一种用于硅片盛放的大花篮结构制造技术

技术编号:40464308 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-22 23:18
本技术公开了一种用于硅片盛放的大花篮结构,涉及硅片加工技术领域,包括花篮主体,所述花篮主体的内侧活动安装有装配架,所述装配架的内部固定安装有安装槽板,所述花篮主体的两端固定安装有防护板,所述花篮主体的一侧活动安装有调节轴,所述调节轴的外侧活动安装有摩擦轴,所述调节轴的另一端设置有调节机构。本技术通过调节轴、摩擦轴、转动轴、限位卡槽、卡板和推挤板相互配合,解决了硅片放置在花篮结构的内部,无法调节角度,不利于装置均匀且稳定的清洗,从而影响装置的实用性的问题,达到调节花篮角度的功能,从而方便硅片稳定的放置,并配合调节机构,方便装置配合清洗液进行均匀的清理,有利于装置增加实用性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片加工,具体涉及一种用于硅片盛放的大花篮结构


技术介绍

1、在硅片生产过程中,需要将切割成型的硅片分批、分片通过硅片插片机插入到专用花篮中,方可进行后续的清洗等处理。硅片插片机虽然改变了硅片需要人工分片并插入到硅片花篮中的现状,实现了硅片的自动分料、自动上料。

2、现有的技术方案中,提出了公开号:cn112103232a,一种硅片插片花篮的定位装置,包括升降架,其特征在于:升降架上部设有上定位机构、底部设有下定位机构,位于上、下定位机构之间的升降架上至少设有一个移位导向板。可在方便地实现空花篮的移入和载料花篮移出的同时,在第一锁紧机构和第二锁紧机构的共同作用下,对存在轻微变形的花篮进行定位、锁紧和校准。

3、为了解决硅片花篮在前后方向上没有任何定位和(或)限位,其相对位置处于失控状态,不利于硅片插片工艺动作的执行的问题,现有技术是采用承重球头杆有利于花篮底部在其他定位机构的作用力下快速平移至固定位置,同时所有对花篮进行定位、固定和(或)限位而施加的力量全部作用于金属件之上,可更好的保障定位效果,同时也大大降低了用于承载硅片的颗粒杆的受力损耗情况的方式进行处理,但是还会出现硅片放置在花篮结构的内部,无法调节角度,不利于装置均匀且稳定的清洗的情况,从而影响装置的实用性的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种用于硅片盛放的大花篮结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是:

<p>3、一种用于硅片盛放的大花篮结构,包括花篮主体,所述花篮主体的内侧活动安装有装配架,所述装配架的内部固定安装有安装槽板,所述花篮主体的两端固定安装有防护板。

4、所述花篮主体的一侧活动安装有调节轴,所述调节轴的外侧活动安装有摩擦轴,所述调节轴的另一端设置有调节机构。

5、所述装配架的底部设置有排水板,所述排水板的底部设置有导流机构。

6、本技术技术方案的进一步改进在于:所述调节机构包括转动轴,所述转动轴的一侧固定安装有推挤板,所述推挤板的另一端设置有弹柱,所述弹柱的顶部活动安装在装配架的背面。

7、采用上述技术方案,通过转动轴、推挤板和弹柱相互配合,达到旋转推挤的功能。

8、本技术技术方案的进一步改进在于:所述转动轴的另一侧开设有限位卡槽,所述限位卡槽的内部活动安装有卡板,所述卡板的另一端活动安装在花篮主体的内部。

9、采用上述技术方案,通过限位卡槽和卡板相互配合,达到限位卡接的功能。

10、本技术技术方案的进一步改进在于:所述装配架的两端活动安装有旋转轴,所述旋转轴的另一端活动安装在花篮主体的内侧。

11、本技术技术方案的进一步改进在于:所述导流机构包括辅助板,所述辅助板的表面开设有导流槽。

12、采用上述技术方案,通过辅助板和导流槽相互配合,达到便捷排放水分的功能。

13、本技术技术方案的进一步改进在于:所述导流槽的内壁上固定安装有毛毡垫,所述毛毡垫的表面固定安装有防粘块。

14、采用上述技术方案,通过毛毡垫和防粘块相互配合,达到防止水分吸附在内壁的功能。

15、本技术技术方案的进一步改进在于:所述辅助板的内部设置有排水管,所述排水管的底部设置在导流槽的顶部。

16、由于采用了上述技术方案,本技术相对现有技术来说,取得的技术进步是:

17、1、本技术提供一种用于硅片盛放的大花篮结构,通过调节轴、摩擦轴、转动轴、限位卡槽、卡板和推挤板相互配合,解决了硅片放置在花篮结构的内部,无法调节角度,不利于装置均匀且稳定的清洗,从而影响装置的实用性的问题,达到调节花篮角度的功能,从而方便硅片稳定的放置,并配合调节机构,方便装置配合清洗液进行均匀的清理,有利于装置增加实用性。

18、2、本技术提供一种用于硅片盛放的大花篮结构,通过安装槽板、排水板、排水管和导流槽相互配合,解决了花篮结构在清洗后,无法快速排出水分,影响装置干燥处理效率的问题,达到便捷排出水分的功能,提高装置的工作效率。

19、3、本技术提供一种用于硅片盛放的大花篮结构,通过导流槽、毛毡垫和防粘块相互配合,解决了排水机构在排水时,部分的水分残留在内壁上,从而影响装置干燥效率的问题,达到防止水分吸附内壁的功能,从而提高装置干燥的效率,增加装置的便捷性。

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【技术保护点】

1.一种用于硅片盛放的大花篮结构,包括花篮主体(1),其特征在于:所述花篮主体(1)的内侧活动安装有装配架(2),所述装配架(2)的内部固定安装有安装槽板(3),所述花篮主体(1)的两端固定安装有防护板(4);

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述调节机构包括转动轴(52),所述转动轴(52)的一侧固定安装有推挤板(55),所述推挤板(55)的另一端设置有弹柱(56),所述弹柱(56)的顶部活动安装在装配架(2)的背面。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述转动轴(52)的另一侧开设有限位卡槽(53),所述限位卡槽(53)的内部活动安装有卡板(54),所述卡板(54)的另一端活动安装在花篮主体(1)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述装配架(2)的两端活动安装有旋转轴(21),所述旋转轴(21)的另一端活动安装在花篮主体(1)的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述导流机构包括辅助板(34),所述辅助板(34)的表面开设有导流槽(33)。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述导流槽(33)的内壁上固定安装有毛毡垫(331),所述毛毡垫(331)的表面固定安装有防粘块(332)。

7.根据权利要求5所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述辅助板(34)的内部设置有排水管(32),所述排水管(32)的底部设置在导流槽(33)的顶部。

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【技术特征摘要】

1.一种用于硅片盛放的大花篮结构,包括花篮主体(1),其特征在于:所述花篮主体(1)的内侧活动安装有装配架(2),所述装配架(2)的内部固定安装有安装槽板(3),所述花篮主体(1)的两端固定安装有防护板(4);

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述调节机构包括转动轴(52),所述转动轴(52)的一侧固定安装有推挤板(55),所述推挤板(55)的另一端设置有弹柱(56),所述弹柱(56)的顶部活动安装在装配架(2)的背面。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片盛放的大花篮结构,其特征在于:所述转动轴(52)的另一侧开设有限位卡槽(53),所述限位卡槽(53)的内部活动安装有卡板(54),所述卡板(54)的另一端活动安装在花篮主体(1)的内部。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:王淼
申请(专利权)人:无锡旭邦精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:

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