【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路新材料生产，尤其是涉及一种用于电子级双氧水的灌装装置；本专利技术还涉及一种用于电子级双氧水的灌装方法。
技术介绍
1、双氧水水溶液又被称为双氧水，是一种生产过氧乙酸、过氧化硫脲等过氧化物的重要原料，并广泛用于医药、纺织印染，造纸漂白等行业。高浓度双氧水具有强氧化性和不稳定性，常温下为透明、无色液体，具有刺激性气味，黏度稍大于水，该物质属于甲类火灾危险品，主要特点包括助燃性、易分解产生水和氧气。
2、电子级过氧化氢是大规模集成电路生产工艺中所必需的电子化工原料，主要用于半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。电子级过氧化氢的质量直接影响到集成电路性能及其生产的连续性和稳定性。电子级过氧化氢水溶液一般是以工业级过氧化氢水溶液作原料，经一系列精制、净化得到。要保障电子级过氧化氢的质量，除在生产上采用技术提高过氧化氢的纯度外，在储存运输环节，也需防止对电子级过氧化氢带来污染。
3、cn219313093u公开了一种桶装双氧水的灌装装置，包括灌装架和搬运架，灌装架的侧壁开设有灌装槽，搬运架插接至灌装槽内，搬运架内装配有储液桶，灌装架的顶部开设有与灌装槽相连通的装配槽，灌装架的顶部固定装配有升降机构，灌装架通过升降机构固定连接有灌装机构，灌装机构位于装配槽内。通过辅助固定架可以对储液桶进行辅助固定，保持在灌装过程中储液桶的稳定性，同时封板的底部还设置有对储液桶连接处进行密封的橡胶圈，保
4、现有灌装电子级过氧化氢生产过程中，因未对灌装桶进行清洗，存在对灌装后的电子级过氧化氢带来污染的风险。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种用于电子级双氧水的灌装装置及灌装方法，能有效地对灌装电子级过氧化氢的灌装桶进行清洗，降低对电子级过氧化氢带来污染的风险。
2、为了解决上述技术问题，一方面，本专利技术提供一种用于电子级双氧水的灌装装置，包括柜体，设置在所述柜体内的电控系统，与所述柜体连接的终端控制系统，设置在所述柜体内的清洗架，位于所述清洗架一侧的第一滚筒输送机，跨设在第一滚筒输送机上方的灌装机，与所述第一滚筒输送机对接的第二滚筒输送机，与所述柜体连接、将外部空气鼓入柜体内的鼓风机，与所述柜体连接对所述鼓风机的鼓入空气进行过滤的空气过滤器，设置在所述柜体内的超声波清洗机，设置在所述柜体内的膜泵，与所述膜泵的进液口连接的进液吸管，与所述柜体连接的纯水供给管道，与所述纯水供给管道连接的纯水冲洗喷枪和洗桶枪，与所述柜体连接的氮气供给管道，与所述氮气供给管道连接的氮气吹扫枪，与所述灌装机连接的电子级双氧水管；所述超声波清洗机的进液口与纯水供给管道连接，所述洗桶枪还与所述氮气供给管道连接；所述电控系统为用电设备提供高压或低压电源；所述终端控制系统包括plc，与所述plc电连接的触摸屏控制器。
3、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水的灌装装置，所述清洗架具有侧倾机构，所述侧倾机构包括第一端与清洗架底座铰接的支撑板，两端分别与支撑板的另一端和清洗架底座铰接的伸缩机构，侧倾机构能将支撑板放平或使支撑板处于倾斜状态。
4、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水的灌装装置，还具有与所述柜体连接的压缩空气供应管。
5、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水的灌装装置，在所述灌装机处还设有与所述纯水供给管道连接的第二纯水冲洗喷枪，与所述氮气供给管道连接的第二氮气吹扫枪。
6、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水的灌装装置，还具有与所述纯水供给管道连接的取样机构。
7、另一方面，本专利技术提供一种用于电子级双氧水的灌装方法，应用于前述的用于电子级双氧水的灌装装置，灌装过程中包括以下步骤：
8、1）将需要清洗的灌装桶放置在清洗架上，用纯水冲洗喷枪冲洗灌装桶的外表面后，再用氮气吹扫枪将灌装桶的外表面吹扫干净；
9、2）将清洗架调整成倾斜状态，取下灌装桶的灌装孔孔盖，将孔盖置入超声波清洗机的孔盖清洗池内，将进液吸管伸入到灌装桶的内底最低处，将洗桶枪伸入灌装桶内，用纯水对灌装桶进行冲洗，冲洗完毕后将洗桶枪取出，冲洗过程中开启膜泵，将冲洗水及时排出；
10、3）将超声波清洗机的出水软管伸入灌装桶内，用纯水对灌装桶进行超声波冲洗，冲洗完毕后将超声波清洗机的出水软管移出，冲洗后开启膜泵，将冲洗水排出；
