【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光器，尤其是涉及一种预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置。
技术介绍
1、目前在准分子激光器放电腔内，为了在主放电区域获得更加稳定的辉光放电，需要引入预电离组件结构。预电离的作用是：在主放电建立前，在主放电区域产生足够大的电子密度，从而获得更加稳定的辉光放电。
2、参照图1所示，预电离组件包括预电离电极20和预电离绝缘部件21。准分子激光器放电腔内预电离电极20和与主电极10之间设置有阻挡介质，即预电离绝缘部件21。预电离绝缘部件21的作用之一是实现预电离电极20与主电极10之间的绝缘，以及在放电的前期使预电离电极20和主电极10之间形成电晕，促进主电极10放电。主电极10设置在放电腔内的陶瓷板12上，陶瓷板12和主电极10之间设置有垫片11。
3、预电离电极20部件的材料和厚度均匀性决定了预电离的均匀性，进而决定了主电极10放电的优劣。而根据以往经验预电离绝缘部件为易损件，其寿命也直接决定了激光光源整机的寿命。
4、因而，有必要对预电离绝缘部件21进行耐高压能力测试进而检测其可靠性，目前常用的预电离绝缘部件21为陶瓷管21。
5、在激光器放电过程中，需要采用脉冲高压直流放电，如1～4khz10kv高压直流。为了模拟与实际放电情况相仿的工况，需要提供脉冲高压直流电源，同时需要对陶瓷管21进行夹持定位。
6、而现有技术中缺乏有效的检测工具，检测方法效率低且检测结构不够准确。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，包括：直流电源、导电棒和导电包覆皮；
3、所述导电棒插装在陶瓷管中心孔内，与所述直流电源的正极或负极连接；
4、所述导电包覆皮包覆在所述陶瓷管的外圆侧面上，与直流电源的负极或正极连接。
5、进一步地，所述直流电源为用于模拟实际放电工况的高压高重频直流电源。
6、进一步地，所述直流电源包括：电源模块、高压模块和控制模块，所述电源模块通过高压模块与所述导电棒和所述导电包覆皮连接；控制模块分别与所述高压模块和电源模块连接，用于通过高压模块控制所述导电棒和所述导电包覆皮之间的电压值。
7、进一步地，所述高压模块包括高压变压器及功率器件；所述控制模块通过pwm控制方式控制高压模块的输出电压。
8、优选地，所述控制模块通过pwm控制占空比0％～100％对应输出电压0v～10kv。
9、优选地，还包括用于检测所述导电棒和所述导电包覆皮之间电流的电流检测模块。电流检测模块通过控制模块与计算机等控制终端连接。测试时，控制模块可以通过接收电流检测模块反馈的测试电流，获知所述导电棒和所述导电包覆皮之间的陶瓷管是否具有缺陷。例如，如果陶瓷管没有缺陷，可以承受最高至10kv高压，则其不会被击穿，此时没有电流反馈；而当陶瓷管存在缺陷，被击穿时，电流检测模块将会向控制模块反馈检测到的击穿电流值，控制模块检测到电流突变后(存在击穿电流时)，将其显示到输出终端，并提示陶瓷管被击穿。
10、进一步地，还包括夹持机构，用于迫使所述导电包覆皮紧贴在所述陶瓷管外圆侧面上。
11、夹持机构形式多样，例如夹持块，又如，为日常使用的用于紧固管体连接部位的各种形式的卡子。
12、进一步地，所述夹持机构的数量为多个；在所述陶瓷管的轴向上，多个所述夹持机构间隔布设。
13、进一步地，还包括底座，所述夹持机构设置在所述底座上。
14、当夹持机构为卡子时，卡子包括固定部和活动部，固定部和活动部之间合围出一个用于容纳所述导电包覆皮和陶瓷管的安装孔，固定部通过紧固件与所述底座固定连接，导电包覆皮和陶瓷管插装安装孔后，利用紧固件将活动部一端或两端与固定部锁紧，在活动部逐渐靠近固定部的过程中，迫使导电包覆皮紧贴在陶瓷管的外圆侧面上，使得两者充分接触。
15、当夹持机构为导电材料制成时，直流电源的负极或正极可与夹持机构(例如卡子)连接，通过夹持机构与导电包覆皮导电连接。
16、优选地，所述导电棒为铜棒，导电包覆皮为铜皮。
17、进一步地，还包括保护罩，保护罩将所述导电棒、陶瓷管以及导电包覆皮整体罩住，用于安全防护。
18、进一步地，所述导电棒上设置有中心孔；所述导电棒由若干个长条形的扩张块拼装而成；在垂直于所述导电棒轴向的横截面上，所述扩张块为扇面型。
19、进一步地，还包括锥形或锥台形的挤压柱；两根挤压柱分别自两端插入所述导电棒的中心孔内；插入过程中，挤压柱外侧锥面或锥台面逐渐迫使所述扩张块沿径向向外移动，进而紧贴在所述陶瓷管的内侧面上。
20、进一步地，所述导电棒中心孔两端形状为与所述挤压柱外侧锥面或锥台面适配的喇叭口型。
21、进一步地，所述导电棒的外圆上设置有环形槽，环形槽内设置有金属弹簧；金属弹簧呈环形设置，被拉伸后趋向于迫使所述扩张块沿径向向内移动(即复位)。
22、另外，金属弹簧的导电性能可以使得所有的挤压块电连接在一起，彼此之间保持相同的电势。
23、进一步地，在所述导电棒的轴向上，多个所述环形槽和所述金属弹簧间隔布设。
24、进一步地，还包括用于迫使所述挤压柱沿所述导电棒的轴向移动的驱动机构。
25、进一步地，所述驱动机构包括：泵体、液压或气压缸体、第一活塞、第二活塞、第一活塞杆和第二活塞杆；
26、所述第一活塞和第二活塞可滑动地设置在所述缸体内，第一活塞和第二活塞将缸体内腔分割为第一有杆腔、第二有杆腔和中间无杆腔；
27、两根所述挤压柱分别同轴地设置在缸体的两端，且分别与第一活塞杆和第二活塞杆固定连接；
