【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于聚焦镜头领域，具体涉及一种无热化主动补偿紫外镜头，尤其是266nm紫外波段的光学检测聚焦镜头。
技术介绍
1、随着光刻技术等需要短波段光源系统的迅速发展，对于紫外波段更高精度检测需求日益增加。对于高精度的检测系统，环境中的温度气压震动等变化都会对带来检测光学系统的像质波动，从而直接检测精度的高低。因此，为降低环境波动带来的误差从而获得更高的检测精度，在检测过程中对于温度等环境变量的控制极为苛刻，但由于实际条件的限制，目前的技术手段无法完全将检测系统所处的环境变化完全控制为零，因此这部分误差始终无法完全消除，且环控成本高昂；其中，环境温度变化对于检测精度有明显影响。因此，降低检测系统本身对于环境变化，特别是温度变化的灵敏度，将大大减小环境变化带来的误差，对于提高检测系统的精度至关重要。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种无热化主动补偿紫外镜头，镜头的机械结构包括外镜筒、热补偿隔圈以及压圈，光学结构沿光线入射方向从物面一侧开始的顺序包括有：具有正光焦度的第一...
【技术保护点】
1.一种无热化主动补偿紫外镜头，其特征在于：包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、外镜筒、压圈、热补偿隔圈，所述压圈位于开始的第一透镜前端靠近物方的一侧，用于锁紧透镜；透镜与透镜之间以热补偿隔圈进行定位及温度变化时的主动补偿；在第三透镜与第四透镜之间设有孔径光阑；靠近像面端的第五透镜的靠像面的表面环口与外镜筒的端面内壁重合；当透镜的折射率因温度变化而发生改变时，热补偿隔圈随温度变化而在光路方向产生伸缩，从而实现主动补偿。
2.根据权利要求1所述的一种无热化主动补偿紫外镜头，其特征在于：所述第一透镜具有正光焦度，为弯月形透镜，其凸面...
【技术特征摘要】
1.一种无热化主动补偿紫外镜头，其特征在于：包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、外镜筒、压圈、热补偿隔圈，所述压圈位于开始的第一透镜前端靠近物方的一侧，用于锁紧透镜；透镜与透镜之间以热补偿隔圈进行定位及温度变化时的主动补偿；在第三透镜与第四透镜之间设有孔径光阑；靠近像面端的第五透镜的靠像面的表面环口与外镜筒的端面内壁重合；当透镜的折射率因温度变化而发生改变时，热补偿隔圈随温度变化而在光路方向产生伸缩，从而实现主动补偿。
2.根据权利要求1所述的一种无热化主动补偿紫外镜头，其特征在于：所述第一透镜具有正光焦度，为弯月形透镜，其凸面朝向物方，凹面朝向像方；所述第二透镜为具有负光焦度的双凹透镜；第三透镜、第四透镜为具有正光焦度的双凸透镜；第五透镜为具有负光焦度的双凹透镜。
3.根据权利要求1所述的一种无热化主动补偿紫外镜头，其特征在于：在镜头装配工序的标准温度下，所述第一透镜与第二透镜之间的间隔为2.885mm。
4.根据权利要求1所述的一种无热化主动补偿紫外镜头，其特征在于：在镜头装配工序的标准温度下，所述第二透镜与第三透镜之间的间隔为20.545mm。
5.根据权利要求1所述的一种无热化主动补偿紫外镜头，其特征在于：在镜头装配工序的标准温度下，所述第三透镜与孔径光阑之间的间隔为0.3mm。
...【专利技术属性】
技术研发人员：路雨桐，朱咸昌，康霞，周吉，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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