【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英舟的退火，具体是一种石英舟退火装置及其方法。
技术介绍
1、现有的卧式石英舟加工完成后需要进行对石英舟进行退火去除焊接过程中的温度应力防止石英舟的炸裂。
2、由于石英舟放入退火炉中时需要用到退火炉中的底板进行支撑，将石英舟放置于退火炉中的底板上时，石英舟的部分位置便会与底板接触，此时在对石英舟进行加热退火时，由于石英舟的部分位置受到火炉中的底板遮挡，如此便会导致石英舟上各个位置处的受热温度不均匀，如此便会影响石英舟的退火效果。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于：为了解决石英舟在退火过程中会有部分位置受到遮挡而影响退火效果的问题，提供一种石英舟退火装置及其方法。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种石英舟退火装置，包括退火炉主体，所述退火炉主体上设置有导向杆，所述导向杆远离退火炉主体的一端安装有遮挡仓，所述遮挡仓靠近退火炉主体的一端通过轴承转动连接有转盘，所述转盘上设置有位于遮挡仓内侧的第二连接架，所述转盘上设置有位于第二连接架上方的第三连接架，所述第三连接架的底部安装有电机，所述转盘上设置有与电机输出端相连的等距夹连件，所述转盘靠近退火炉主体的一端滑动连接有多个第二滑块，多个第二滑块沿着转盘的竖向中轴线等距离分布，所述电机的输出端通过等距夹连件与第二滑块相连，所述第二滑块靠近退火炉主体的一侧固定有定位连块，所述定位连块上设置有锁位件，所述定位连块通过锁位件连接有放置板，所述放置板上开设有防滑垫，所述第二连接架上设置有与
3、作为本专利技术再进一步的方案：所述等距夹连件包括有与转盘滑动连接且位于第二滑块两侧的t型活动块，所述t型活动块的内侧安装有限位杆，所述限位杆上套设有第一滑块，所述第一滑块的一端设置有与第二滑块相连的铰接连杆，所述第二连接架的内侧通过轴承转动连接有第二往复丝杆，t型活动块的一端套设于第二往复丝杆上，所述第二往复丝杆的一端通过轴承转动连接有第三连接轴，所述第三连接轴上安装有两个第一棘轮，两个第一棘轮沿着第三连接轴的竖向中轴线对称设置，所述第三连接轴上安装有位于两个第一棘轮之间的第二传动直齿轮，所述第二往复丝杆的一端转动连接有与第一棘轮相啮合的第一棘爪，所述转盘上滑动连接有位于第二连接架内侧且与第二传动直齿轮相啮合的拨位齿条，所述电机的输出端连接有第一卡接齿轮，所述电机上通过轴承转动连接有位于电机一侧的第一往复丝杆，所述第一往复丝杆的顶端连接有与第一卡接齿轮相啮合的第二卡接齿轮，拨位齿条套设于第一往复丝杆上。
4、作为本专利技术再进一步的方案：所述第一滑块的数量设置有多个，且多个第一滑块沿着限位杆的竖向中轴线等距离分布，所述第二滑块与第一滑块之间通过铰接连杆进行连接。
5、作为本专利技术再进一步的方案：所述自转旋位件包括有转动连接于第二连接架内侧且与第二往复丝杆并排设置的第二连接轴，所述第二连接轴的一端设置有位于第二连接架外侧的第二传动锥齿轮，所述转盘上设置有位于第二连接架两侧的第一连接架，所述第一连接架上设置有蜗杆，所述蜗杆的一端设置有与第二传动锥齿轮相啮合的第一传动锥齿轮，所述转盘上设置有位于第一连接架远离第二连接架一侧的支撑转轴，所述支撑转轴的顶端安装有与蜗杆相啮合的蜗轮，所述支撑转轴上安装有旋转直齿轮，所述遮挡仓的内壁安装有与旋转直齿轮相啮合的直齿轮环，所述第二连接轴远离第二传动锥齿轮的一端通过轴承转动连接有第一连接轴，所述第一连接轴上设置有两个第二棘轮，两个第二棘轮沿着第一连接轴的竖向中轴线对称设置，所述第一连接轴上设置有位于两个第二棘轮之间的第一传动直齿轮，所述第二连接架的内侧通过转轴转动连接有位于第一传动直齿轮、第二传动直齿轮之间的过渡齿轮，所述第二连接轴远离第二传动锥齿轮的一端转动连接有与第二棘轮相啮合的第二棘爪。
6、作为本专利技术再进一步的方案：所述第一棘爪、第二棘爪通过转轴分别与第二往复丝杆、第二连接轴转动连接，所述第一棘爪与第二往复丝杆、第二棘爪与第二连接轴之间连接的转轴处通过卡槽卡接有扭力弹簧，所述第二棘轮与第一棘轮上的棘齿朝向相反。
7、作为本专利技术再进一步的方案：所述过渡齿轮与第二传动直齿轮、第一传动直齿轮相啮合，所述过渡齿轮、第二传动直齿轮与第一传动直齿轮的直径大小相等。
8、作为本专利技术再进一步的方案：所述锁位件包括有固定于第二滑块一端的定位连块，所述定位连块内插接有t型锁位杆，放置板安装于t型锁位杆远离第二滑块的一侧，所述t型锁位杆上开设有两个螺纹插孔，两个螺纹插孔沿着t型锁位杆的竖向中轴线对称设置，所述t型锁位杆上开设有位于两个螺纹插孔之间的卡孔，定位连块的顶部插接有延伸至卡孔内侧的卡销，所述卡销的顶端设置有连板，所述连板的底部设置有与定位连块相连的复位弹簧，所述定位连块上设置有延伸至螺纹插孔内的定位螺栓。
9、作为本专利技术再进一步的方案：所述卡孔的直径大于螺纹插孔的直径，所述定位连块内开设有贯穿定位连块且与t型锁位杆相契合的t型孔。
10、作为本专利技术再进一步的方案：所述卡销的底部通过轴承转动连接有滚珠。
