一种硅片花篮用插接结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片花篮用插接结构，涉及硅片花篮技术领域，包括硅片花篮本体，所述硅片花篮本体的两侧外表面分别开设有辅助限位的侧边滑槽，所述侧边滑槽的内壁上滑动连接有插接机构。本实用新型专利技术通过采用弹性限位单元和辅助滚动单元之间的共同配合，解决了现有技术不具备对硅片进行稳定装载的结构，导致影响硅片花篮的使用性能的问题，通过安装槽、轴杆与滚轮之间相互配合，能够确保对插接的硅片进行辅助插接卡设，减小插接的阻力，降低对硅片表面的磨损，实现导向轮对硅片侧边的限位导向，利用伸缩弹簧的弹性作用力，可以提供一定压力保持硅片的装载稳定，提升硅片整体插接的效果。的效果。的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片花篮用插接结构


[0001]本技术涉及硅片花篮
，具体涉及一种硅片花篮用插接结构。

技术介绍

[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，在对硅片进行清洗时，使用清洗花篮放置硅片，不仅是因为化学药剂具有腐蚀性，且清洗花篮的插槽有利于将硅片均匀分开，不发生粘连，可以提高清洗效果。
[0003]在公开号为：CN106783702A的一种硅片花篮，包括前端板、后端板和花篮侧板，所述花篮侧板上等距离分布有若干隔片，相邻两隔片之间形成用于卡放硅片的卡槽，还包括定位杆和加强杆，所述定位杆穿过所述花篮侧板上的耳孔与所述前端板、后端板连接，所述加强杆设于所述花篮侧板底部，所述加强杆与所述前端板、后端板固定连接。
[0004]为了解决长时间使用花篮变形的问题，现有技术是采用定位杆定位，底部增设加强杆加强，保证了基准高度的方式进行处理，但是还会出现在使用时只能适用于一种尺寸的硅片且不具备对硅片进行稳定装载的结构的情本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片花篮用插接结构，包括硅片花篮本体(1)，其特征在于：所述硅片花篮本体(1)的两侧外表面分别开设有辅助限位的侧边滑槽(11)，所述侧边滑槽(11)的内壁上滑动连接有插接机构(2)，所述插接机构(2)的内侧设置有辅助稳定机构(3)；所述插接机构(2)包括有限位插接单元和调节单元，所述限位插接单元设置在调节单元的输出端；所述辅助稳定机构(3)包括有辅助滚动单元和弹性限位单元，所述弹性限位单元与辅助滚动单元均设置在限位插接单元的内侧。2.根据权利要求1所述的一种硅片花篮用插接结构，其特征在于：所述限位插接单元包括有插片板一(211)和插片板二(212)，所述插片板一(211)、插片板二(212)的内侧面分别开设有插接槽(213)。3.根据权利要求2所述的一种硅片花篮用插接结构，其特征在于：所述插片板一(211)、插片板二(212)的背部外表面固定安装有限位杆(214)，且所述限位杆(214)的外表面与硅片花篮本体(1)的内壁滑动连接，所述插片板一(211)、插片板二(212)的两端分别固定安装有与侧边滑槽(11)内壁滑动连接的侧边滑杆(215)。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：周龙，
申请(专利权)人：无锡旭邦精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：