【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工,具体涉及一种用于硅片盛放的大花篮结构。
技术介绍
1、在硅片生产过程中,需要将切割成型的硅片分批、分片通过硅片插片机插入到专用花篮中,方可进行后续的清洗等处理。硅片插片机虽然改变了硅片需要人工分片并插入到硅片花篮中的现状,实现了硅片的自动分料、自动上料。
2、现有的技术方案中,提出了公开号:cn112103232a,一种硅片插片花篮的定位装置,包括升降架,其特征在于:升降架上部设有上定位机构、底部设有下定位机构,位于上、下定位机构之间的升降架上至少设有一个移位导向板。可在方便地实现空花篮的移入和载料花篮移出的同时,在第一锁紧机构和第二锁紧机构的共同作用下,对存在轻微变形的花篮进行定位、锁紧和校准。
3、为了解决硅片花篮在前后方向上没有任何定位和(或)限位,其相对位置处于失控状态,不利于硅片插片工艺动作的执行的问题,现有技术是采用承重球头杆有利于花篮底部在其他定位机构的作用力下快速平移至固定位置,同时所有对花篮进行定位、固定和(或)限位而施加的力量全部作用于金属件之上,可更好的保障定位效果,同时也大大降低了用于承载硅片的颗粒杆的受力损耗情况的方式进行处理,但是还会出现硅片放置在花篮结构的内部,无法调节角度,不利于装置均匀且稳定的清洗的情况,从而影响装置的实用性的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于硅片盛放的大花篮结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是:
< ...【技术保护点】
1.一种用于硅片盛放的大花篮结构,包括花篮主体(1),其特征在于:所述花篮主体(1)的内侧活动安装有装配架(2),所述装配架(2)的内部固定安装有安装槽板(3),所述花篮主体(1)的两端固定安装有防护板(4);
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述调节机构包括转动轴(52),所述转动轴(52)的一侧固定安装有推挤板(55),所述推挤板(55)的另一端设置有弹柱(56),所述弹柱(56)的顶部活动安装在装配架(2)的背面。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述转动轴(52)的另一侧开设有限位卡槽(53),所述限位卡槽(53)的内部活动安装有卡板(54),所述卡板(54)的另一端活动安装在花篮主体(1)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述装配架(2)的两端活动安装有旋转轴(21),所述旋转轴(21)的另一端活动安装在花篮主体(1)的内侧。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述导流机构包括辅助板
6.根据权利要求5所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述导流槽(33)的内壁上固定安装有毛毡垫(331),所述毛毡垫(331)的表面固定安装有防粘块(332)。
7.根据权利要求5所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述辅助板(34)的内部设置有排水管(32),所述排水管(32)的底部设置在导流槽(33)的顶部。
...【技术特征摘要】
1.一种用于硅片盛放的大花篮结构,包括花篮主体(1),其特征在于:所述花篮主体(1)的内侧活动安装有装配架(2),所述装配架(2)的内部固定安装有安装槽板(3),所述花篮主体(1)的两端固定安装有防护板(4);
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述调节机构包括转动轴(52),所述转动轴(52)的一侧固定安装有推挤板(55),所述推挤板(55)的另一端设置有弹柱(56),所述弹柱(56)的顶部活动安装在装配架(2)的背面。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述转动轴(52)的另一侧开设有限位卡槽(53),所述限位卡槽(53)的内部活动安装有卡板(54),所述卡板(54)的另一端活动安装在花篮主体(1)的内部。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:王淼,
申请(专利权)人:无锡旭邦精密机械有限公司,
类型:新型
国别省市:
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