28、泵体通过管路和控制阀可选择地与中间无杆腔连接、或同时与第一有杆腔和第二有杆腔连接；通过同时向第一有杆腔和第二有杆腔泵入液压油或高压气体迫使第一活塞和第二活塞向中间移动，进而通过第一活塞杆和第二活塞杆带动两根所述挤压柱向中间移动，扩张块向外扩张；通过向中间无杆腔内泵入所述液压油或高压气体迫使第一活塞和第二活塞向两侧移动，进而通过第一活塞杆和第二活塞杆带动两根所述挤压柱向两侧移动，扩张块在金属弹簧的作用下向内收缩复位。
29、进一步地，所述控制阀为两位两通阀，所述控制阀包括输入侧第一端口和第二端口、以及输出侧的第三端口和第四端口；
30、第一端口通过输油管路与油箱或储气罐连通，输油管路上设置有所述泵体；
31、所述第二端口通过回油管路与油箱或储气罐连通；
32、所述第三端口通过第一油路与中间无杆腔连通；
33、所述第四端口通过第二油路同时与第一有杆腔和第二有杆腔连通。
34、优选地，所述输油管路和回油管路上分别设置有单向阀。
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【技术保护点】
1.一种预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，包括：直流电源、导电棒(30)和导电包覆皮(40)；
2.根据权利要求1所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，所述直流电源为用于模拟实际放电工况的高压高重频直流电源。
3.根据权利要求1所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，所述直流电源包括：电源模块、高压模块和控制模块，所述电源模块通过高压模块与所述导电棒(30)和所述导电包覆皮(40)连接；控制模块分别与所述高压模块和电源模块连接，用于通过高压模块控制所述导电棒(30)和所述导电包覆皮(40)之间的电压值。
4.根据权利要求3所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，所述高压模块包括高压变压器及功率器件；所述控制模块通过PWM控制方式控制高压模块的输出电压。
5.根据权利要求3所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，还包括用于检测所述导电棒(30)和所述导电包覆皮(40)之间电流的电流检测模块。
6.根据权利要求1所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，所述夹持机构(42)的数量为多个；在所述陶瓷管(21)的轴向上，多个所述夹持机构(42)间隔布设。
8.根据权利要求1所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，还包括保护罩(44)，保护罩(44)将所述导电棒(30)、陶瓷管(21)以及导电包覆皮(40)整体罩住，用于安全防护。
9.根据权利要求1所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，所述导电棒(30)上设置有中心孔(32)；所述导电棒(30)由若干个长条形的扩张块(31)拼装而成；在垂直于所述导电棒(30)轴向的横截面上，所述扩张块(31)为扇面型。
10.根据权利要求9所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，还包括锥形或锥台形的挤压柱(50)；两根挤压柱(50)分别自两端插入所述导电棒(30)的中心孔(32)内；插入过程中，挤压柱(50)外侧锥面或锥台面逐渐迫使所述扩张块(31)沿径向向外移动，进而紧贴在所述陶瓷管(21)的内侧面上。
...【技术特征摘要】
1.一种预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，包括：直流电源、导电棒(30)和导电包覆皮(40)；
2.根据权利要求1所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，所述直流电源为用于模拟实际放电工况的高压高重频直流电源。
3.根据权利要求1所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，所述直流电源包括：电源模块、高压模块和控制模块，所述电源模块通过高压模块与所述导电棒(30)和所述导电包覆皮(40)连接；控制模块分别与所述高压模块和电源模块连接，用于通过高压模块控制所述导电棒(30)和所述导电包覆皮(40)之间的电压值。
4.根据权利要求3所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，所述高压模块包括高压变压器及功率器件；所述控制模块通过pwm控制方式控制高压模块的输出电压。
5.根据权利要求3所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，还包括用于检测所述导电棒(30)和所述导电包覆皮(40)之间电流的电流检测模块。
6.根据权利要求1所述的预电离组件的陶瓷管耐高压检测装置，其特征在于，还包括夹持机构(42)，用...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈文斌，邓明翰，刘斌，吴劲松，张寅虎，马放，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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