11、本专利技术还公开了一种石英舟退火方法，采用上述一种石英舟退火装置及其方法，包括以下步骤：
12、s1：在对石英舟进行退火处理前，先将石英舟通过防滑垫放置于放置板上，之后通过锁位件对放置板进行安装，使得相邻的两个放置板之间放置有石英舟，通过相邻的两侧放置板对石英舟进行夹持定位；
13、s2：推动遮挡仓，将放置石英舟的放置板推入退火炉主体内，此时通过遮挡仓对退火炉主体的一端进行封堵；
14、s3：通过位置控制器启动电机，通过电机的运作使得等距夹连件带动第二滑块进行一次上下往复移动，当放置板向着远离转盘的圆心进行移动时，石英舟的顶部便会失去放置板的遮挡，此时石英舟的顶部与石英舟的四周受热相等；
15、s4：当放置板向着转盘的圆心进行靠拢时，相邻的放置板之间的石英舟便会再次受到放置板的夹持，随后通过电机的继续运作使得自转旋位件进行运作；
16、s5：通过自转旋位件的运作使得转盘相对遮挡仓转动一百八十度，通过转盘的转动使得石英舟的底部朝上，此时等距夹连件再次带动第二滑块进行一次上下往复移动时便可使石英舟的底部失去遮挡，配合着退火炉主体的运作来对石英舟整体进行退火处理。
17、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
18、1、通过设置等距夹连件、自转旋位件，电机运作使得拨位齿条进行上下往复移动，拨位齿条上下移动使得第二往复丝杆与第二连接轴进行有序转动，第二往复丝杆进行转动时放置板进行一次上下移动，以此来使石英舟的顶部在一段时间内失去放置板的遮挡，当第二连接轴进行转动时转盘相对遮挡仓转动一百八十度，当第二往复丝杆再次进行转动时石英舟的底部在一段时间内失去放置板的遮挡，以此来防止放置板对石英舟的一处进行长时间遮挡而导致石英舟各个位置的温度不同，从而提高石英舟的退火效果；
19、2、通过设置锁位件，将放置板上的t型锁本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种石英舟退火装置，包括退火炉主体（1），其特征在于，所述退火炉主体（1）上设置有导向杆（2），所述导向杆（2）远离退火炉主体（1）的一端安装有遮挡仓（3），所述遮挡仓（3）靠近退火炉主体（1）的一端通过轴承转动连接有转盘（4），所述转盘（4）上设置有位于遮挡仓（3）内侧的第二连接架（508），所述转盘（4）上设置有位于第二连接架（508）上方的第三连接架（515），所述第三连接架（515）的底部安装有电机（529），所述转盘（4）上设置有与电机（529）输出端相连的等距夹连件，所述转盘（4）靠近退火炉主体（1）的一端滑动连接有多个第二滑块（523），多个第二滑块（523）沿着转盘（4）的竖向中轴线等距离分布，所述电机（529）的输出端通过等距夹连件与第二滑块（523）相连，所述第二滑块（523）靠近退火炉主体（1）的一侧固定有定位连块（509），所述定位连块（509）上设置有锁位件，所述定位连块（509）通过锁位件连接有放置板（506），所述放置板（506）上开设有防滑垫（505），所述第二连接架（508）上设置有与等距夹连件相连的自转旋位件。
2.根据权利要求
3.根据权利要求2所述的一种石英舟退火装置，其特征在于，所述第一滑块（504）的数量设置有多个，且多个第一滑块（504）沿着限位杆（502）的竖向中轴线等距离分布，所述第二滑块（523）与第一滑块（504）之间通过铰接连杆（527）进行连接。
4.根据权利要求2所述的一种石英舟退火装置，其特征在于，所述自转旋位件包括有转动连接于第二连接架（508）内侧且与第二往复丝杆（517）并排设置的第二连接轴（520），所述第二连接轴（520）的一端设置有位于第二连接架（508）外侧的第二传动锥齿轮（521），所述转盘（4）上设置有位于第二连接架（508）两侧的第一连接架（507），所述第一连接架（507）上设置有蜗杆（522），所述蜗杆（522）的一端设置有与第二传动锥齿轮（521）相啮合的第一传动锥齿轮（503），所述转盘（4）上设置有位于第一连接架（507）远离第二连接架（508）一侧的支撑转轴（513），所述支撑转轴（513）的顶端安装有与蜗杆（522）相啮合的蜗轮（512），所述支撑转轴（513）上安装有旋转直齿轮（514），所述遮挡仓（3）的内壁安装有与旋转直齿轮（514）相啮合的直齿轮环（510），所述第二连接轴（520）远离第二传动锥齿轮（521）的一端通过轴承转动连接有第一连接轴（518），所述第一连接轴（518）上设置有两个第二棘轮（539），两个第二棘轮（539）沿着第一连接轴（518）的竖向中轴线对称设置，所述第一连接轴（518）上设置有位于两个第二棘轮（539）之间的第一传动直齿轮（519），所述第二连接架（508）的内侧通过转轴转动连接有位于第一传动直齿轮（519）、第二传动直齿轮（525）之间的过渡齿轮（541），所述第二连接轴（520）远离第二传动锥齿轮（521）的一端转动连接有与第二棘轮（539）相啮合的第二棘爪（540）。
5.根据权利要求4所述的一种石英舟退火装置，其特征在于，所述第一棘爪（528）、第二棘爪（540）通过转轴分别与第二往复丝杆（517）、第二连接轴（520）转动连接，所述第...
