【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶元芯片检测，特别涉及一种晶元芯片检测工装。
技术介绍
1、晶元芯片是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，对晶元芯片加工后，就需要一种晶元芯片检测工装对晶元芯片进行检测，可以检测晶元芯片上是否有裂缝。
2、为此，公开号为cn205229403u的专利号说明书中公开了本技术涉及检测工装
，公开了一种晶元芯片检测工装，包括线路板、连接座，连接座的一端与线路板连接，连接座的另一端的两侧各设有一排测针，测针包括测针套、设在测针套内的可伸缩的测针头，测针套与连接座的端面之间通过胶水层连接，每个测针的测针头高出胶水层的端面，每个测针的测针套通过导线与线路板连接。本技术具有能适用于自动检测设备，极大提高检测效率的有益效果。
3、但现有的晶元芯片检测工装依然存在一些问题，具体问题如下所述：
4、1、晶元芯片检测工装难以对晶元芯片进行限位的问题，在晶元芯片进行检测时，需要对晶元芯片进行限位，让晶元芯片可以稳定的进行检测，防止晶元芯片出现偏移的情况。
5、2、晶元芯片检测工装难以自动调整晶元芯片位置的问题，晶元芯片在加工时，需要自动调整晶元芯片的位置，让晶元芯片可以自动移动进入检测箱内部进行检测。
技术实现思路
1、(一)要解决的技术问题
2、本技术的
3、(二)
技术实现思路
4、为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶元芯片检测工装，包括支脚；
5、所述支脚的底端安装有防滑垫，所述支脚的顶端安装有工作台；
6、所述工作台的内部安装有移动结构，所述工作台的顶端安装有移动板，且移动板的顶端安装有限位结构，所述限位结构包括限位板、防滑纹、导向杆和螺纹杆，所述导向杆安装在移动板的顶端，所述导向杆的顶端活动连接有限位板，所述限位板的一端贯穿有螺纹杆，所述工作台的顶端安装有检测箱；
7、所述检测箱的两侧均设置有入口，所述检测箱内部的顶端安装有安装块，且安装块的底端安装有检测器，所述安装块的两侧均安装有拆装结构。
8、使用时，首先伺服电机工作就可以带动螺杆进行旋转，螺杆和移动块构成螺纹连接，螺杆旋转就可以打的移动块进行移动，移动块移动就可以带动其顶端的移动板进行移动，移动板可以移动到底检测箱内部，让移动板顶端的晶元芯片可以被检测器进行检测，连接杆贯穿移动块，连接杆可以对移动块进行导向，检测器可以对晶元芯片进行检测，检测晶元芯片上是否有裂缝。
9、优选的，所述移动结构包括伺服电机、螺杆、连接杆和移动块，所述伺服电机安装在工作台的一侧，所述伺服电机的一侧活动连接有螺杆，且螺杆的外侧活动连接有移动块，伺服电机工作带动螺杆进行旋转，螺杆旋转可以带动和其构成螺纹连接的移动块进行移动。
10、优选的，所述移动块的两端均设置有滑块，所述工作台的内部设置有滑槽，所述移动块和工作台构成滑动结构，移动块可以在工作台内部进行滑动。
11、优选的，所述移动块的两端均设置有连接杆，且连接杆关于移动块的中轴线成对称分布，连接杆可以对移动块的移动进行导向。
12、优选的，所述检测器的顶端设置有卡块，所述安装块的底端设置有卡槽，所述检测器和安装块构成卡合结构，卡合结构便于拆卸。
13、优选的，所述拆装结构包括安装板、弹簧和卡扣，所述安装板安装在检测箱内部的顶端，所述安装板的一侧安装有弹簧，且弹簧的一侧安装有卡扣，卡扣可以卡入检测器内部，可以对检测器进行固定，让检测器可以拆装。
14、优选的，所述螺纹杆的外侧壁上均匀设置有外螺纹，所述限位板的内侧壁上均匀设置有与外螺纹相互配合的内螺纹，所述螺纹杆与限位板为螺纹连接，可以拧动螺纹杆可以带动限位板进行升降。
15、(三)有益效果
16、本技术提供的晶元芯片检测工装，其优点在于：通过在移动板的顶端设置有限位板，限位板和移动板之间通过螺纹杆和导向杆进行连接，螺纹杆和限位板构成螺纹连接，可以拧动螺纹杆带动螺纹杆进行旋转，螺纹杆旋转就可以带动和其构成螺纹连接的限位板进行升降，限位板升降就可以对移动板上的晶元芯片进行限位，防止晶元芯片出现偏移的情况，防滑纹可以加强限位板的摩擦力，导向杆贯穿限位板，导向杆可以对限位板进行导向，以此来达成晶元芯片检测工装便于对晶元芯片进行限位的目的；
