包括马蹄足结构导电图案的集成电路制造技术

技术编号:40416579 阅读:16 留言:0更新日期:2024-02-20 22:34
本公开提供了包括马蹄足结构导电图案的集成电路。该集成电路包括标准单元。标准单元可以包括多条栅线和多个第一布线。所述多个第一布线可以包括马蹄足结构导电图案,该马蹄足结构导电图案包括彼此间隔开的第一导电图案和第二导电图案。第一导电图案和第二导电图案中的每个可以包括在第一方向上延伸的第一线图案和在垂直于第一方向的方向上从第一线图案的一端突出的第二线图案。所述多条栅线可以在第一方向上彼此间隔开第一节距,并且所述多个第二布线可以在第一方向上彼此间隔开第二节距。第一节距可以大于第二节距。

【技术实现步骤摘要】

专利技术构思涉及一种集成电路,更具体地,涉及包括马蹄足(clubfoot)结构导电图案的集成电路。


技术介绍

1、随着集成电路的配置变得更复杂并且半导体制造工艺变得更小型化,大量半导体元件可以被集成到集成电路中。会需要减小布线的宽度以有效地布置用于互连半导体元件的布线。此外,随着布线的宽度减小,会需要用于将半导体元件连接到布线的有效配置。


技术实现思路

1、专利技术构思提供了一种集成电路以及用于设计该集成电路的计算系统,该集成电路包括马蹄足结构导电图案以降低布线的复杂性。

2、根据专利技术构思的一方面,一种集成电路可以包括由单元边界限定的标准单元和在标准单元的上层上的多个第二布线。标准单元可以包括在第一方向上彼此间隔开并在垂直于第一方向的第二方向上延伸的多条栅线以及在所述多条栅线的上层上并包括马蹄足结构导电图案的多个第一布线。马蹄足结构导电图案可以包括彼此间隔开的第一导电图案和第二导电图案。第一导电图案和第二导电图案中的每个可以包括在第一方向上延伸的第一线图案和在垂直于第一方向的方向上从第一线图案本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种集成电路,包括:

2.根据权利要求1所述的集成电路,其中在所述第一导电图案的所述第二线图案和所述第二导电图案的所述第二线图案之间的距离等于所述第一节距。

3.根据权利要求1所述的集成电路,还包括:

4.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述多条栅线、所述多个布线、所述第一导电图案的所述第二线图案和所述第二导电图案的所述第二线图案在相同的方向上延伸。

5.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述第一节距与所述第二节距的比率为约3∶2。

6.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述多个布线当中的至少一个布线与所述单元边界对准。<...

【技术特征摘要】

1.一种集成电路,包括:

2.根据权利要求1所述的集成电路,其中在所述第一导电图案的所述第二线图案和所述第二导电图案的所述第二线图案之间的距离等于所述第一节距。

3.根据权利要求1所述的集成电路,还包括:

4.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述多条栅线、所述多个布线、所述第一导电图案的所述第二线图案和所述第二导电图案的所述第二线图案在相同的方向上延伸。

5.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述第一节距与所述第二节距的比率为约3∶2。

6.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述多个布线当中的至少一个布线与所述单元边界对准。

7.根据权利要求3所述的集成电路,其中所述多个布线与所述单元边界间隔开。

8.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述多条栅线在第一方向上以所述第一节距彼此间隔开,以及

9.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述多条栅线在第一方向上以所述第一节距彼此间隔开,以及

10.根据权利要求1所述的集成电路,其中所述第一导电图案和所述第二导电图案彼此对称。

11.一种集成电路,包括:

12.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:都桢湖柳志秀俞炫圭李昇映李在鹏郑钟勋
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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