在两个固定块(404)之间,所述第一螺纹杆(406)外部两侧设置有相反的螺纹,所述转动杆(402)通过螺栓安装在第一伺服电机(401)的输出轴顶端,所述第一锥齿轮(403)通过螺栓安装在转动杆(402)顶端,所述第二锥齿轮(405)通过螺栓安装在第一螺纹杆(406)右端,所述第一锥齿轮(403)顶端左侧与第二锥齿轮(405)底端右侧相啮合。

3.根据权利要求2所述的一种高效率的晶元检测设备,其特征在于:所述驱动机构(4)还包括滑动块(407)和安装块(408),所述检测箱(1)内腔顶端通过螺栓安装有承接板(11),所述承接板(11)底端中部开设有滑动槽,两个所述滑动块(407)通过嵌合滑动安装在滑动槽内部两端,所述安装块(408)通过螺栓安装在滑动块(407)底端,所述安装块(408)远离固定块(404)的一端开设有与第一螺纹杆(406)相配合的第一螺纹孔,所述第一螺纹杆(406)右端穿过第一螺纹孔。

4.根据权利要求3所述的一种高效率的晶元检测设备,其特征在于:所述检测机构(5)还包括活动板(501)、安装板(503)和限位板(504),两个所述活动板(501)顶端通过转轴转动安装在两个安装块(408)前端,所述安装板(503)通过螺栓安装在检测元件(502)前端中部,两个所述活动板(501)底端通过转轴转动安装在安装板(503)前端,所述限位板(504)通过螺栓安装在隔离板(6)顶端与检测元件(502)相对应的位置。

5.根据权利要求1所述的一种高效率的晶元检测设备,其特征在于:所述照明机构(7)还包括第二伺服电机(701)、照明灯(702)、活动块(703)、移动块(704)、第二螺纹杆(705)和活动通孔(706),所述第二伺服电机(701)通过螺栓安装在固定框(707)前端中部,所述固定框(707)前端中部开设有圆形活动孔,且第二伺服电机(701)的输出轴穿过圆形活动孔,所述第二螺纹杆(705)通过轴承安装在固定框(707)内腔中部,所述第二伺服电机(701)的输出轴通过螺栓与第二螺纹杆(705)连接,所述移动块(704)前端开设有与第二螺纹杆(705)相配合的螺纹孔,且第二螺纹杆(705)后端穿过螺纹孔,所述移动块(704)螺动安装在第二螺纹杆(705)外侧前端,所述固定框(707)左侧中部开设有活动通孔(706),所述移动块(704)左端通过螺栓安装有连接块,且连接块位于活动通孔(706)内部,所述活动块(703)通过螺栓安装在连接块左端,所述照明灯(702)通过螺栓安装在活动块(703)左端。

6.根据权利要求1所述的一种高效率的晶元检测设备,其特征在于:所述检测箱(1)内腔底端通过螺栓安装有放置板(8),所述放置板(8)顶端中部通过螺栓安装有圆形板(10),所述放置板(8)顶端中部开设有若干个透气孔(9),所述检测箱(1)前端通过铰链转动安装有活动门(3),所述检测箱(1)底端四周通过螺栓安装有万向轮(2)。

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【技术特征摘要】

1.一种高效率的晶元检测设备,包括检测箱(1),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种高效率的晶元检测设备,其特征在于:所述驱动机构(4)还包括转动杆(402)、第一锥齿轮(403)、固定块(404)、第二锥齿轮(405)和第一螺纹杆(406),两个所述固定块(404)通过螺栓安装在检测箱(1)内腔两端中上部,所述第一螺纹杆(406)通过轴承安装在两个固定块(404)之间,所述第一螺纹杆(406)外部两侧设置有相反的螺纹,所述转动杆(402)通过螺栓安装在第一伺服电机(401)的输出轴顶端,所述第一锥齿轮(403)通过螺栓安装在转动杆(402)顶端,所述第二锥齿轮(405)通过螺栓安装在第一螺纹杆(406)右端,所述第一锥齿轮(403)顶端左侧与第二锥齿轮(405)底端右侧相啮合。

3.根据权利要求2所述的一种高效率的晶元检测设备,其特征在于:所述驱动机构(4)还包括滑动块(407)和安装块(408),所述检测箱(1)内腔顶端通过螺栓安装有承接板(11),所述承接板(11)底端中部开设有滑动槽,两个所述滑动块(407)通过嵌合滑动安装在滑动槽内部两端,所述安装块(408)通过螺栓安装在滑动块(407)底端,所述安装块(408)远离固定块(404)的一端开设有与第一螺纹杆(406)相配合的第一螺纹孔,所述第一螺纹杆(406)右端穿过第一螺纹孔。

4.根据权利要求3所述的一种高效率的晶元检测设备,其特征在于:所述检测机构(5)还包括活动板(501)、安装板(503)和限位板(504),两个所述活动板(501)顶端通过转轴转动安装在两个安装块(408)前端,所述安装板(503)通过...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭宏毅罗九斌
申请(专利权)人:张家港市集成电路产业发展有限公司
类型:新型
国别省市:

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