【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于声表面波器件，涉及一种声表面波谐振器及其制作方法。
技术介绍
1、表面声波(surface acoustic wave，简称saw)技术在移动通信的信号分离和滤波过程中发挥着重要作用，其中，声表面波谐振器的工作原理如下：将两个叉指换能器间隔排列于压电材料层上，先将电信号传输到一个叉指换能器上，基于压电效应将输入的电信号转换成声波信号并对声波进行处理，而后通过另一个叉指换能器将声波信号再转换为电信号并输出。
2、请参阅图1及图2，其中图1显示为基本saw谐振器的俯视结构示意图，图2显示为沿图1中ⅰ-ⅰ’处的纵向剖面结构示意图及对应的声波传播速度分布示意图，saw谐振器中叉指换能器由两个相对交错设置的叉指电极构成，每一叉指电极均包括母线101、电极指102及虚拟指103，相对的电极指102与虚拟指103之间构成间隙104。请参阅图3，显示为图2中所示谐振器工作特性原理图，其中曲线a与曲线b分别对应谐振器的导纳特性与电导特性曲线，谐振器在谐振频率时主要模式是剪切水平波，出现在谐振频率下方的杂散频率是由于瑞利波引起的共...
【技术保护点】
1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述声表面波谐振器还包括质量负载层，所述质量负载层位于所述电极层上方，所述质量负载层包括多个第一质量负载单元和/或多个第二质量负载单元，所述第一质量负载单元位于所述电极指与所述母线连接的一端上方，所述第二质量负载单元位于所述虚拟指上方。
3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述声表面波谐振器还包括钝化层，所述钝化层位于所述电极层及所述质量负载层之间。
4.根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述质量负载层包括所...
【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述声表面波谐振器还包括质量负载层，所述质量负载层位于所述电极层上方，所述质量负载层包括多个第一质量负载单元和/或多个第二质量负载单元，所述第一质量负载单元位于所述电极指与所述母线连接的一端上方，所述第二质量负载单元位于所述虚拟指上方。
3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述声表面波谐振器还包括钝化层，所述钝化层位于所述电极层及所述质量负载层之间。
4.根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述质量负载层包括所述第二质量负载单元时，所述第二质量负载单元还延伸至所述间隙的上方。
5.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述叉指电极还包括沿第二方向延伸的第一条状件，所述第一条状件与所述虚拟指及所述电极指部分重叠。
6.根据权利要求5所述的声表面波谐振器，其特征在于：同一所述叉指电极中，所述电极指位于所述母线与所述第一条状件之间的部分的宽度大于或等于所述电极指位于所述第一条状件与所述间隙之间的部分的宽度，所述虚拟指的宽度与所述电极指位于所述母线与所述第一条状件之间的部分宽度相等。
7.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述第一质量负载单元还延伸至所述母线上方和/或所述第二质量负载单元还延伸至所述母线上方。
8.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于：所述电极层还...
【专利技术属性】
技术研发人员：小野直大，
申请(专利权)人：江苏卓胜微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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