一种用于储存电子级双氧水的装置制造方法及图纸

技术编号:36879870 阅读:16 留言:0更新日期:2023-03-15 21:04
一种用于储存电子级双氧水的装置,包括电子级双氧水储罐(1),与所述电子级双氧水储罐(1)的上部或顶部连接的进液口(2),与所述电子级双氧水储罐(1)的下部或底部连接的出液口(3),环绕在电子级双氧水储罐(1)的内壁上部、与所述电子级双氧水储罐(1)连接的收集槽(4),第一端与所述收集槽(4)连通的排液管(5),与所述排液管(5)的另一端连接的双氧水冷凝液收集储罐(6),与所述电子级双氧水储罐(1)、双氧水冷凝液收集储罐(6)或排液管(5)连接的呼吸管(10);所述电子级双氧水储罐(1)在收集槽(4)以下内衬有聚四氟乙烯层(7),电子级双氧水储罐(1)的顶部内壁为锥形或半球形。(1)的顶部内壁为锥形或半球形。(1)的顶部内壁为锥形或半球形。

【技术实现步骤摘要】
一种用于储存电子级双氧水的装置


[0001]本技术涉及双氧水储存
,尤其是涉及一种用于储存电子级双氧水的装置。

技术介绍

[0002]双氧水水溶液又被称为双氧水,是一种生产过氧乙酸、过氧化硫脲等过氧化物的重要原料,并广泛用于医药、纺织印染,造纸漂白等行业。高浓度双氧水具有强氧化性和不稳定性,常温下为透明、无色液体,具有刺激性气味,黏度稍大于水,该物质属于甲类火灾危险品,主要特点包括助燃性、易分解产生水和氧气。
[0003]双氧水通常分为工业级、食品级、试剂级和电子级。电子级双氧水是大规模集成电路生产中所必须可少的原料,采用工业双氧水产品为原料,经树脂吸附或膜过滤,离子交换等过程制得。电子级双氧水目前被广泛应用在半导体、超大集成电路装配和加工过程中的清洗和腐蚀等方面,是电子工业中一种十分重要的工艺化学品。由于电子元器件所用的试剂中的杂质,会对电子元器件性能、导电性及寿命等产生直接的影响,因此避免电子级双氧水在运输储存过程中被污染具有重要意义。
[0004]电子级双氧水储槽在存储双氧水过程中,会产生水蒸气和双氧水蒸汽,混合蒸汽上升到储罐顶部和上部会凝结,接触了罐顶的凝结水滴落时会造成存储的电子级双氧水杂质含量上升,且产生的杂质不可控,有可能导致电子级双氧水储存后不合格。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足,本技术的目的是提供一种用于储存电子级双氧水的装置,能避免接触了罐顶的凝结水对储存的电子级双氧水带来污染。
[0006]为了解决上述技术问题,本技术提供一种用于储存电子级双氧水的装置,包括电子级双氧水储罐,与所述电子级双氧水储罐的上部或顶部连接的进液口,与所述电子级双氧水储罐的下部或底部连接的出液口,环绕在所述电子级双氧水储罐的内壁上部、与所述电子级双氧水储罐连接的收集槽,第一端与所述收集槽连通的排液管,与所述排液管的另一端连接的双氧水冷凝液收集储罐,至少一根与所述电子级双氧水储罐、双氧水冷凝液收集储罐或排液管连接的呼吸管;所述电子级双氧水储罐在收集槽以下内衬有聚四氟乙烯层,所述电子级双氧水储罐的顶部内壁为锥形或半球形。
[0007]作为进一步改进技术方案,本技术提供的用于储存电子级双氧水的装置,所述收集槽的截面为半圆形或弧形,收集槽的外底面最低处位于所述聚四氟乙烯层的内侧。
[0008]作为进一步改进技术方案,本技术提供的用于储存电子级双氧水的装置,所述收集槽的外底面衬有第二聚四氟乙烯层,所述聚四氟乙烯层的顶端插入收集槽与电子级双氧水储罐之间的连接缝隙处,所述第二聚四氟乙烯层的一端包裹所述收集槽的槽边、另一端插入所述聚四氟乙烯层与收集槽连接处的聚四氟乙烯层内。
[0009]作为进一步改进技术方案,本技术提供的用于储存电子级双氧水的装置,所
述第二聚四氟乙烯层的顶部具有往所述收集槽内倾斜的斜面。
[0010]作为进一步改进技术方案,本技术提供的用于储存电子级双氧水的装置,所述呼吸管上设有过滤器。
[0011]在不冲突的情况下,前述改进技术方案可以单独或组合实施。
[0012]本技术提供的技术方案,通过在电子级双氧水储罐内设置收集槽,收集顶部的凝结水并导出,避免了接触罐顶的凝结水滴落对电子级双氧水的污染,降低了电子级双氧水在储存过程中混入杂质的风险。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解,构成本申请的一部分,本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术,但并不构成对本技术的不当限定。在附图中:
[0014]图1是实施例用于储存电子级双氧水的装置的结构示意图;
