一种连续制备高纯电子级双氧水的工艺及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种连续制备高纯电子级双氧水的工艺，涉及双氧水制备的技术领域，包括以下步骤：操作人员将相应萃取液注入设备内部，随后将氧化液槽中的氧化液和反渗透机构的高盐水通过管道送往萃取塔体的底部，萃取塔体为通过内部设置多组筛板及螯合树脂盘对萃取过程中的杂质进行过滤处理，利用萃取塔体的外端设置的出液阀门与进液阀门与周边相应的净化塔体、反渗透机构及氧化液槽进行管件连接；凭借位差进入净化塔体的顶部，而从萃取塔体底部进入的氧化液和高盐水。用内部设置的竖向导槽对筛板或滤芯安装过程中，直接通过圆形限位环与多组竖向导槽进行卡合连接，避免滤芯及筛板在使用中，因液体反复的冲刷导致筛板及竖向导槽的连接处发生松动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及双氧水制备的，具体涉及一种连续制备高纯电子级双氧水的工艺及其装置。

技术介绍

1、在电子行业中，电子级双氧水主要用于生产电池和电子元件，电子级双氧水可以用于清洗和去除电子元件表面的污垢和油脂，确保电子元件的性能和质量，此外，电子级双氧水还可以用于生产锂离子电池等高端电池产品中；

2、电子行业外还可用于医学消毒、食品等行业，用途非常广泛，超净高纯电子化学品是超大规模集成电路制造的关键集成性原材料，电子级双氧水主要用于半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，其纯度、洁净度对成品率、电性能、可靠性等有十分重要的影响。

3、目前使用的萃取分离器和稀品分离器设备尺寸较大，沉降停留时间长，在操作过程中，如出现筛板故障，就需要把设备壳体打开，甚至还需把主轴等部件拆下才能进行滤盘维护，如个别滤盘需要更换，且萃取液体的浓度比例存在差异，而筛板的间距无法进行调节，会影响液体萃取就过滤的效率，会影响这种情况下，费工费时，使用厂家使用这样的设备，会造成误工停产等严重问题。

技术实现思路

1、本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种连续制备高纯电子级双氧水的工艺，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种连续制备高纯电子级双氧水的装置，其特征在于：所述萃取塔体(1)包括有竖向导槽(101)、竖向紧固杆(102)、筛板(103)、圆形限位环(104)、辅助凸块(105)和螯合树脂盘(106)，所述竖向导槽(101)呈矩形分布在萃取塔体(1)的内部，所述竖向导槽(101)的内部设置有竖向紧固杆(102)，所述竖向紧固杆(102)的外侧等间距贯穿连接有圆形限位环(104)，所述圆形限位环(104)的四周连接有辅助凸块(105)，所述圆形限位环(104)的外侧分别连接有筛板(103)及螯合...

【技术特征摘要】

1.一种连续制备高纯电子级双氧水的工艺，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种连续制备高纯电子级双氧水的装置，其特征在于：所述萃取塔体(1)包括有竖向导槽(101)、竖向紧固杆(102)、筛板(103)、圆形限位环(104)、辅助凸块(105)和螯合树脂盘(106)，所述竖向导槽(101)呈矩形分布在萃取塔体(1)的内部，所述竖向导槽(101)的内部设置有竖向紧固杆(102)，所述竖向紧固杆(102)的外侧等间距贯穿连接有圆形限位环(104)，所述圆形限位环(104)的四周连接有辅助凸块(105)，所述圆形限位环(104)的外侧分别连接有筛板(103)及螯合树脂盘(106)。

3.根据权利要求2所述的一种连续制备高纯电子级双氧水的装置，其特征在于：所述萃取罐罩(3)通过顶端贯穿连接的进液管道(2)与环状喷淋管(9)顶端连接。

4.根据权利要求1所述的一种连续制备高纯电子级双氧水的装置，其特征在于：所述萃取塔体(1)通过内部设置的竖向导槽(101)与圆形限位环(104)连...

【专利技术属性】
技术研发人员：张坤，马立军，王金城，张建元，乔正收，马海文，崔文亮，
申请(专利权)人：镇江润晶高纯化工科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：