【技术特征摘要】
1.一种石英舟退火装置，包括退火炉主体（1），其特征在于，所述退火炉主体（1）上设置有导向杆（2），所述导向杆（2）远离退火炉主体（1）的一端安装有遮挡仓（3），所述遮挡仓（3）靠近退火炉主体（1）的一端通过轴承转动连接有转盘（4），所述转盘（4）上设置有位于遮挡仓（3）内侧的第二连接架（508），所述转盘（4）上设置有位于第二连接架（508）上方的第三连接架（515），所述第三连接架（515）的底部安装有电机（529），所述转盘（4）上设置有与电机（529）输出端相连的等距夹连件，所述转盘（4）靠近退火炉主体（1）的一端滑动连接有多个第二滑块（523），多个第二滑块（523）沿着转盘（4）的竖向中轴线等距离分布，所述电机（529）的输出端通过等距夹连件与第二滑块（523）相连，所述第二滑块（523）靠近退火炉主体（1）的一侧固定有定位连块（509），所述定位连块（509）上设置有锁位件，所述定位连块（509）通过锁位件连接有放置板（506），所述放置板（506）上开设有防滑垫（505），所述第二连接架（508）上设置有与等距夹连件相连的自转旋位件。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟退火装置，其特征在于，所述等距夹连件包括有与转盘（4）滑动连接且位于第二滑块（523）两侧的t型活动块（501），所述t型活动块（501）的内侧安装有限位杆（502），所述限位杆（502）上套设有第一滑块（504），所述第一滑块（504）的一端设置有与第二滑块（523）相连的铰接连杆（527），所述第二连接架（508）的内侧通过轴承转动连接有第二往复丝杆（517），t型活动块（501）的一端套设于第二往复丝杆（517）上，所述第二往复丝杆（517）的一端通过轴承转动连接有第三连接轴（526），所述第三连接轴（526）上安装有两个第一棘轮（524），两个第一棘轮（524）沿着第三连接轴（526）的竖向中轴线对称设置，所述第三连接轴（526）上安装有位于两个第一棘轮（524）之间的第二传动直齿轮（525），所述第二往复丝杆（517）的一端转动连接有与第一棘轮（524）相啮合的第一棘爪（528），所述转盘（4）上滑动连接有位于第二连接架（508）内侧且与第二传动直齿轮（525）相啮合的拨位齿条（511），所述电机（529）的输出端连接有第一卡接齿轮（530），所述电机（529）上通过轴承转动连接有位于电机（529）一侧的第一往复丝杆（516），所述第一往复丝杆（516）的顶端连接有与第一卡接齿轮（530）相啮合的第二卡接齿轮（531），拨位齿条（511）套设于第一往复丝杆（516）上。
3.根据权利要求2所述的一种石英舟退火装置，其特征在于，所述第一滑块（504）的数量设置有多个，且多个第一滑块（504）沿着限位杆（502）的竖向中轴线等距离分布，所述第二滑块（523）与第一滑块（504）之间通过铰接连杆（527）进行连接。
4.根据权利要求2所述的一种石英舟退火装置，其特征在于，所述自转旋位件包括有转动连接于第二连接架（508）内侧且与第二往复丝杆（517）并排设置的第二连接轴（520），所述第二连接轴（520）的一端设置有位于第二连接架（508）外侧的第二传动锥齿轮（521），所述转盘（4）上设置有位于第二连接架（508）两侧的第一连接架...
【专利技术属性】
技术研发人员：邢洪超，赵树君，崔冠利，张建，王铁，王道征，韩皓，孙超，丁文杰，陈玉龙，刘岩，马朝明，
申请(专利权)人：辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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