[0015]图2是图1中A-A向的结构示意图;
[0016]图3是图1中的B部放大图。
实施方式
[0017]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0018]如图1至图3所示的用于储存电子级双氧水的装置,包括电子级双氧水储罐1,与电子级双氧水储罐1的上部连接的进液口2,与电子级双氧水储罐1的下部连接的出液口3及阀门,环绕在电子级双氧水储罐1的内壁上部、与电子级双氧水储罐1连接的收集槽4,第一端与收集槽4连通的排液管5,与排液管5的另一端连接的双氧水冷凝液收集储罐6,与排液管5连接的呼吸管10。电子级双氧水储罐1在收集槽4以下内衬有聚四氟乙烯层7,电子级双氧水储罐1的顶部内壁为半球形。
[0019]电子级双氧水储罐1的主体结构为不锈钢储罐,如果要在电子级双氧水储罐1的顶部内衬聚四氟乙烯施工难度很大,结构不稳定,选择在收集槽4以下内衬聚四氟乙烯层7能避免双氧水直接与过氧化氢接触,且施工具有可行性。双氧水在存储过程中,会产生双氧水蒸汽以及水蒸气,蒸汽上升到电子级双氧水储罐1顶部凝结,凝结后的液滴附着在电子级双氧水储罐1的顶部内壁,汇集后沿顶部内壁流入收集槽4,再从收集槽4通过排液管5流入双氧水冷凝液收集储罐6,双氧水冷凝液收集储罐6可以是工业级双氧水储罐,因顶部的凝结水接触金属罐壁,凝结水中含有金属杂质,混入电子级双氧水内,可能导致产品不合格。本技术提供的技术方案,通过在电子级双氧水储罐1内设置收集槽4,收集顶部的凝结水并导出,避免了接触罐顶的凝结水滴落对电子级双氧水的污染,降低了电子级双氧水在储存过程中混入杂质的风险。
[0020]作为其中的一个实施例,本技术提供的用于储存电子级双氧水的装置,如图1和图3所示,在上述基础方案的基础上,收集槽4的截面为半圆形或弧形,收集槽4的外底面最低处位于聚四氟乙烯层7的内侧。收集槽4的外底面最低处位于聚四氟乙烯层7的内侧,能避免有液滴进入电子级双氧水储罐1的主体层与聚四氟乙烯层之间,防止过氧化氢对电子级双氧水储罐1的主体层的腐蚀。
[0021]作为其中的一个实施例,本技术提供的用于储存电子级双氧水的装置,如图3所示,在上述基础方案的基础上,收集槽4的外底面衬有第二聚四氟乙烯层8,聚四氟乙烯层7的顶端插入收集槽4与电子级双氧水储罐1之间的连接缝隙处,第二聚四氟乙烯层8的一端包裹收集槽4的槽边、另一端插入聚四氟乙烯层7与收集槽4连接处的聚四氟乙烯层7内。本实施例的技术方案,能避免凝结液滴进入电子级双氧水储罐1的主体层与聚四氟乙烯层之间,和避免凝结液滴进入收集槽4与第二聚四氟乙烯层8之间,也能避免收集槽4底面的凝结水滴对电子级双氧水带来污染。
[0022]作为其中的一个实施例,本技术提供的用于储存电子级双氧水的装置,如图3所示,在上述改进方案的基础上,第二聚四氟乙烯层8的顶部具有往所述收集槽4内倾斜的斜面9。第二聚四氟乙烯层8顶部的凝结液滴沿斜面9进入收集槽4内,避免凝结液滴进入收集槽4与第二聚四氟乙烯层8之间。
[0023]作为其中的一个实施例,本技术提供的用于储存电子级双氧水的装置,如图1所示,在上述基础方案的基础上,呼吸管10上设有过滤器11。过滤器11对进入电子级双氧水储罐1及双氧水冷凝液收集储罐6的气体(例如氮气)进行过滤,防止气体中的灰尘对本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于储存电子级双氧水的装置,包括电子级双氧水储罐(1),与所述电子级双氧水储罐(1)的上部或顶部连接的进液口(2),与所述电子级双氧水储罐(1)的下部或底部连接的出液口(3),其特征在于,还具有环绕在所述电子级双氧水储罐(1)的内壁上部、与所述电子级双氧水储罐(1)连接的收集槽(4),第一端与所述收集槽(4)连通的排液管(5),与所述排液管(5)的另一端连接的双氧水冷凝液收集储罐(6),至少一根与所述电子级双氧水储罐(1)、双氧水冷凝液收集储罐(6)或排液管(5)连接的呼吸管(10);所述电子级双氧水储罐(1)在收集槽(4)以下内衬有聚四氟乙烯层(7),所述电子级双氧水储罐(1)的顶部内壁为锥形或半球形。2.根据权利要求1所述的用于储存电子级双氧水的装置,其特征在于,所述收...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵涸浜李卫红易颖朋杨云强曾翔
申请(专利权)人:湖南双阳高科化工有限公司
类型:新型
国别省市:

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