【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于控制通过至少一个激光束的至少一个线焦点在基板内引入的能量分布的方法，并且涉及一种基板。
技术介绍
1、为了沿着分离表面分离基板，尤其是基于激光的方法在现有技术中是已知的。在这种情况下，可以通过以下过程在分离的基板部件上形成弯曲的侧表面，在该过程中：沿着计划的分离表面，将改性引入基板或通过激光的曲线线焦点从基板中去除材料。随后，沿着引入的损伤进行该分离。
2、然而，这些分离表面的缺点是它们不是对称形成的。
3、因此，本专利技术的一个目的是指定一种装置，其能够可靠地形成基板的具有高度对称性的弯曲分离表面。此外，本专利技术的目的是指定一种具有对称侧表面的基板。
技术实现思路
1、本专利技术的目的根据第一方面通过提出一种用于控制通过至少一个激光束的至少一个线焦点在基板内引入的能量分布的方法来实现，其中，该方法包括：
2、在基板内在至少部分区域中形成线焦点，并且至少通过借助至少一个相位掩膜影响激光束来至少部分地控制基板内的能量分布。
<...【技术保护点】
1.一种用于控制通过至少一个激光束的至少一个线焦点在基板内引入的能量分布的方法，其中所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，
3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
5.根据权利要求4所述的方法，
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
8.根据权利要求7所述的方法，
9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
10.根据权利要求9所述的方法，
11.根据权利...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于控制通过至少一个激光束的至少一个线焦点在基板内引入的能量分布的方法，其中所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，
3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
5.根据权利要求4所述的方法，
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
8.根据权利要求7所述的方法，
9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
10.根据权利要求9所述的方法，
11.根据权利要求9和10中的任一项所述的方法，
12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
15.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
16.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，
17.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
18.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
19.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
20.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，控制所述基板内的所述能量分布还包括：(i)特别是至少在线焦点的区域中，所述激光束具有球面像差；和/或(ii)特别是至少在线焦点的区域中，调节所述激光束的球面像差。
21.根据权利要求20所述的方法，其中，所述激光束、优选在所述基板的外部和/或所述基板的上游的激光束，通过具有球面像差的光学元件传播，因此特别是至少在线焦点的区域中，优选至少部分地调节所述激光束的所述球面像差。
22.根据权利要求20和21中任一项所述的方法，其中，四阶球面像差的强度为0.02/(f*w0^2)以上，其中，f是成像系统的焦距，w0是所述激光束的直径。
23.根据权利要求20至22中任一项所述的方法，其中，所述球面像差导致所述基板内形成的焦点变长5％以上，优选10％以上，优选15％以上，优选20％以上，优选25％以上，优选30％以上，优选35％以上，优选40％以上，优选50％以上，优选60％以上；和/或100％以下，优选70％以下，优选50％以下，优选30％以下；其中，优选地焦点长度沿激光束轨迹的一部分存在，在所述部分中，线焦点的强度为线焦点的最大强度的75％以上、80％以上、85％以上或90％以上。
24.根据权利要求20至23中任一项所述的方法，其中，特别是通过所述激光束在相位掩膜和/或光学装备的诸如显微镜物镜的光学元件上的入射点的时间变化，特别是在所述线焦点的区域中，所述激光束的所述球面像差随时间变化。
25.根据权利要求20至24中任一项所述的方法，其中，入射到光学元件上的所述激光束的中心点至少暂时相对于所述光学元件的光轴以一定偏移入射在所述光学元件上，其中，优选地所述偏移随时间变化。
26.根据权利要求25所述的方法，其中，将恒定和/或最大偏移设定为20mm以下，优选15mm以下，优选10mm以下，优选5mm以下，优选3mm以下，优选2.5mm以下，优选2mm以下，优选1....
【专利技术属性】
技术研发人员：A·奥特纳，D·苏赫，A·科格鲍尔，J·U·托马斯，F·瓦格纳，O·苏赫，
申请(专利权)人：肖特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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