一种基于硅片存放的花篮结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于硅片存放的花篮结构，涉及硅片技术领域，包括花篮结构主体，所述花篮结构主体的内侧活动安装有硅片主体，所述花篮结构主体包括安装单元、耐磨单元，所述硅片主体包括加固单元，所述安装单元包括固定支撑块、内缩弹簧、卡接凸块、引导台，所述固定支撑块的表面四周固定安装在花篮结构主体的内壁上。本实用新型专利技术通过具备内缩弹簧、卡接凸块、卡接槽，解决现有的花篮结构在使用时，装置无法快速对硅片进行安装固定，导致安装硅片后容易发生脱落的问题，通过以上结构结合以达到使花篮结构在使用过程中，通过安装机构使装置可以快速对硅片进行安装固定，有利于防止硅片在安装后发生脱落。片在安装后发生脱落。片在安装后发生脱落。

【技术实现步骤摘要】
一种基于硅片存放的花篮结构


[0001]本技术涉及硅片
，具体涉及一种基于硅片存放的花篮结构。

技术介绍

[0002]目前的硅片承载花篮中，插片杆件部分含有间隔分布的花篮齿，放置在花篮中的多个硅片被花篮齿隔开。
[0003]现有技术中，提出了公开号为CN210607205U，公开日为2020年05月22日的中国专利文件：一种硅片承载花篮，包括两个端板和连接于两个端板之间的插片杆件，所述插片杆件相对设置于所述硅片承载花篮的两侧，每侧的所述插片杆件均具有呈上下排布的第一组花篮齿和第二组花篮齿。
[0004]为了解决现有的承载花篮中的硅片存在烘干耗时长，或干燥后出现残留水印的问题，同时还存在相邻硅片在插片和清洗过程中容易粘连的问题，现有技术是采用通过端板向另一端板方向依次间隔设置的花篮齿，由于上排的第一组花篮齿的花篮齿与下排第二组花篮齿的齿间隙位置对应，以使得相邻的花篮齿之间形成放置硅片的缝隙，从而可以实现稳定地承载硅片的方式进行处理，但是还会出现在使用时，装置无法快速对硅片进行安装固定的情况，进而导致安装硅片后容易发生脱落的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种基于硅片存放的花篮结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0007]一种基于硅片存放的花篮结构，包括花篮结构主体，所述花篮结构主体的内侧活动安装有硅片主体。
[0008]所述花篮结构主体包括安装单元、耐磨单元。
[0009]所述硅片主体包括加固单元。
[0010]本技术技术方案的进一步改进在于：所述安装单元包括固定支撑块、内缩弹簧、卡接凸块、引导台，所述固定支撑块的表面四周固定安装在花篮结构主体的内壁上，所述内缩弹簧的外侧固定安装在固定支撑块的内侧。
[0011]采用上述技术方案将，将硅片主体插接到花篮结构主体的内壁上，利用硅片主体对花篮结构主体内部卡接凸块的下压，使卡接凸块外侧的内缩弹簧进行内缩，从而带动卡接凸块进行活动。
[0012]本技术技术方案的进一步改进在于：所述卡接凸块的外侧固定安装在内缩弹簧的内侧，所述引导台的底部固定安装在花篮结构主体的内侧。
[0013]采用上述技术方案，利用内缩弹簧回弹使卡接凸块卡接到卡接槽的内壁上，对硅片主体进行固定，从而达到快速对硅片进行安装固定的效果。
[0014]本技术技术方案的进一步改进在于：所述耐磨单元包括耐磨内板、第一耐磨
层、第二耐磨层，所述耐磨内板的表面四周固定安装在花篮结构主体的内壁上，所述第一耐磨层的内侧固定安装在耐磨内板的内壁上。
[0015]采用上述技术方案，利用花篮结构主体内部的耐磨内板可以增强花篮结构主体的耐磨效果，第一耐磨层与第二耐磨层采用氧化铝陶瓷材质制作，具有良好的耐磨效果。
[0016]本技术技术方案的进一步改进在于：所述第一耐磨层的外侧固定安装在第二耐磨层的内壁上，所述第二耐磨层的表面固定安装在耐磨内板的内壁上。
[0017]采用上述技术方案，通过耐磨内板内部的第一耐磨层与第二耐磨层结合在一起能够提高耐磨内板的耐磨效果，防止装置与硅片连接处发生损坏。
[0018]本技术技术方案的进一步改进在于：所述加固单元包括卡接槽、加固外层、加固内层，所述卡接槽开设于硅片主体的左右两侧，且所述卡接槽的内壁上搭接在卡接凸块的表面上。
[0019]采用上述技术方案，加固外层与加固内层采用低碳合金钢制成。
[0020]本技术技术方案的进一步改进在于：所述加固外层的左侧固定安装在硅片主体的内壁上，所述加固内层的左侧固定安装在加固外层的右侧，且所述加固内层的表面固定安装在硅片主体的内壁上。