17、通过在工作台的一侧安装有伺服电机，伺服电机工作就可以带动螺杆进行旋转，螺杆和移动块构成螺纹连接，螺杆旋转就可以打的移动块进行移动，移动块移动就可以带动其顶端的移动板进行移动，移动板可以移动到底检测箱内部，让移动板顶端的晶元芯片可以被检测器进行检测，连接杆贯穿移动块，连接杆可以对移动块进行导向，以此来达成晶元芯片检测工装便于带动晶元芯片进行移动的目的；
18、通过在安装块的底端活动连接有检测器，检测器和安装块构成卡合结构，卡合结构便于拆卸，可以将检测器卡入安装块内部，安装板和卡扣之间通过弹簧进行连接，弹簧具有弹性，弹簧的弹性可以带动卡扣进行移动，卡扣可以移动卡入安装块和检测器内部，对检测器进行固定，需要对检测器进行更换时，拉开卡扣就可以拆卸检测器对检测器进行更换，以此来达成晶元芯片检测工装便于对检测器进行更换的目的。
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1.一种晶元芯片检测工装，包括支脚(3)；
2.根据权利要求1所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所述移动结构(2)包括伺服电机(201)、螺杆(202)、连接杆(203)和移动块(204)，所述伺服电机(201)安装在工作台(1)的一侧，所述伺服电机(201)的一侧活动连接有螺杆(202)，且螺杆(202)的外侧活动连接有移动块(204)。
3.根据权利要求2所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所述移动块(204)的两端均设置有滑块，所述工作台(1)的内部设置有滑槽，所述移动块(204)和工作台(1)构成滑动结构。
4.根据权利要求2所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所述移动块(204)的两端均设置有连接杆(203)，且连接杆(203)关于移动块(204)的中轴线成对称分布。
5.根据权利要求1所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所述检测器(6)的顶端设置有卡块，所述安装块(7)的底端设置有卡槽，所述检测器(6)和安装块(7)构成卡合结构。
6.根据权利要求1所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所
7.根据权利要求1所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所述螺纹杆(1104)的外侧壁上均匀设置有外螺纹，所述限位板(1101)的内侧壁上均匀设置有与外螺纹相互配合的内螺纹，所述螺纹杆(1104)与限位板(1101)为螺纹连接。
...【技术特征摘要】
1.一种晶元芯片检测工装，包括支脚(3)；
2.根据权利要求1所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所述移动结构(2)包括伺服电机(201)、螺杆(202)、连接杆(203)和移动块(204)，所述伺服电机(201)安装在工作台(1)的一侧，所述伺服电机(201)的一侧活动连接有螺杆(202)，且螺杆(202)的外侧活动连接有移动块(204)。
3.根据权利要求2所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所述移动块(204)的两端均设置有滑块，所述工作台(1)的内部设置有滑槽，所述移动块(204)和工作台(1)构成滑动结构。
4.根据权利要求2所述的一种晶元芯片检测工装，其特征在于：所述移动块(204)的两端均设置有连接杆(203)，且连接杆(203)关于移动块(204)的中轴线成...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭宏毅，罗九斌，
申请(专利权)人：张家港市集成电路产业发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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