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本发明提供一种声表面波谐振器及其制作方法,该谐振器包括半导体层及电极层,位于电极层中的叉指换能器包括两个在第一方向上相对设置的叉指电极,每一叉指电极均包括母线、与母线连接并在第一方向上延伸的多个电极指及虚拟指,两个叉指电极中的虚拟指与电极指...该专利属于江苏卓胜微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏卓胜微电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种声表面波谐振器及其制作方法,该谐振器包括半导体层及电极层,位于电极层中的叉指换能器包括两个在第一方向上相对设置的叉指电极,每一叉指电极均包括母线、与母线连接并在第一方向上延伸的多个电极指及虚拟指,两个叉指电极中的虚拟指与电极指...