11、4）检查是否有残余液体，若有手动排放完毕，将洗桶枪伸入灌装桶内用氮气吹干；吹干后，取出清洗完毕的孔盖，将孔盖用氮气吹扫枪吹干，盖好孔盖，将灌装桶移入第一滚筒输送机；将清洗架调整成水平状态；
12、5）第一滚筒输送机将灌装桶送到灌装机的下方后，进行灌装；灌装后第一滚筒输送机将灌装桶送到第二滚筒输送机，完成灌装作业。
13、在不冲突的情况下，前述改进技术方案可以单独或组合实施。
14、本专利技术提供的技术方案，灌装前对灌装桶的外部和内部进行吹扫清洗，避免了灌装过程中对电子级过氧化氢带来污染的风险。
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1.一种用于电子级双氧水的灌装装置，包括柜体（1），设置在所述柜体（1）内的电控系统（2），与所述柜体（1）连接的终端控制系统（3），设置在所述柜体（1）内的清洗架（4），位于所述清洗架（4）一侧的第一滚筒输送机（5），跨设在第一滚筒输送机（5）上方的灌装机（6），与所述第一滚筒输送机（5）对接的第二滚筒输送机（7），其特征在于，还包括与所述柜体（1）连接、将外部空气鼓入柜体（1）内的鼓风机（8），与所述柜体（1）连接对所述鼓风机（8）的鼓入空气进行过滤的空气过滤器（9），设置在所述柜体（1）内的超声波清洗机（10），设置在所述柜体（1）内的膜泵（11），与所述膜泵（11）的进液口连接的进液吸管（12），与所述柜体（1）连接的纯水供给管道（13），与所述纯水供给管道（13）连接的纯水冲洗喷枪（14）和洗桶枪（15），与所述柜体（1）连接的氮气供给管道（16），与所述氮气供给管道（16）连接的氮气吹扫枪（17），与所述灌装机（6）连接的电子级双氧水管（18）；所述超声波清洗机（10）的进液口与纯水供给管道（13）连接，所述洗桶枪（15）还与所述氮气供给管道（16）连接；所述电控系统
2.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水的灌装装置，其特征在于，所述清洗架（4）具有侧倾机构，所述侧倾机构包括第一端与清洗架底座铰接的支撑板，两端分别与支撑板的另一端和清洗架底座铰接的伸缩机构，侧倾机构能将支撑板放平或使支撑板处于倾斜状态。
3.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水的灌装装置，其特征在于，还具有与所述柜体（1）连接的压缩空气供应管（19）。
4.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水的灌装装置，其特征在于，在所述灌装机（6）处还设有与所述纯水供给管道（13）连接的第二纯水冲洗喷枪（20），与所述氮气供给管道（16）连接的第二氮气吹扫枪（21）。
5.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水的灌装装置，其特征在于，还具有与所述纯水供给管道（13）连接的取样机构（22）。
6.一种用于电子级双氧水的灌装方法，应用于权利要求2所述的用于电子级双氧水的灌装装置，其特征在于，灌装过程中包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种用于电子级双氧水的灌装装置，包括柜体（1），设置在所述柜体（1）内的电控系统（2），与所述柜体（1）连接的终端控制系统（3），设置在所述柜体（1）内的清洗架（4），位于所述清洗架（4）一侧的第一滚筒输送机（5），跨设在第一滚筒输送机（5）上方的灌装机（6），与所述第一滚筒输送机（5）对接的第二滚筒输送机（7），其特征在于，还包括与所述柜体（1）连接、将外部空气鼓入柜体（1）内的鼓风机（8），与所述柜体（1）连接对所述鼓风机（8）的鼓入空气进行过滤的空气过滤器（9），设置在所述柜体（1）内的超声波清洗机（10），设置在所述柜体（1）内的膜泵（11），与所述膜泵（11）的进液口连接的进液吸管（12），与所述柜体（1）连接的纯水供给管道（13），与所述纯水供给管道（13）连接的纯水冲洗喷枪（14）和洗桶枪（15），与所述柜体（1）连接的氮气供给管道（16），与所述氮气供给管道（16）连接的氮气吹扫枪（17），与所述灌装机（6）连接的电子级双氧水管（18）；所述超声波清洗机（10）的进液口与纯水供给管道（13）连接，所述洗桶枪（15）还与所述氮气供给管道（16）连接；所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵涸浜，秦加美，李卫红，易颖朋，杨云强，曾翔，
申请(专利权)人：湖南双阳高科化工有限公司，
类型：发明
国别省市：
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