[0021]采用上述技术方案，利用加固外层与加固内层结合可以提高硅片主体的坚韧性，避免硅片主体使用过程中出现破损。
[0022]由于采用了上述技术方案，本技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
[0023]1、本技术提供一种基于硅片存放的花篮结构，为了具备内缩弹簧、卡接凸块、卡接槽，解决现有的花篮结构在使用时，装置无法快速对硅片进行安装固定，导致安装硅片后容易发生脱落的问题，通过以上结构结合以达到使花篮结构在使用过程中，通过安装机构使装置可以快速对硅片进行安装固定，有利于防止硅片在安装后发生脱落。
[0024]2、本技术提供一种基于硅片存放的花篮结构，为了具备加固外层、加固内层，解决现有的花篮结构在使用过程中，装置内部的硅片使用过程中容易出现破损，导致硅片发生损坏，影响硅片的使用效果的问题，通过以上结构结合以达到花篮结构在使用过程中，通过加固机构使装置可以提高硅片的坚韧程度，防止硅片使用过程中出现破损。
[0025]3、本技术提供一种基于硅片存放的花篮结构，为了具备第一耐磨层、第二耐磨层，解决现有的花篮结构在使用过程中，装置长时间与硅片进行摩擦，导致装置与硅片连接处发生损坏的问题，通过以上结构结合以达到使花篮结构在使用过程中，通过耐磨机构使装置可以提高装置内壁的耐磨效果，防止装置与硅片连接处发生损坏。
附图说明
[0026]图1为本技术的立体结构示意图；
[0027]图2为本技术的A处剖视结构示意图；
[0028]图3为本技术的花篮结构主体剖视结构示意图；
[0029]图4为本技术的耐磨内板剖视结构示意图；
[0030]图5为本技术的硅片主体剖视结构示意图。
[0031]图中：1、花篮结构主体；11、固定支撑块；12、内缩弹簧；13、卡接凸块；14、引导台；15、耐磨内板；16、第一耐磨层；17、第二耐磨层；2、硅片主体；21、卡接槽；22、加固外层；23、
加固内层。
具体实施方式
[0032]下面结合实施例对本技术做进一步详细说明：
[0033]实施例1
[0034]如图1
‑
5所示，本技术提供了一种基于硅片存放的花篮结构，包括花篮结构主体1，花篮结构主体1的内侧活动安装有硅片主体2，花篮结构主体1包括安装单元、耐磨单元，硅片主体2包括加固单元，安装单元包括固定支撑块11、内缩弹簧12、卡接凸块13、引导台14，固定支撑块11的表面四周固定安装在花篮结构主体1的内壁上，将硅片主体2插接到花篮结构主体1的内壁上，利用硅片主体2对花篮结构主体1内部卡接凸块13的下压，使卡接凸块13外侧的内缩弹簧12进行内缩，从而带动卡接凸块13进行活动，内缩弹簧12的外侧固定安装在固定支撑块11的内侧，卡接凸块13的外侧固定安装在内缩弹簧12的内侧，利用内缩弹簧12回弹使卡接凸块13卡接到卡接槽21的内壁上，对硅片主体2进行固定，从而达到快速对硅片进行安装固定的效果，引导台14的底部固定安装在花篮结构主体1的内侧。
[0035]实施例2
[0036]如图1
‑
5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于硅片存放的花篮结构，包括花篮结构主体(1)，其特征在于：所述花篮结构主体(1)的内侧活动安装有硅片主体(2)；所述花篮结构主体(1)包括安装单元、耐磨单元；所述硅片主体(2)包括加固单元。2.根据权利要求1所述的一种基于硅片存放的花篮结构，其特征在于：所述安装单元包括固定支撑块(11)、内缩弹簧(12)、卡接凸块(13)、引导台(14)，所述固定支撑块(11)的表面四周固定安装在花篮结构主体(1)的内壁上，所述内缩弹簧(12)的外侧固定安装在固定支撑块(11)的内侧。3.根据权利要求2所述的一种基于硅片存放的花篮结构，其特征在于：所述卡接凸块(13)的外侧固定安装在内缩弹簧(12)的内侧，所述引导台(14)的底部固定安装在花篮结构主体(1)的内侧。4.根据权利要求1所述的一种基于硅片存放的花篮结构，其特征在于：所述耐磨单元包括耐磨内板(15)、第一耐磨层(16)、第二耐磨层(17)，所述耐磨内...

【专利技术属性】
技术研发人员：周龙，
申请(专利权)人：无锡旭邦精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：